本文重点在分析比较PMT视频放大系统与PMT光子计数系统的噪声源,信噪比及探测灵敏度的基础上,就光子计数技术在扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)二次电子信号检测中的可能应用进行了初步的理论探讨。分析表明,SEM采用光...本文重点在分析比较PMT视频放大系统与PMT光子计数系统的噪声源,信噪比及探测灵敏度的基础上,就光子计数技术在扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)二次电子信号检测中的可能应用进行了初步的理论探讨。分析表明,SEM采用光子计数技术后,信号探测灵敏度可提高一个量级以上,从而在相同的电子枪发射亮度与既定的电子光学系统下,可获得更高的图象分辩率与清晰度。展开更多
透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提。本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、Sr Ti O3和La Al O3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的...透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提。本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、Sr Ti O3和La Al O3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的方法。第一种通过扫描电子显微镜(SEM)的衬度变化经验地判断样品的厚度;第二种是用FIB在样品边缘切一个斜边,通过SEM测量斜边侧面的宽度用几何方法推断样品的厚度。这两种方法都通过会聚束电子衍射(CBED)和电子能量损失谱(EELS)测量的厚度作为检验标准。对比认为,样品较薄时用SEM衬度测厚比较合适;样品比较厚时用几何方法测量比较直接。展开更多
文摘本文重点在分析比较PMT视频放大系统与PMT光子计数系统的噪声源,信噪比及探测灵敏度的基础上,就光子计数技术在扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)二次电子信号检测中的可能应用进行了初步的理论探讨。分析表明,SEM采用光子计数技术后,信号探测灵敏度可提高一个量级以上,从而在相同的电子枪发射亮度与既定的电子光学系统下,可获得更高的图象分辩率与清晰度。
文摘透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提。本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、Sr Ti O3和La Al O3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的方法。第一种通过扫描电子显微镜(SEM)的衬度变化经验地判断样品的厚度;第二种是用FIB在样品边缘切一个斜边,通过SEM测量斜边侧面的宽度用几何方法推断样品的厚度。这两种方法都通过会聚束电子衍射(CBED)和电子能量损失谱(EELS)测量的厚度作为检验标准。对比认为,样品较薄时用SEM衬度测厚比较合适;样品比较厚时用几何方法测量比较直接。