电子束共蒸发Al_2O_3-La_2O_3和ZrO_2-Ta_2O_5复合薄膜的介电性能研究

Al2O3、ZrO2、Ta2O5和La2O3薄膜在栅介质、无机EL介质和光学薄膜方面有着重要用途,但对其复合薄膜介电性能方面的研究很少。文章采用电子束共蒸发法制备了厚度分别为414nm和143nm的Al2O3-La2O3(ALO)和ZrO2-Ta2O5(ZTO)复合薄膜,用Sawyer-Tower电路测得介电常数分别为17和34,反映介电损耗的参数△Vy分别为0.013V和0.56V,击穿场强分别为128MV/m和175MV/m,在50MV/m场强下,ALO的正、反向漏电流密度分别为3.1×10-5A/cm2和4.1×10-5A/cm2,ZTO的正、反向漏电流密度分别为3.9×10-5A/cm2和3.7×10-5A/cm2。另外,实验还与电子束蒸发和反应溅射制备的Al2O3、ZrO2、Ta2O5的介电性能做了比较,结果表明,上述复合薄膜单独作为无机EL绝缘层是不合适的。

基于户外照明灯罩的自清洁复合膜研制

根据户外照明系统自清洁功能的需求,基于光学薄膜理论,对复合膜折射率和质量配比进行了理论分析与模拟,采用电子束共蒸发技术镀制TiO_2/Al_2O_3复合膜,并对其做真空退火处理.在单晶控系统中,通过控制左右两电子枪的束流,镀制了不同质量配比复合膜.亲水性测试和甲基橙实验表明,复合膜中TiO_2的质量配比越高,自清洁效果越好,但亲水性和可见光透过率会降低.对不同质量配比的复合膜进行了检测和分析,并通过调整质量配比来优化试验方案,结果表明,TiO_2/Al_2O_3质量配比为9:1时,该薄膜既具有自清洁亲水作用,又具较高的可见光透过率.