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电子微器件微尺度激光喷丸强化实验研究
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作者 陈益飞 《科学技术与工程》 北大核心 2014年第34期117-119,134,共4页
微尺度激光喷丸是一种灵活、精准的加工工艺,能够广泛应用于微电子设备中的电子微器件中,以改善电子微器件的强度及可靠性要求。为了研究微尺度激光喷丸对电子微器件的强化机制,对电子微器件常用加工材料铜箔进行微尺度激光喷丸强化。... 微尺度激光喷丸是一种灵活、精准的加工工艺,能够广泛应用于微电子设备中的电子微器件中,以改善电子微器件的强度及可靠性要求。为了研究微尺度激光喷丸对电子微器件的强化机制,对电子微器件常用加工材料铜箔进行微尺度激光喷丸强化。微尺度激光喷丸及未喷丸铜箔材料表面轮廓度、变形情况及显微硬度进行对比分析。实验结果表明,激光光斑的搭接率对铜箔微变形深度有一定影响,随着激光光斑能量的增加,铜箔微变形深度逐渐增加,经过微尺度激光喷丸强化的铜箔表面显微硬度得到了显著改善。 展开更多
关键词 电子微器件 尺度激光喷丸 轮廓 硬度
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微腔光电子器件研究与发展 被引量:1
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作者 宁永强 王立军 《光机电信息》 2002年第7期33-38,共6页
1引言 微腔激光器及其光子集成是光子学领域的前沿课题.它的突破可使光子学跨越固态光子学阶段,直接进入微光子时代的超大规模集成光路阶段.与大规模、超大规模集成电路一样,它不仅是国家信息产业发展的必由之路,而且是今后信息产业的... 1引言 微腔激光器及其光子集成是光子学领域的前沿课题.它的突破可使光子学跨越固态光子学阶段,直接进入微光子时代的超大规模集成光路阶段.与大规模、超大规模集成电路一样,它不仅是国家信息产业发展的必由之路,而且是今后信息产业的重要基础,因此需要不失时机对它进行研发. 展开更多
关键词 腔光电子器件 面发射腔激光器阵列 研究进展
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微纳电子器件课程思政案例教学的探索和实践 被引量:5
3
作者 刘森 李智炜 王玺 《教育教学论坛》 2020年第47期236-238,共3页
微纳电子器件是一门涉及微电子、集成电路先进制造工艺和表征技术的课程。由于“中兴”“华为”事件,我国微电子科学与产业技术引起广泛关注和讨论。文章以微纳电子器件课程改革为契机,在课堂教学中融入思政元素,展示我国微电子领域取... 微纳电子器件是一门涉及微电子、集成电路先进制造工艺和表征技术的课程。由于“中兴”“华为”事件,我国微电子科学与产业技术引起广泛关注和讨论。文章以微纳电子器件课程改革为契机,在课堂教学中融入思政元素,展示我国微电子领域取得的成就,引导大家客观评价我国微电子产业技术,建立对我国微电子科学发展的信心和兴趣,实现知识传授和价值引领同频共振。 展开更多
关键词 课程思政 教学改革 电子器件
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可延展柔性无机微纳电子器件原理与研究进展 被引量:2
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作者 尹清华 《山东工业技术》 2015年第18期126-126,共1页
近年来由于可延展性电子已经成为电子产业界以及学术界的研究热点。这种全新的设计,在保持电子器件高性能的同时,具备形状可弯曲、伸缩等柔性性能。本文介绍了可延展柔性无机微纳电子器件的工作原理,且分析了当前的研究进展,认为随着可... 近年来由于可延展性电子已经成为电子产业界以及学术界的研究热点。这种全新的设计,在保持电子器件高性能的同时,具备形状可弯曲、伸缩等柔性性能。本文介绍了可延展柔性无机微纳电子器件的工作原理,且分析了当前的研究进展,认为随着可延展柔性无机电子器件的应用以及技术的熟练,将会引发电子行业的巨大改革。 展开更多
关键词 可延展性柔性电子器件 无机半导体材料 研究进展
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硅基微纳光电子器件的研究
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作者 周宇 王孙晨 《通讯世界(下半月)》 2016年第9期244-244,共1页
由于硅基加工工艺目前发展较为成熟、硅基光电子元件的制造成本相对较低且具有较理想的光电混合继承性能,所以硅基光电子元件现阶段在光纤通信方面的应用较为普遍,特别是其向微纳米机电系统的深化,使其应用的空间更加广阔,在此背景下,... 由于硅基加工工艺目前发展较为成熟、硅基光电子元件的制造成本相对较低且具有较理想的光电混合继承性能,所以硅基光电子元件现阶段在光纤通信方面的应用较为普遍,特别是其向微纳米机电系统的深化,使其应用的空间更加广阔,在此背景下,本文以目前较为成功的几个关键硅基微纳光电子器件为例,针对硅基微纳光电子器件展开研究,为对其更加全面的认识做出努力。 展开更多
关键词 硅基纳光电子器件 硅基光电子元件 MEMS可调谐激光器
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折叠波导行波管及微加工技术 被引量:6
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作者 欧阳勤 《真空电子技术》 2003年第6期33-38,共6页
随着真空微电子学和微加工技术的发展,微真空电子器件的研究范围日益扩展并逐步扩大了各领域的重要应用。研究表明:毫米波折叠波导行波管已成为国际范围THz器件的研究重点。本文扼要地介绍了美国威斯康星大学对折叠波导行波管的研究情况... 随着真空微电子学和微加工技术的发展,微真空电子器件的研究范围日益扩展并逐步扩大了各领域的重要应用。研究表明:毫米波折叠波导行波管已成为国际范围THz器件的研究重点。本文扼要地介绍了美国威斯康星大学对折叠波导行波管的研究情况,包括设计、缩尺实验、采用的制造技术以及某些其他微真空电子器件和微加工制造方法。 展开更多
关键词 真空电子器件 折叠波导 加工技术
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谐振耦合式无线电能传输在微型传感器上的应用
7
作者 董燕 余亮 +1 位作者 李琳 梁齐 《微型机与应用》 2014年第3期1-4,共4页
