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KLA-TENCOR首推速度最快电子束检测系统
1
《电子质量》
2003年第8期19-19,共1页
关键词
KLA-TENCOR公司
电子束检测系统
eS30
系统
芯片
在线监控
下载PDF
职称材料
应用材料公司推出下一代电子束检测设备具有业内最高的分辨率
2
《电子工业专用设备》
2016年第8期60-61,共2页
应用材料公司日前宣布其下一代电子束检测系统已在多家领先的晶圆代工厂,以及逻辑芯片、DRAM和3D NAND工厂得到广泛应用。随着客户逐渐转向更先进的技术节点,这款新一代电子束检测系统能够为其提供最高的分辨率和图像质量,同时保持最快...
应用材料公司日前宣布其下一代电子束检测系统已在多家领先的晶圆代工厂,以及逻辑芯片、DRAM和3D NAND工厂得到广泛应用。随着客户逐渐转向更先进的技术节点,这款新一代电子束检测系统能够为其提供最高的分辨率和图像质量,同时保持最快的检测速度。
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关键词
电子束检测系统
应用材料公司
检测
设备
分辨率
逻辑芯片
DRAM
NAND
技术节点
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职称材料
应用材料公司推出下一代电子束检测设备
3
《中国集成电路》
2016年第8期5-5,共1页
应用材料公司宣布其下一代电子束检测系统已在多家领先的晶圆代工厂,以及逻辑芯片、DRAM和3DNAND工厂得到广泛应用。随着客户逐渐转向更先进的技术节点,这款新一代电子束检测系统能够为其提供最高的分辨率和图像质量,同时保持最快的...
应用材料公司宣布其下一代电子束检测系统已在多家领先的晶圆代工厂,以及逻辑芯片、DRAM和3DNAND工厂得到广泛应用。随着客户逐渐转向更先进的技术节点,这款新一代电子束检测系统能够为其提供最高的分辨率和图像质量,同时保持最快的检测速度。
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关键词
电子束检测系统
应用材料公司
检测
设备
逻辑芯片
DRAM
技术节点
图像质量
分辨率
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职称材料
测试、传感器
4
《电子产品世界》
2003年第08B期109-110,共2页
关键词
CVS-1454
美国国家仪器有限公司
紧凑型视觉
系统
电子束检测系统
数据采集卡
DNA
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职称材料
题名
KLA-TENCOR首推速度最快电子束检测系统
1
出处
《电子质量》
2003年第8期19-19,共1页
关键词
KLA-TENCOR公司
电子束检测系统
eS30
系统
芯片
在线监控
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
应用材料公司推出下一代电子束检测设备具有业内最高的分辨率
2
出处
《电子工业专用设备》
2016年第8期60-61,共2页
文摘
应用材料公司日前宣布其下一代电子束检测系统已在多家领先的晶圆代工厂,以及逻辑芯片、DRAM和3D NAND工厂得到广泛应用。随着客户逐渐转向更先进的技术节点,这款新一代电子束检测系统能够为其提供最高的分辨率和图像质量,同时保持最快的检测速度。
关键词
电子束检测系统
应用材料公司
检测
设备
分辨率
逻辑芯片
DRAM
NAND
技术节点
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
应用材料公司推出下一代电子束检测设备
3
出处
《中国集成电路》
2016年第8期5-5,共1页
文摘
应用材料公司宣布其下一代电子束检测系统已在多家领先的晶圆代工厂,以及逻辑芯片、DRAM和3DNAND工厂得到广泛应用。随着客户逐渐转向更先进的技术节点,这款新一代电子束检测系统能够为其提供最高的分辨率和图像质量,同时保持最快的检测速度。
关键词
电子束检测系统
应用材料公司
检测
设备
逻辑芯片
DRAM
技术节点
图像质量
分辨率
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
测试、传感器
4
出处
《电子产品世界》
2003年第08B期109-110,共2页
关键词
CVS-1454
美国国家仪器有限公司
紧凑型视觉
系统
电子束检测系统
数据采集卡
DNA
分类号
TP277 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
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被引量
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1
KLA-TENCOR首推速度最快电子束检测系统
《电子质量》
2003
0
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职称材料
2
应用材料公司推出下一代电子束检测设备具有业内最高的分辨率
《电子工业专用设备》
2016
0
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职称材料
3
应用材料公司推出下一代电子束检测设备
《中国集成电路》
2016
0
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职称材料
4
测试、传感器
《电子产品世界》
2003
0
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职称材料
已选择
0
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参考文献
引证文献
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