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磁控溅射机离子电源的双重作用
1
作者
梁贵军
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
1993年第4期31-33,共3页
概述了磁控溅射机离子电源的正极——电子捕集器的双重作用:除了捕集逃逸电子外,还具有增加膜层中氧化物成分的作用。
关键词
磁控溅射机
离子电源
电子捕集器
下载PDF
职称材料
题名
磁控溅射机离子电源的双重作用
1
作者
梁贵军
机构
石家庄市无线电三厂
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
1993年第4期31-33,共3页
文摘
概述了磁控溅射机离子电源的正极——电子捕集器的双重作用:除了捕集逃逸电子外,还具有增加膜层中氧化物成分的作用。
关键词
磁控溅射机
离子电源
电子捕集器
分类号
TM540.5 [电气工程—电器]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
磁控溅射机离子电源的双重作用
梁贵军
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
1993
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