简要介绍无线电能传输的发展、模式分类等,着重介绍了谐振耦合无线电能传输模式的工作原理,分析了此种模式在解决微型传感器能量供应方面的局限和优势,最后提出了无线电能传输应用于微型传感器的待解决问题。
关键词 无线电能传输 谐振耦合 电子器件
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片上电子源的真空阳极键合 被引量:1
8
作者 陶俊明 刘文超 +3 位作者 郭等柱 赵振征 陈清 魏贤龙 《真空电子技术》 2020年第4期28-33,共6页
本文介绍了一种新型片上微型电子源的真空阳极键合方法,以构建一个和片上微型电子源集成在一起的片上微型真空腔室。采用导线搭接的方法完成了硅玻璃交替的多层键合结构,实现了包含五层键合结构的片上微型真空三极管。使用氦质谱检漏仪... 本文介绍了一种新型片上微型电子源的真空阳极键合方法,以构建一个和片上微型电子源集成在一起的片上微型真空腔室。采用导线搭接的方法完成了硅玻璃交替的多层键合结构,实现了包含五层键合结构的片上微型真空三极管。使用氦质谱检漏仪对键合界面进行真空漏率的检测,提出了一种可改善电极跨越键合界面引起界面漏气的简单方法。 展开更多
关键词 阳极键合 片上电子 纳真空电子器件 片上型真空腔室
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国家微分析中心
9
《理化检验(物理分册)》 CAS 2004年第10期540-540,共1页
国家微电子材料与元器件微分析中心(简称:国家微分析中心)是复旦大学材料科学系主要的科研机构之一,1991年由国家计委立项成立.国家微分析中心长期以来从事微电子领域的微分析工作,承担并完成了"八五"和"九五"期间... 国家微电子材料与元器件微分析中心(简称:国家微分析中心)是复旦大学材料科学系主要的科研机构之一,1991年由国家计委立项成立.国家微分析中心长期以来从事微电子领域的微分析工作,承担并完成了"八五"和"九五"期间国家计委"微分析技术及其应用"等重大攻关任务,为我国特别是上海的微电子产业发展做出了卓越的贡献. 展开更多
关键词 国家电子材料与元器件分析中心 复旦大学 科研机构 电子 分析
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A Generalized Reynolds' Equation For Squeeze-Film Air Damping in MEMS 被引量:5
10
作者 鲍敏杭 孙远程 +1 位作者 杨恒 王跃林 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第12期1245-1248,共4页
A differential equation that is generally effective for squeeze film air damping of perforated plate and non perforated plate as well as in MEMS devices is developed.For perforated plate,the thickness and the dimens... A differential equation that is generally effective for squeeze film air damping of perforated plate and non perforated plate as well as in MEMS devices is developed.For perforated plate,the thickness and the dimensions of the plate are not limited.With boundary conditions,pressure distribution and the damping force on the plate can be found by solving the differential equation.Analytical expressions for damping pressure and damping force of a long strip holeplate are presented with a finite thickness and a finite width.To the extreme conditions of very thin plate and very thin hole,the results are reduced to the corresponding results of the conventional Reynolds' equation.Thus, the effectiveness of the generalized differential equation is justified.Therefore,the generalized Reynolds' equation will be a useful tool of design for damping structures in MEMS. 展开更多
关键词 squeeze film air damping MEMS Reynolds' equation
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Optimization of InGaAs Quantum Dots for Optoelectronic Applications
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作者 段瑞飞 王宝强 +1 位作者 朱占平 曾一平 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期1009-1015,共7页
