基于CST高能电子束束斑尺寸仿真研究

电子枪聚焦透镜部件中电流所产生的电场及磁场的大小会影响电子束在加工工件上形成的束斑直径,影响电子束加工质量。为了更精确及真实反应电子束的运动情况,通过CST仿真软件对电子枪透镜部件来模拟整个电子束束流过程,在考虑不同因素对束斑的影响条件下进行分析,得出在不同像距下形成最佳电子束束斑尺寸的情况。为通过调控电流来实现焊接过程中最佳电子束束斑尺寸提供了可行的理论以及实践基础。

在电子驻波直线加速器上获得小束斑电子束

近年来高效率探测器阵列数字辐射阳相技术（ＤｉｇｉｔａｌＲａｄｉｏｇｒａｐｈ）已经用于无损探伤实时在线图象处理检测。厚而重的关键部件的微小缺陷，需要用加速器产生的高能电子束作为焦点打靶产生Ｘ射线进行无损探伤检测。为配合开展高精度的在线ＤＲ实时图象处理无损检测技术的研究，在４ＭｅＶ驻波直线加速器（ＳＷＬｉｎａｃ）后加一个聚焦单元压缩束流束径。计算表明：在分离系统状况下，电子穿过两层钛富与空气层，再进行聚焦，获得小束斑电子束较为困难；将聚焦单元和加速器连成同一真空系统整体聚焦引出束流，可以得到束斑直径约０．２ｍｍ，打靶产生Ｘ射线剂量满足ＤＲ技术检测。另外，还提出了从改进加速器的结构、控制发射度增长获得电子束小束斑的研究方向。

热场发射电子枪在电子束光刻机中的应用研究

介绍了电子枪的分类与特点,重点介绍了热场发射电子枪的原理、结构、特点及在电子束光刻机中的应用。阐述了电子束光刻机束流与电子枪提取极电流之间关系,并分析了热场发射电子枪各个参数对提取极电流的影响。研究了热场发射电子枪的调校对电子束光刻工艺的影响,并通过实验得出束斑与束流的关系。最后通过调整电子枪参数,制备了不同的光刻图形,满足了不同的光刻工艺要求,验证了分析的结论。