BAK641电子束蒸发镀膜机结构原理与维修技巧初探

电子束蒸发镀膜是镀膜的一种重要的形式,镀膜机在工业生产中被大量的使用,本文将通过对BAK641电子束蒸发镀膜机的结构原理以及一些实例的叙述来探讨相关的维修技巧。

电子束蒸发镀膜设备

主要技术与性能指标,极限真空度:<2.6×10^(−5)Pa,系统真空漏率:≤6.6×10^(−8)Pa.l/s,膜厚不均匀度:≤±5%,片间不均匀性:≤±5%,批间不均匀性:≤±5%,主要应用,半导体、LED科学研究,代表性应用成果,可满足铝、钛、铬、钒、镍、银、铟等金属,以及ITO等氧化物在基片上均匀沉积薄膜的各类工艺要求。

可见光减反射膜薄层控制误差的分析与性能优化

为提升光学镜头的成像质量,消除杂散光的影响,以K9玻璃为基底设计可见光波段平均反射率小于0.1%的减反射膜。采用电子束离子辅助沉积的制备方式,针对薄层敏感度高、光谱变化大等问题,通过建立稳定控制膜层厚度的数学模型来减小膜厚误差,提高制备精度和成膜稳定性。对减反射膜进行环测实验,优化调整工艺参数,侧重提高减反射膜的硬度和耐水煮能力。实验结果表明,最终制备出的减反射膜在420~680 nm波段内的平均反射率约为0.044%,最高反射率为0.0712%,克服了以MgF2为外层的减反射膜机械性能和化学稳定性较差的问题,满足工程应用低损耗、稳定可靠、高强度、可重复性制备的要求。

适用于共晶焊的肖特基二极管背面金属化工艺优化

[目的]为了降低成本,减少污染,提高工艺效率,对肖特基二极管背面金属化工艺进行研究,探索锡锑合金替代金系合金的最佳不持温镀膜金属化工艺.[方法]通过持温镀膜与不持温镀膜对比实验,分析电子束蒸发镀膜基片温度对阴极金属层间黏附性和导电性,以及薄膜厚度对空洞率的影响,得到适用于批量共晶焊的肖特基二极管背面金属化最优工艺参数.[结果]当基片温度为180℃时,不持温镀膜的剪切力为64.53 N,高于持温镀膜的剪切力;当金属化锡锑合金膜厚为3μm时,共晶焊的空洞率低于5%,符合共晶焊要求;电子束蒸发镀膜背面金属层方块电阻随基片温度升高先减小后增大,温度在180~240℃之间,方块电阻随基片温度的变化不大.[结论]用于共晶焊的肖特基二极管背面金属化的最优工艺为基底温度升到180℃后在自然降温的同时进行多层金属镀膜,锡锑合金镀膜厚度为3μm.

离子源辅助法制备TiN及等离子体特性研究

采用TCP等离子体辅助电子束蒸发沉积技术,在室温条件下的玻璃基片上制备了纳米结构的氮化钛薄膜.运用X衍射技术对该薄膜进行表征.利用朗缪尔静电双探针诊断了蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度及分析其分布规律,并分析了气压和功率对等离子体分布的影响.结果表明:离子源源口等离子体密度较大且分布不均匀;反应室内等离子体迅速扩散,密度变小且分布趋于均匀.

阻抗型频率选择表面电磁吸波结构的设计及测量

以传统Salisbury屏电磁吸波结构为基础,引入阻抗型频率选择表面(Frequency Selective Surfaces)对其进行了改进设计,采用等效电路模型法和电磁全波仿真对吸波结构的吸波性能进行计算和优化,改善吸波结构的吸收性能。用电子束蒸发镀膜法制备了基于铁/二氧化硅多层薄膜的频率选择表面结构,并以此为基础构建了新的吸波结构,平板反射率测量结果与仿真相吻合,显示引入频率选择表面能够有效减小吸波结构厚度,并能够拓展工作频带、提升吸波性能。

柔性红外吸波材料的设计及制备

当今红外吸波材料在红外热成像、红外探测、红外致冷等方面都有广泛的应用。并且随着微细加工工艺的进步,红外吸波材料正在向着柔性方向发展。传统柔性红外吸波材料在制备过程中工艺繁琐,本文利用磁谐振机理设计了一种柔性红外吸波结构材料,并使用CST软件模拟分析该材料结构的参数对吸波效果的影响。结合光刻工艺、电子束蒸发镀膜工艺和剥离工艺制备了这种柔性红外吸波材料,该设计方案能够简化传统柔性红外吸波材料的制备工艺。最后使用扫描电子显微镜和光学显微镜对柔性红外吸波材料进行形貌测试,并且利用红外光谱仪对柔性红外吸波材料进行红外吸收性能测试。结果表明:使用该种方案制备的柔性红外吸波材料在9.4μm处具有82%的吸收效率,与仿真结果吻合。

激光喷丸强化CoCrAlY防护涂层的抗高温氧化性能

利用大气等离子喷涂(air plasma spraying,APS)技术在镍基高温合金表面制备CoCrAlY涂层,在此基础上采用电子束真空蒸镀(electric beam vacuum deposition,EBVD)方法在涂层表面进一步沉积铝膜,以提高涂层表面Al元素含量。采用激光喷丸(laser peening,LP)工艺分别对以上2种涂层进行强化处理。采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对比分析LP强化前后CoCrAlY涂层表面相结构、微观形貌及成分变化。微观结构分析表明,LP处理后APS-CoCrAlY涂层表面粗糙度降低,组织致密性增加;镀铝CoCrAlY涂层经LP处理后,表面Al含量明显增加,β-CoAl相含量提高,且涂层表面晶粒得到细化。1050℃抗高温氧化实验结果表明,LP处理涂层表面形成的氧化膜较原始涂层更加平整、致密,且氧化膜厚度明显变薄;此外,镀铝CoCrAlY涂层经LP处理后的抗高温氧化性能最优。