Self-assembled In 0.35Ga 0.65As/GaAs quantum dots with low indium content are grown under different growth temperature and investigated using contact atomic force microscopy(AFM).In order to obtain high density ... Self-assembled In 0.35Ga 0.65As/GaAs quantum dots with low indium content are grown under different growth temperature and investigated using contact atomic force microscopy(AFM).In order to obtain high density and high uniformity of quantum dots,optimized conditions are concluded for MBE growth.Optimized growth conditions also compared with these of InAs/GaAs quantum dots.This will be very useful for InGaAs/GaAs QDs optoelectronic applications,such as quantum dots lasers and quantum dots infrared photodetectors. 展开更多
关键词 INGAAS/GAAS quantum dot OPTIMIZATION MBE AFM OPTOELECTRONICS
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场发射冷阴极的技术现状及其应用研究进展 被引量:2
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作者 徐季 张建 +5 位作者 李孟杰 史永佼 施予同 吴量 李新宇 张晓兵 《真空电子技术》 2020年第3期1-14,共14页
基于场发射冷阴极的真空电子器件被广泛应用于通讯、医疗、安全监测等领域,本文主要回顾了近年来场发射冷阴极及其真空电子器件的最新研究进展,介绍了现行冷阴极中使用的低维纳米材料和新型复合式结构,详细探讨了场发射冷阴极在微波管... 基于场发射冷阴极的真空电子器件被广泛应用于通讯、医疗、安全监测等领域,本文主要回顾了近年来场发射冷阴极及其真空电子器件的最新研究进展,介绍了现行冷阴极中使用的低维纳米材料和新型复合式结构,详细探讨了场发射冷阴极在微波管、电子显微技术、X射线管及真空纳米间隙晶体管中的应用现状。最后,着重阐述了真空电子微系统的科学概念,并对未来的应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 场发射冷阴极 真空电子器件 低维纳米材料 纳加工工艺 真空系统
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Porous Structure, Salt Component Distribution and Catalytic Preference of Zinc Acetate Catalysts for Vinylacetate Synthesis on Modified Carbon Supports 被引量:2
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作者 Hoang Kim Bong Oleg Naumovich Temkin +1 位作者 Hoang Huu Binh Dorina Ivanova Yamandiy 《Journal of Chemistry and Chemical Engineering》 2011年第5期473-477,共5页
The main problem in an efficient Zn(CH3COO)2/AC (AC-activated carbon) catalyst preparation is the achievement of uniform distribution of highly dispersed salt component on the activated carbon (AC) surface. The ... The main problem in an efficient Zn(CH3COO)2/AC (AC-activated carbon) catalyst preparation is the achievement of uniform distribution of highly dispersed salt component on the activated carbon (AC) surface. The solution of this problem is modification of the AC by hydrogen peroxide (H202) oxidation of the surface and treatment of AC with acetic acid as well as special methods of salt deposition and catalyst drying. The investigations of these ways of AC surface modification (treatment of AC with acetic acid and H2O2) have demonstrated the obtained AC to have both an increased adsorption capacity as to Zn(OAc)2 and optimum volumes of meso- and micro-pores as well as high catalyst activity in vinyl acetate (VA) synthesis. The characteristics of supports and catalysts were found out by benzene, water and acetic acid vapors adsorption. The distribution of the salt on the AC surface was studied by small-angle X-ray scattering (SAXS), by scanning electron microscopy (SEM) and X-ray micro-analysis (XMA). The catalysts were tested in vinyl acetate synthesis in flow-bed isothermal reactor by cyclic method at 175, 205 and 230℃. 展开更多
关键词 Activated carbon kinetic adsorption porosity nanostructures vinyl acetate synthesis catalysts activity.
