电子束缩小投影曝光机对准模拟软件设计

文章介绍了对准技术,设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件,阐述其数学模型和算法设计,并模拟出标记对准的背散射信号。

电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用

介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形 ,模拟出标记对准的背散射信号 ,并与实际实验信号图形进行了对比。

电子束缩小投影曝光机数字对准处理技术

介绍电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理 ,阐述数字处理技术在对准系统中的应用 ,以及对准数据的产生及数字处理的软件设计 。

缩小投影电子束曝光机的调试技术

详细介绍了在透射电镜上进行缩小投影电子束曝光技术原理性实验的主要调试过程。它充分利用了透射电镜本身的功能与特点。整个调试方法不仅可获得高分辨率图形 ,而且为下一步的研究工作提供了比较好的工作参数。

缩小投影电子束曝光系统的成像反差

结合原理说明了理想条件下的照明束与角度限制光阑可获得最佳成像反差 。

电子束投影曝光装置实验结果分析

主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点 ,针对在原理论证机上做的实验 。

国际微电子专用关键设备的现状和发展趋势（考察报告）

讲述了参观Ｓｅｍｉｃｏｎ／ｗｅｓｔ９４′展览会及考察美国和西德的５个公司、１所大学所了解到的投影光刻技术、电子束曝光技术、透镜面形测试技术的发展。