电子工业气体氧化亚氮中C2烃杂质分离技术研究

随着我国科学技术水平的不断提高,电子工业的相关技术也发生了巨大变化,电子工业在配套设备、原材料、相关技术等各方面的使用标准均有所提升。氧化亚氮作为一种无机气体,逐渐成为电子工业领域必不可少的一种化学气体。而只有纯度极高的氧化亚氮气体,才能被应用到电子工业的不同领域当中。因此,有关部门需通过精密的杂质检测手段控制各项指标。本文对氧化亚氮中C2烃杂质的分离设备和材料进行介绍,对分离过程进行了探究。

电子级六氟乙烷的色谱分析

使用氦离子化色谱仪对电子级六氟乙烷进行分析,结果显示本实验方法很好的实现了电子级六氟乙烷杂质的色谱全分析,并且为建立电子级六氟乙烷标准提供实验基础。

气相色谱法测高纯磷烷中的杂质含量

采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定磷烷(PH3)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对磷烷分析有较好的效果,并验证其测量应用范围。