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Fluorinated polymer with high thermal stability for fabrication of 32-channel arrayed waveguide grating multiplexer on silicon
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作者 王菲 李艾泽 +4 位作者 孙伟 衣茂斌 姜振华 刘式墉 张大明 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2005年第4期366-369,共4页
A cross-linkable fluorinated poly (ether ether ketone) (FPEEK) was synthesized for the fabrication of arrayed waveguide grating (AWG) multiplexer. The results of thermal gravimetric analysis (TGA) and near-infrared ab... A cross-linkable fluorinated poly (ether ether ketone) (FPEEK) was synthesized for the fabrication of arrayed waveguide grating (AWG) multiplexer. The results of thermal gravimetric analysis (TGA) and near-infrared absorption spectrum show that the materials have high thermal stability and high optical transparency in the infrared communication region. The refractive index of FPEEK can be controlled easily by changing the fluorine content of the materials. The 32-channel AWG multiplexer is fabricated using the FPEEK and oxygen reactive ion etching technology. The AWG multiplexer exhibits that the insertion loss is from 12.8 to 17.8 dB and the channel crosstalk is less than-20 dB. The wavelength channel spacing and the center wavelength are 0.8nm and 1548nm, respectively. 展开更多
关键词 wavelength division multiplexing arrayed waveguide grating fluorinated polymer poly (ether ether ketone)
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Negative differential resistance behavior in doped C_(82) molecular devices
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作者 徐慧 贾姝婷 陈灵娜 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2012年第2期299-303,共5页
By using the first-principle calculations and nonequilibrium Green functions method, the electronic transport properties of molecular devices constructed by C82, C80BN and C80N2 were studied. The results show that the... By using the first-principle calculations and nonequilibrium Green functions method, the electronic transport properties of molecular devices constructed by C82, C80BN and C80N2 were studied. The results show that the electronic transport properties of molecular devices are affected by doped atoms. Negative differential resistance (NDR) behavior can be observed in certain bias regions for C82 and C80BN molecular devices but cannot be observed for C80N2 molecular device. A mechanism for the negative differential resistance behavior was suggested. 展开更多
关键词 electronic transport properties negative differential resistance FIRST-PRINCIPLE molecular device
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Integration of Power MOSFETs for Synchronous Buck Converters
16
作者 Juan A. Herbsommer Jonathan Noquil Osvaldo Lopez David Jauregui 《Journal of Energy and Power Engineering》 2012年第7期1126-1130,共5页
Efficiency and power loss in the microelectronic devices is a major issue in power electronics applications. The engineers are challenged every year to increase power density and at the same time reduce the amount of ... Efficiency and power loss in the microelectronic devices is a major issue in power electronics applications. The engineers are challenged every year to increase power density and at the same time reduce the amount of power dissipated in the applications to keep the maximum temperatures under specifications. This situation drives a constant demand for better efficiencies in smaller packages. Traditional approaches to improve efficiency in DC/DC synchronous buck converters include reducing conduction losses in the MOSFETs (metal oxide semiconductor field effect transistors) through lower RDS (ON) (resistance drain to source in the ON state) devices and lowering switching losses through low-frequency operation. However, the incremental improvements in RDS (ON) are at a point of diminishing returns and low RDS (ON) devices have large parasitic capacitances that do not facilitate the high-frequency operation required to improve power density. The drive for higher efficiency and increased power in smaller packages is being addressed by advancements in both silicon and packaging technologies. The NexFET power block combines these two technologies to achieve higher levels of performance, and in half the space versus discrete MOSFETs. This article explains these new technologies and highlights their performance advantage. 展开更多
关键词 MOSFET synchronous buck converters INTEGRATION DC/DC converters.
