1
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微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备多晶硅薄膜 |
左潇
魏钰
陈龙威
舒兴胜
孟月东
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《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
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2012 |
2
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2
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多晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积低温制备工艺 |
邓婉婷
吴爱民
张广英
秦富文
董闯
姜辛
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《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2007 |
0 |
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3
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GaN在Si(001)上的ECR等离子体增强MOCVD直接生长研究(英文) |
徐茵
顾彪
秦福文
李晓娜
王三胜
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2002 |
1
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4
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等离子体清洗GaAs和Al_2O_3衬底的RHEED图像分析 |
章家岩
郎佳红
秦福文
顾彪
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《华中科技大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2005 |
0 |
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5
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氦等离子体前处理对多晶硅薄膜性能的影响 |
汝丽丽
孟月东
陈龙威
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《深圳大学学报(理工版)》
EI
CAS
北大核心
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2013 |
0 |
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6
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栅网与偏压对CHF_3电子回旋共振放电等离子体特性的影响 |
叶超
杜伟
宁兆元
程珊华
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《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2003 |
2
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7
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热丝辅助MWECR-CVD法沉积氢化非晶硅薄膜研究 |
刘国汉
丁毅
朱秀红
何斌
陈光华
贺德衍
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《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2006 |
1
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8
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玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜研究 |
王文彦
秦福文
吴爱民
宋世巍
李瑞
姜辛
徐茵
顾彪
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《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
2
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9
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升级冶金级Si衬底上ECR-PECVD沉积多晶Si薄膜 |
崔洪涛
吴爱民
秦福文
谭毅
闻立时
姜辛
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《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
0 |
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10
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新型微波ECR-PECVD装置的研制 |
阴生毅
陈光华
粟亦农
张永清
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2004 |
2
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11
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用ECR-CVD方法制备定向碳纳米管 |
王志
巴德纯
曹培江
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《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2004 |
0 |
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12
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镀Zr高硼硅玻璃衬底上低温生长GaN薄膜研究 |
王兴达
唐伟闻
秦福文
刘爱民
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《信息记录材料》
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2022 |
0 |
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13
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TMGa流量对镀Ti的Mo衬底上低温生长GaN薄膜的影响 |
唐伟闻
秦福文
王兴达
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《电子世界》
CAS
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2022 |
0 |
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14
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光学镀膜与装置 |
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《中国光学》
EI
CAS
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1999 |
0 |
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15
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氮化铝单晶薄膜的ECR-PEMOCVD低温生长研究 |
秦福文
顾彪
徐茵
杨大智
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《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2003 |
18
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