MgZnO和ZnO晶体薄膜紫外发光特性比较

用电子束蒸发反应沉积在Si(111)衬底上低温生长了立方MgZnO薄膜和高度C -轴取向的ZnO薄膜 .X 射线光电子能谱 (XPS)结果表明 ,立方MgZnO薄膜中的Mg含量比靶源中的高 .紫外光致荧光谱 (UVPL)测试显示 ,与ZnO相比MgZnO的荧光峰从 393nm蓝移至 373nm ,这可能与MgZnO的带隙变宽有关 .对ZnO薄膜的研究还发现 ,生长过程中充O2 与否对ZnO发光特性的影响显著 ,不充O2 时样品的紫外荧光峰较之充O2

EBPVD金属/陶瓷微层复合材料的研究与应用

介绍了电子束物理气相沉积 (EBPVD)法制备微层复合材料的优点 ,详述了其四种不同材料体系的设计思想 。

红外增透膜研究

在8～12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质＋DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得，DLC膜由PEVCD制得。阐述了利用非均匀膜理论设计红外减反射薄膜的方法，所设计的红外减反射膜膜系优化结果较为理想。经过研究分析我们选择了氟化钇来进行此项研究并加以RF源（射频源）辅助镀膜，并用计算机修正来矫正真空镀膜法生产宽带增透膜时实验值与理论值存在的偏差。取得了良好的效果。用沈科仪镀膜机采用PECVD镀制DLC膜方面的也有很好的效果。

三种热障涂层制备技术对比

热障涂层(TBC)的制备技术不断更新,从等离子喷涂到电子束物理气相沉积,使TBC的质量得到了明显的提高,而化学气相沉积法则在设备成本的降低和对复杂部件的适用性方面显示出巨大的潜力。本文分析比较了3种制备TBC的方法。

热障涂层技术的发展

本文从热障涂层制备技术和检测技术两方面论述了热障涂层技术的发展。在制备技术方面分析对比了等离子喷涂法、电子束物理气相沉积法和化学气相沉积法,简单介绍了热障涂层检测技术开发方面的新动向。

热障涂层的研究现状及其制备技术

热障涂层用于燃气轮机的热端部件,可以显著提高其使用温度,延长热端部件的使用寿命,并增大燃气轮机发动机的效率。介绍了热障涂层的研究现状,以及两种主要制备热障涂层方法,即等离子喷涂法和电子束物理气相沉积法的原理、特点及不足。