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题名电子束扫描系统的动态快速补偿
被引量:3
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作者
尹明
张玉林
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机构
山东工业大学自动化系
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出处
《微细加工技术》
1998年第3期37-41,共5页
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文摘
本文介绍 SDS- 2电子束扫描系统的动态快速补偿。它确保了扫描系统的输出线性 ,减小了对偏转放大器高频响应的要求。轴向地址分辨率为 1 5 Bit,扫描场尺寸、旋转和正交性都可以自动调节。在 5 0 - 1 0 0 n S时间内闭合一个开关产生平滑的斜坡 ,使 SDS- 2的扫描速度相当于逐点式扫描电子束系统的 5 0 0 k Hz- 5 MHz。
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关键词
扫描场
高频响应
矢量扫描
电子束扫描系统
补偿
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Keywords
Scanning field
High frequency response
Deflection amplifier
Vector scanning
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名电子束扫描偏转系统参量非劣解中的最优解
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作者
尹明
孙晓军
张玉林
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机构
山东工业大学自动化工程系
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出处
《山东科学》
CAS
1998年第1期28-30,34,共4页
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文摘
电子束扫描系统决定了电子束机的动态特性。
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关键词
偏转磁场
象差
VLSI
电子束机
电子束扫描系统
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Keywords
e-beam
deflection magnetic-field
aberration
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分类号
TN470.5
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名电子束扫描旋转和正交的自动调节
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作者
方一兵
尹明
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机构
山东工业大学自动化系
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出处
《山东轻工业学院学报(自然科学版)》
CAS
1999年第4期30-32,共3页
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文摘
本文介绍SDS—2 电子束扫描系统。它确保了扫描系统的输出线性,减小了对偏转放大器高频响应的要求。轴向地址分辩率为16 Bit,扫描场尺寸、旋转和正交性都可以自动调节。在50—100 nS时间内闭合一个开关产生平滑的斜坡。使扫描速度相当于逐点式扫描电子束系统的10MHz。
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关键词
矢量扫描
SDS-2
电子束扫描系统
自动调节
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Keywords
scanning field,high frequency response,deflection amplifier,vector scanning
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分类号
TP272
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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