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题名电子工业气体氧化亚氮中C2烃杂质分离技术研究
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作者
刘椿
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机构
杭州贝斯特气体有限公司
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出处
《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》
2022年第12期174-178,共5页
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文摘
随着我国科学技术水平的不断提高,电子工业的相关技术也发生了巨大变化,电子工业在配套设备、原材料、相关技术等各方面的使用标准均有所提升。氧化亚氮作为一种无机气体,逐渐成为电子工业领域必不可少的一种化学气体。而只有纯度极高的氧化亚氮气体,才能被应用到电子工业的不同领域当中。因此,有关部门需通过精密的杂质检测手段控制各项指标。本文对氧化亚氮中C2烃杂质的分离设备和材料进行介绍,对分离过程进行了探究。
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关键词
电子工业气体
氧化亚氮
C2烃
杂质分离技术
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分类号
TQ117
[化学工程—无机化工]
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题名电子级六氟乙烷的色谱分析
被引量:2
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作者
郁光
庄鸿涛
周鹏云
方小青
徐娇
白占旗
方华
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机构
上海华爱色谱分析技术有限公司
西南化工研究设计院有限公司
浙江省化工研究院
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出处
《低温与特气》
CAS
2015年第2期41-45,54,共6页
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文摘
使用氦离子化色谱仪对电子级六氟乙烷进行分析,结果显示本实验方法很好的实现了电子级六氟乙烷杂质的色谱全分析,并且为建立电子级六氟乙烷标准提供实验基础。
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关键词
气相色谱仪
电子工业气体
电子级六氟乙烷
氦离子色谱法
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Keywords
gas chromatography
electric gas
hexafluoroethane of electric grade.
GC-PDHID method
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分类号
O657.7
[理学—分析化学]
TQ222.23
[化学工程—有机化工]
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题名气相色谱法测高纯磷烷中的杂质含量
被引量:3
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作者
郁光
咸鹏林
庄鸿涛
方华
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机构
上海华爱色谱分析技术有限公司
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出处
《低温与特气》
CAS
2016年第1期27-31,共5页
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文摘
采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定磷烷(PH3)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对磷烷分析有较好的效果,并验证其测量应用范围。
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关键词
气相色谱仪
高纯电子工业气体
磷烷
氦离子色谱法
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Keywords
gas chromatography
high-purity electric gas
phosphine
GC-PDHID method
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分类号
O657.71
[理学—分析化学]
TQ116.02
[化学工程—无机化工]
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