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用于金属多层的超高真空系统
1
作者
豫民
《等离子体应用技术快报》
2000年第2期13-15,共3页
关键词
金属多层结构
电子
枪
薄膜
超高真空
电子束沉积系统
下载PDF
职称材料
用循环伏安法和交流阻抗法表征Au环微电极
被引量:
1
2
作者
景蔚萱
蒋庄德
朱明智
《中国科技论文在线》
CAS
2009年第8期587-591,共5页
介绍了Au环微电极的制备和表征方法,该Au环微电极有望在电化学、生物MEMS等方面得到应用。首先设计专用夹具,并在直径为125μm的光纤基底上用电子束蒸发系统沉积厚度为300nm的Au膜;然后在所沉积的Au膜上用真空沉积系统淀积700nm厚的Pary...
介绍了Au环微电极的制备和表征方法,该Au环微电极有望在电化学、生物MEMS等方面得到应用。首先设计专用夹具,并在直径为125μm的光纤基底上用电子束蒸发系统沉积厚度为300nm的Au膜;然后在所沉积的Au膜上用真空沉积系统淀积700nm厚的Parylene钝化层;最后切断沉积有多层薄膜的光纤并形成Au环电极。用扫描电镜(SEM)表征所沉积薄膜及其界面处的结合质量;在室温下用电化学工作站在可逆系统中对Au环电极进行循环伏安和交流阻抗谱分析。表征结果表明:所制备的薄膜及其界面处的结合质量良好;循环伏安响应曲线为典型的S形;交流阻抗谱和Randels等效电路一致;所制备的Au环电极具备微电极特性。
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关键词
电子束沉积系统
真空蒸镀
系统
扫描
电子
显微镜
循环伏安法
交流阻抗谱
下载PDF
职称材料
题名
用于金属多层的超高真空系统
1
作者
豫民
出处
《等离子体应用技术快报》
2000年第2期13-15,共3页
关键词
金属多层结构
电子
枪
薄膜
超高真空
电子束沉积系统
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
TB75 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
用循环伏安法和交流阻抗法表征Au环微电极
被引量:
1
2
作者
景蔚萱
蒋庄德
朱明智
机构
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
出处
《中国科技论文在线》
CAS
2009年第8期587-591,共5页
基金
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20060698009)
文摘
介绍了Au环微电极的制备和表征方法,该Au环微电极有望在电化学、生物MEMS等方面得到应用。首先设计专用夹具,并在直径为125μm的光纤基底上用电子束蒸发系统沉积厚度为300nm的Au膜;然后在所沉积的Au膜上用真空沉积系统淀积700nm厚的Parylene钝化层;最后切断沉积有多层薄膜的光纤并形成Au环电极。用扫描电镜(SEM)表征所沉积薄膜及其界面处的结合质量;在室温下用电化学工作站在可逆系统中对Au环电极进行循环伏安和交流阻抗谱分析。表征结果表明:所制备的薄膜及其界面处的结合质量良好;循环伏安响应曲线为典型的S形;交流阻抗谱和Randels等效电路一致;所制备的Au环电极具备微电极特性。
关键词
电子束沉积系统
真空蒸镀
系统
扫描
电子
显微镜
循环伏安法
交流阻抗谱
Keywords
electron beam evaporation system
vacuum deposition system
scanning electron microscopy
cyclic voltammetry
AC impedance frequency spectrum
分类号
TM910 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于金属多层的超高真空系统
豫民
《等离子体应用技术快报》
2000
0
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职称材料
2
用循环伏安法和交流阻抗法表征Au环微电极
景蔚萱
蒋庄德
朱明智
《中国科技论文在线》
CAS
2009
1
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职称材料
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