一种用于蒸发高熔点材料的微型电子束蒸发枪的研制

在半导体器件制造,冶金及表面物理研究领域中,越来越多地要涉及超薄超纯的高熔点材料薄膜的制备,本文对我们研制的一种可蒸发难熔材料的微型电子束蒸发枪作一简要的描述。