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电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析
1
作者
卢文娟
张玉林
孔祥东
《微细加工技术》
2007年第5期1-4,30,共5页
从高分子辐射化学的角度对电子束环氧基负胶曝光的实际反应机理进行了深入的分析研究,通过Charlesby-Pinner关系式推导得出辐射交联反应中一些表征量(溶胶分数等)与辐射剂量的定量关系。通过SDS-Ⅱ型曝光机对环氧Epoxy618进行曝光实验,...
从高分子辐射化学的角度对电子束环氧基负胶曝光的实际反应机理进行了深入的分析研究,通过Charlesby-Pinner关系式推导得出辐射交联反应中一些表征量(溶胶分数等)与辐射剂量的定量关系。通过SDS-Ⅱ型曝光机对环氧Epoxy618进行曝光实验,验证了上述结论的准确性,该论证结果用于指导电子束曝光参数的选取。
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关键词
电子束负胶
环氧基团
辐射交联
溶
胶
分数
charlesby-Pinner关系式
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职称材料
题名
电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析
1
作者
卢文娟
张玉林
孔祥东
机构
山东大学控制学院电子束研究所
东营职业学院
出处
《微细加工技术》
2007年第5期1-4,30,共5页
基金
山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03)
文摘
从高分子辐射化学的角度对电子束环氧基负胶曝光的实际反应机理进行了深入的分析研究,通过Charlesby-Pinner关系式推导得出辐射交联反应中一些表征量(溶胶分数等)与辐射剂量的定量关系。通过SDS-Ⅱ型曝光机对环氧Epoxy618进行曝光实验,验证了上述结论的准确性,该论证结果用于指导电子束曝光参数的选取。
关键词
电子束负胶
环氧基团
辐射交联
溶
胶
分数
charlesby-Pinner关系式
Keywords
e-beam negative resist
epoxy group
radiation crosslinking
sol fraction
Charlesby-Pinner equation
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析
卢文娟
张玉林
孔祥东
《微细加工技术》
2007
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