用于投射式电子束曝光系统的磁浸没透镜的优化设计

以磁浸没透镜的电流密度值的大小为优化参量 ,以成像系统的轴上像散为目标函数 ,利用单纯形优化法对用于投射式电子束曝光系统的新型磁浸没透镜进行了优化设计。结果表明 ,目标函数由未经优化前的 35 8.187nm降低到 5 0 .6 93nm。同时单纯形优化法不需要已知目标函数与优化参量之间的解析关系式及求导 。

电子束曝光系统的信号检测与处理技术

本文叙述了应用于可变矩形电子束曝光系统中的几种信号检测和处理技术以及在调试过程中的应用，简单介绍了系统工作时信号间的相互关系。

利用电子束曝光系统制作高深宽比图形的研究

为了加工具有高深宽比的器件,采用能量连续递减近似模型,运用蒙特卡罗方法分析高能电子束曝光领域的电子散射轨迹及背散射电子对曝光分辨力的影响,探讨了制作高深宽比图形的工艺条件。计算机模拟结果与实验结果吻合得很好,表明在其它实验条件不变的情况下,较高的加速电压能提高图形的高深宽比,提供了制作高深宽比图形的一种方法。

用于微型、纳米卫星三维作图的微型多来电子束曝光系统研究

采用微型多束电子束曝光手段研制微型、纳米卫星所用ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统，具有灵活、迅速和设备费用较低的优点。本文介绍一台四束微型电子束曝光系统的总体方案、电子光柱计算、结构设计和扫描电路实验。四条电子束一条适用于微型机械直接光刻，两条适用于ＶＬＳＩ和ＭＭＩＣ，第四条适用于光集成电路。

电子束曝光系统中的校正技术

电子束曝光系统中采用了多项校正技术，才得以便之渐臻完善，成为微细加工领域中一种非常重要的工艺装备。本文概要地介绍了这些校正技术的原理、适用范围以及校正方法的要点。

澳大利亚研制纳米电子束曝光系统

据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。

澳大利亚正研制电子束曝光系统

澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。

澳大利亚研制纳米电子束曝光系统

据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。

澳大利亚科学家研制出电子束曝光系统

澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。

澳大利亚研制纳米电子束曝光系统

据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子柬曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。

澳大利亚研制纳米电子束曝光系统是制作微小纳米电子元件的最佳设备

据澳大利亚莫纳什大学网站报道，澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可标记纳米级的物体，还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。电子束曝光技术可直接刻画精细的图案，是实验室制作微小纳米电子元件的最佳选择。这款耗资数百万美元的曝光系统将在澳大利亚亮相，并有能力以很高的速度和定位精度制出超高分辨力的纳米图形。

澳大利亚研制纳米电子束曝光系统

澳大利亚莫纳什大学的研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统（EBL）。该系统可在纳米级的物体上进行书写或者蚀刻。

电子束纳米光刻技术研究

纳米光刻技术在微电子制作中起着关键作用 ,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一。我们使用VB5电子束曝光系统 ,经过工艺研究 ,现已研究出最细分辨率剥离金属条为 17nm ,最小剥离电极间距为 10nm ,最细T型栅为 10 0nm。

一种新型图形发生器硬件方案的研究

介绍了一个电子束曝光系统图形发生器的硬件实现方案,该方案以DSP处理器为核心,通过USB接口与上位机通讯,具有标记检测和曝光扫描两项基本功能,同时增加了圆形和圆环图形的处理功能。通过将现有图形发生器的功能移植至数字信号处理器,使各种图形硬件化,提高了图形的运算和处理速度,克服了以前图形发生器存在的许多弊端。

光学元件

Y2002-63132-441 0217314下一代全光因特网可变波长光开关的优化设计=To-wards optimal design of wavelength-convertible opticalswitches for the all-optical next-generation Internet[会,英]/Hou,X.L.&Mouftah,H.T.//2001 IEEECariadian Conference on Electrical and Computer Engi-neering,Vol.1.—441～446(E)

新知

近地宇宙图天文学家绘制出最详细的近地宇宙图,距地球20亿光年范围内的上万个星系都能反映在这幅全新的宇宙图上。＂懂＂指令的机器人美国研制出能回应人类各种姿势的机器人,这意味着人类生产全自动机器人迈出了重要一步。最完整的智力大脑图科学家绘制出最完整的人类智力大脑图,这意味着。