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电子束三维光刻技术的研究
被引量:
11
1
作者
孔祥东
张玉林
尹明
《微细加工技术》
2003年第4期9-13,共5页
在IH(IntegratedHardenPolymerStereoLithography)技术和电子束光刻技术的基础上提出了电子束微三维光刻技术新概念。对其实现方法的可行性进行了简要的理论分析,并使用SDV-II型真空腔在约1.33Pa的真空下对环氧618、WSJ 202和苏州2号抗...
在IH(IntegratedHardenPolymerStereoLithography)技术和电子束光刻技术的基础上提出了电子束微三维光刻技术新概念。对其实现方法的可行性进行了简要的理论分析,并使用SDV-II型真空腔在约1.33Pa的真空下对环氧618、WSJ 202和苏州2号抗蚀剂进行了气化试验,得出了它们在真空中的气化实验结果,证明了电子束液态光刻的可行性。
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关键词
电子束
三维
光刻
IH
抗蚀剂
电子束液态光刻
真空腔
下载PDF
职称材料
题名
电子束三维光刻技术的研究
被引量:
11
1
作者
孔祥东
张玉林
尹明
机构
山东大学控制学院电子束研究所
出处
《微细加工技术》
2003年第4期9-13,共5页
基金
山东省高科技发展基金资助项目(022090105)
文摘
在IH(IntegratedHardenPolymerStereoLithography)技术和电子束光刻技术的基础上提出了电子束微三维光刻技术新概念。对其实现方法的可行性进行了简要的理论分析,并使用SDV-II型真空腔在约1.33Pa的真空下对环氧618、WSJ 202和苏州2号抗蚀剂进行了气化试验,得出了它们在真空中的气化实验结果,证明了电子束液态光刻的可行性。
关键词
电子束
三维
光刻
IH
抗蚀剂
电子束液态光刻
真空腔
Keywords
IH
electron beam
micro stereo lithography
resist
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
电子束三维光刻技术的研究
孔祥东
张玉林
尹明
《微细加工技术》
2003
11
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