用循环伏安法和交流阻抗法表征Au环微电极

介绍了Au环微电极的制备和表征方法,该Au环微电极有望在电化学、生物MEMS等方面得到应用。首先设计专用夹具,并在直径为125μm的光纤基底上用电子束蒸发系统沉积厚度为300nm的Au膜;然后在所沉积的Au膜上用真空沉积系统淀积700nm厚的Parylene钝化层;最后切断沉积有多层薄膜的光纤并形成Au环电极。用扫描电镜(SEM)表征所沉积薄膜及其界面处的结合质量;在室温下用电化学工作站在可逆系统中对Au环电极进行循环伏安和交流阻抗谱分析。表征结果表明:所制备的薄膜及其界面处的结合质量良好;循环伏安响应曲线为典型的S形;交流阻抗谱和Randels等效电路一致;所制备的Au环电极具备微电极特性。