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微纳光子学基础与应用研究——第115期“双清论坛”学术综述 被引量:2
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作者 袁小聪 余思远 +14 位作者 孙洪波 郑婉华 仇旻 程亚 童立民 黄翊东 陈林森 廖良生 肖云峰 刘海涛 李朝晖 潘庆 何杰 张兆田 秦玉文 《中国基础科学》 2015年第3期12-19,共8页
微纳光子学是21世纪世界主要发达国家高度重视的科学前沿,也将对未来高新技术、国家安全、绿色能源等诸多领域产生重大而深远的影响。近年来,美国、欧盟等经济和科技发达的国家及地区陆续出台针对微纳光子学的重大研发计划,我国科学界... 微纳光子学是21世纪世界主要发达国家高度重视的科学前沿,也将对未来高新技术、国家安全、绿色能源等诸多领域产生重大而深远的影响。近年来,美国、欧盟等经济和科技发达的国家及地区陆续出台针对微纳光子学的重大研发计划,我国科学界也呼吁政府尽早设立相关研究计划,加强对微纳光子学的研究。微纳光子学结合了光子学与纳米技术的前沿成果,成为21世纪国家不可或缺的关键科学和技术,我国学者在此领域已经取得了很多国际一流的研究成果。为了深入探讨微纳光子学前沿基础理论以及由此衍生的技术对未来国民经济中的先进制造业和战略资源的影响,2014年5月14—16日,国家自然科学基金委员会信息科学部、数理科学部、工程与材料科学部与政策局共同主办了主题为"微纳光子学"的第115期双清论坛,来自全国26个单位的38位专家学者应邀参加了论坛。与会专家通过充分而深入的研讨,凝练了该领域的重大关键科学问题,探讨了前沿研究方向和科学基金资助战略。 展开更多
关键词 纳光电子器件 纳加工 超分辨成像 3D显示 能源 光子集成
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高精度测量的特种SPM技术及仪器
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作者 马宗敏 王芳 +6 位作者 曲章 赵敏 石云波 张晓明 秦丽 刘俊 李艳君 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2016年第11期1-16,共16页
测量过程中,测量的准确程度与测量仪器间的作用力是极其重要的,为此需准确测量微纳尺度材料的机械、电子、磁、光以及化学特性.同时,扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)及其相关技术拥有确定探针针尖与样品间作用力的能力,... 测量过程中,测量的准确程度与测量仪器间的作用力是极其重要的,为此需准确测量微纳尺度材料的机械、电子、磁、光以及化学特性.同时,扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)及其相关技术拥有确定探针针尖与样品间作用力的能力,因此,本文主要就微纳尺度的高精度SPM测量技术及仪器做一简单的介绍和回顾.首先介绍了原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)、扫描隧道显微镜(Scanning Tunnel Microscope,STM)及其相关技术原理,其次重点介绍了常温/低温STM、自旋极化(Spin Polarization,SP)-STM、AFM等仪器本身的关键技术及搭建难点,并介绍了运用上述仪器取得的典型成果;再次,介绍了国内外运用极端环境(超低温、超高真空)与常温、大气环境的AFM、STM在特殊区域微纳尺度测量、基于探针技术的微纳电子器件表征与控制,以及SPM操控技术的典型成果最新进展;最后,介绍了本研究小组运用超高真空AFM在磁性材料表征与测量方面的进展.总之,通过本文对SPM高精度测量及其应用的回顾与介绍,对SPM的关键组成部分、关键技术及最新发展有了更深的认识.SPM的先进性、用户的友好体验以及具有鲜明应用指向性的特点,有望在原子/分子科学、纳机电系统(Nanoelectro Mechanical System,NEMS)等领域有重要的应用. 展开更多
关键词 SPM技术 精密测量 电子器件 材料表征
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Fundamental Research on Convective Heat Transfer in Electronic Cooling Technology 被引量:1
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作者 C.F.Ma Y.P.Can +1 位作者 Y.Q.Tian D.H.Lei 《Journal of Thermal Science》 SCIE EI CAS CSCD 1992年第1期30-40,共11页
During the past six years comprehensive research programs have been conducted at the Beijing Polytechnic University to provide a better understanding of heat transfer characteristics of existing and condidate cool- in... During the past six years comprehensive research programs have been conducted at the Beijing Polytechnic University to provide a better understanding of heat transfer characteristics of existing and condidate cool- ing techniques for electronic and microelectronic devices.This paper provides a review and summary of the programs with emphasis on direct liquid cooling.Included in this review are the heat transfer investigations related to the following cooling modes:liquid free,mixed and forced convection,liquid jet impingement,flowing liquid film cooling,pool boiling,spray cooling,foreign gas jet impingement in liquid pool,and forced convection air-cooling. 展开更多
关键词 convective heat transfer electronic cooling technology cooling modes.
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Preparation and potential application of functional ordered microstructures 被引量:2
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作者 SUN ZhiQiang YANG Bai 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 2011年第2期275-285,共11页
With the development of science and technology,ordered microstructures with special functions have aroused intense research interest.These functional microstructures have been widely used in fields of microelectronic ... With the development of science and technology,ordered microstructures with special functions have aroused intense research interest.These functional microstructures have been widely used in fields of microelectronic devices,micro-reactors,biochemical sensors and optical devices,etc.This paper summaries our work on preparation and application of microscopic patterned surfaces with ordered microstructures,and looks into the future development of this field. 展开更多
关键词 ordered microstructures colloidal crystals DEWETTING
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