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光刻探头的共振压力显微系统的研究
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作者 任韧 徐进 +2 位作者 刘雨君 刘慧玲 任大男 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期249-252,共4页
以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵... 以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵敏度。结果表明,光刻的探头具有高Q值和软悬臂低倔强系数K,磁共振压力通过扫描片段和激光光纤干涉得到了极其微小的压力。光刻探头的共振压力显微具有高空间分辨率,兼具核磁共振成像(MRI)和原子压力显微技术(AFM)优点,是一种重要的核自旋探测技术和三维原子分辨率成像的有力方法。 展开更多
关键词 半导体光刻 共振压力显微 电子束刻印 等离子刻印 空间分辨率
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半导体核磁共振显微压力的质子全自旋量子门的实现 被引量:1
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作者 任韧 徐进 任大男 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期8155-8159,共5页
以实现质子全自旋量子门、观察半导体核子自旋态和量子计算为目的,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,采用脉冲调制序列控制磁共振的条件和翻转旋转框架,计算了共振显微压力.结果表明,质子全自旋量子门具有高灵敏度和高Q... 以实现质子全自旋量子门、观察半导体核子自旋态和量子计算为目的,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,采用脉冲调制序列控制磁共振的条件和翻转旋转框架,计算了共振显微压力.结果表明,质子全自旋量子门具有高灵敏度和高Q操控性,通过扫描片段和激光干涉可以得到磁共振压力.共振压力兼具MRI和AFM优点,是一种强有力的通过核自旋实现量子计算获得量子信息的有效方法. 展开更多
关键词 空间分辨率 共振显微 半导体光刻 电子束刻印
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