原子束计算全息片的设计与制作研究

在分析原子束计算全息片特点的基础上 ,提出采用罗曼Ⅲ型傅里叶变换计算全息图设计原子束计算全息片 ,给出设计步骤 ,然后提出采用电子束光刻编码矩孔图形 ,ICP各向异性刻蚀SiN薄膜的全息片制作方案 ,对全息片的制作工艺流程详细予以介绍 。