期刊文献+
共找到3篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
电子束扫描系统的动态快速补偿 被引量:3
1
作者 尹明 张玉林 《微细加工技术》 1998年第3期37-41,共5页
本文介绍 SDS- 2电子束扫描系统的动态快速补偿。它确保了扫描系统的输出线性 ,减小了对偏转放大器高频响应的要求。轴向地址分辨率为 1 5 Bit,扫描场尺寸、旋转和正交性都可以自动调节。在 5 0 - 1 0 0 n S时间内闭合一个开关产生平滑... 本文介绍 SDS- 2电子束扫描系统的动态快速补偿。它确保了扫描系统的输出线性 ,减小了对偏转放大器高频响应的要求。轴向地址分辨率为 1 5 Bit,扫描场尺寸、旋转和正交性都可以自动调节。在 5 0 - 1 0 0 n S时间内闭合一个开关产生平滑的斜坡 ,使 SDS- 2的扫描速度相当于逐点式扫描电子束系统的 5 0 0 k Hz- 5 MHz。 展开更多
关键词 扫描 高频响应 矢量扫描 电子束扫描系统 补偿
下载PDF
电子束扫描偏转系统参量非劣解中的最优解
2
作者 尹明 孙晓军 张玉林 《山东科学》 CAS 1998年第1期28-30,34,共4页
电子束扫描系统决定了电子束机的动态特性。
关键词 偏转磁场 象差 VLSI 电子束 电子束扫描系统
下载PDF
电子束扫描旋转和正交的自动调节
3
作者 方一兵 尹明 《山东轻工业学院学报(自然科学版)》 CAS 1999年第4期30-32,共3页
本文介绍SDS—2 电子束扫描系统。它确保了扫描系统的输出线性,减小了对偏转放大器高频响应的要求。轴向地址分辩率为16 Bit,扫描场尺寸、旋转和正交性都可以自动调节。在50—100 nS时间内闭合一个开关产生平滑的斜... 本文介绍SDS—2 电子束扫描系统。它确保了扫描系统的输出线性,减小了对偏转放大器高频响应的要求。轴向地址分辩率为16 Bit,扫描场尺寸、旋转和正交性都可以自动调节。在50—100 nS时间内闭合一个开关产生平滑的斜坡。使扫描速度相当于逐点式扫描电子束系统的10MHz。 展开更多
关键词 矢量扫描 SDS-2 电子束扫描系统 自动调节
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部