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电子束直写技术制作GHz频带声表面波器件
被引量:
1
1
作者
杨忠山
范子坤
+1 位作者
田丰
韩立
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2005年第6期606-609,共4页
电子束具有刻写微细图形尺寸的能力,容易实现亚微米宽格栅的声表面波器件制造,因此可达到器件的高频化和在设计上更具灵活性。该文介绍了器件图形的数据处理策略,基片的制备和工艺过程。描述了在电子束曝光过程中采取的一些独特方法,生...
电子束具有刻写微细图形尺寸的能力,容易实现亚微米宽格栅的声表面波器件制造,因此可达到器件的高频化和在设计上更具灵活性。该文介绍了器件图形的数据处理策略,基片的制备和工艺过程。描述了在电子束曝光过程中采取的一些独特方法,生产了性能良好的吉赫兹频带滤波器、谐振器和延迟线等声表面波器件。
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关键词
半导体工艺
声表波器件
电子束刻蚀技术
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职称材料
题名
电子束直写技术制作GHz频带声表面波器件
被引量:
1
1
作者
杨忠山
范子坤
田丰
韩立
机构
中国科学院电工研究所
北京长峰声表面公司
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2005年第6期606-609,共4页
文摘
电子束具有刻写微细图形尺寸的能力,容易实现亚微米宽格栅的声表面波器件制造,因此可达到器件的高频化和在设计上更具灵活性。该文介绍了器件图形的数据处理策略,基片的制备和工艺过程。描述了在电子束曝光过程中采取的一些独特方法,生产了性能良好的吉赫兹频带滤波器、谐振器和延迟线等声表面波器件。
关键词
半导体工艺
声表波器件
电子束刻蚀技术
Keywords
semiconductor tdeehnology
SAW device
electron beam lithography
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子束直写技术制作GHz频带声表面波器件
杨忠山
范子坤
田丰
韩立
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2005
1
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