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光刻探头的共振压力显微系统的研究
1
作者
任韧
徐进
+2 位作者
刘雨君
刘慧玲
任大男
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期249-252,共4页
以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵...
以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵敏度。结果表明,光刻的探头具有高Q值和软悬臂低倔强系数K,磁共振压力通过扫描片段和激光光纤干涉得到了极其微小的压力。光刻探头的共振压力显微具有高空间分辨率,兼具核磁共振成像(MRI)和原子压力显微技术(AFM)优点,是一种重要的核自旋探测技术和三维原子分辨率成像的有力方法。
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关键词
半导体光刻
共振压力显微
电子束刻印
等离子
刻印
空间分辨率
下载PDF
职称材料
半导体核磁共振显微压力的质子全自旋量子门的实现
被引量:
1
2
作者
任韧
徐进
任大男
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期8155-8159,共5页
以实现质子全自旋量子门、观察半导体核子自旋态和量子计算为目的,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,采用脉冲调制序列控制磁共振的条件和翻转旋转框架,计算了共振显微压力.结果表明,质子全自旋量子门具有高灵敏度和高Q...
以实现质子全自旋量子门、观察半导体核子自旋态和量子计算为目的,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,采用脉冲调制序列控制磁共振的条件和翻转旋转框架,计算了共振显微压力.结果表明,质子全自旋量子门具有高灵敏度和高Q操控性,通过扫描片段和激光干涉可以得到磁共振压力.共振压力兼具MRI和AFM优点,是一种强有力的通过核自旋实现量子计算获得量子信息的有效方法.
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关键词
空间分辨率
共振显微
半导体光刻
电子束刻印
原文传递
题名
光刻探头的共振压力显微系统的研究
1
作者
任韧
徐进
刘雨君
刘慧玲
任大男
机构
西安交通大学光信息科学系
西安交通大学教育部非平衡态与量子调控重点实验室
University of Texas at Austin
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期249-252,共4页
基金
国家自然科学基金项目(10775111)
国家教育部非平衡态与量子调控重点实验室项目
西安交通大学自然基金项目
文摘
以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵敏度。结果表明,光刻的探头具有高Q值和软悬臂低倔强系数K,磁共振压力通过扫描片段和激光光纤干涉得到了极其微小的压力。光刻探头的共振压力显微具有高空间分辨率,兼具核磁共振成像(MRI)和原子压力显微技术(AFM)优点,是一种重要的核自旋探测技术和三维原子分辨率成像的有力方法。
关键词
半导体光刻
共振压力显微
电子束刻印
等离子
刻印
空间分辨率
Keywords
semiconductor photo-etching
resonance force microscopy
EBL fabric
RIE
spatial resolution
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
半导体核磁共振显微压力的质子全自旋量子门的实现
被引量:
1
2
作者
任韧
徐进
任大男
机构
西安交通大学理学院物理系
西北大学数学系
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期8155-8159,共5页
基金
国家自然科学基金(批准号:10775111)
教育部留学科研基金(批准号:(2009)1001)
西安市科技攻关项目(批准号:CXY09021)资助的课题~~
文摘
以实现质子全自旋量子门、观察半导体核子自旋态和量子计算为目的,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,采用脉冲调制序列控制磁共振的条件和翻转旋转框架,计算了共振显微压力.结果表明,质子全自旋量子门具有高灵敏度和高Q操控性,通过扫描片段和激光干涉可以得到磁共振压力.共振压力兼具MRI和AFM优点,是一种强有力的通过核自旋实现量子计算获得量子信息的有效方法.
关键词
空间分辨率
共振显微
半导体光刻
电子束刻印
Keywords
spatial resolution
resonance microscopy
semiconductor photo etching
EBL fabric
分类号
O471.1 [理学—半导体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光刻探头的共振压力显微系统的研究
任韧
徐进
刘雨君
刘慧玲
任大男
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
下载PDF
职称材料
2
半导体核磁共振显微压力的质子全自旋量子门的实现
任韧
徐进
任大男
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
原文传递
已选择
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