期刊文献+
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
聚焦离子束制样条件对TEM样品形貌的影响 被引量:2
1
作者 孙紫涵 李明 +1 位作者 高金德 吴涛 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第1期25-30,共6页
聚焦离子束(FIB)因其制样成功率和效率高,可定点精确制样等特点已经成为半导体失效分析领域重要的透射电子显微镜(TEM)制样方法。利用双束FIB系统针对TEM样品制备条件对样品形貌的影响进行了分析和研究。通过控制变量法等方法分析了FIB... 聚焦离子束(FIB)因其制样成功率和效率高,可定点精确制样等特点已经成为半导体失效分析领域重要的透射电子显微镜(TEM)制样方法。利用双束FIB系统针对TEM样品制备条件对样品形貌的影响进行了分析和研究。通过控制变量法等方法分析了FIB的电子束或离子束等制样条件可能对样品带来的损伤。通过实验发现,FIB的离子束能量对TEM样品热损伤影响较小,电子束的电压和电流是引起样品损伤的主要因素。实验证明,在电子束辅助沉积保护层时适当降低电子束的电压和电流,可有效改善样品的微观形貌。 展开更多
关键词 透射电子显微镜(TEM) 制样 失效分析 聚焦离子束(FIB) 热损伤 电子束辅助沉积 保护层
下载PDF
用纳米碳制备光子晶体 被引量:1
2
作者 栾 峰 章 蓓 +1 位作者 徐 军 张会珍 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z1期53-56,共4页
利用电子束诱导沉积纳米碳柱方法,在一台由KYKY1010B型扫描电子显微镜(SEM)改装的电子束曝光系统中发展了一种无需光刻胶的亚微米图形化技术,微型碳柱的高度和直径可通过改变聚焦电子束参数加以控制.通过控制电子束辐照位... 利用电子束诱导沉积纳米碳柱方法,在一台由KYKY1010B型扫描电子显微镜(SEM)改装的电子束曝光系统中发展了一种无需光刻胶的亚微米图形化技术,微型碳柱的高度和直径可通过改变聚焦电子束参数加以控制.通过控制电子束辐照位置和对样品台相对漂移的修正,在镀金的半导体表面8μm×8μm范围内分别得到由纳米碳柱形成的光子晶体点阵,包括正方、六方对称和八重准对称等点阵结构,为进一步开展半导体光子晶体的实验研究打下了良好的基础. 展开更多
关键词 电子束辅助沉积 微结构 二维光子晶体 纳米碳.
下载PDF
Hydrogen ion beam assisted preparation of metal halide electrodes for batteries
3
作者 Shehdeh Jodeh 《Journal of Chemistry and Chemical Engineering》 2009年第8期19-24,共6页
A new method of preparing thin film metal-hydride electrodes for metal-hydride batteries is described. The method consists of simultaneous deposition of multi-component metallic species onto a substrate while bombardi... A new method of preparing thin film metal-hydride electrodes for metal-hydride batteries is described. The method consists of simultaneous deposition of multi-component metallic species onto a substrate while bombarding the growing, deposited thin film electrode with a low energy hydrogen ion beam An amorphous LaNi4 hydride thin film electrode has been prepared by this Hydrogen Ion Beam Assisted Deposition (HIBAD) technique. The electrochemical discharge capacity and cycle life of this electrode in a 6 M KOH solution surpass previously reported values for La-Ni thin film electrodes prepared by other deposition methods. 展开更多
关键词 hydrides EVAPORATION FILM BATTERIES BEAM
下载PDF
热障涂层的CMAS腐蚀失效及对策研究 被引量:12
4
作者 亢永霞 白宇 +3 位作者 刘琨 王玉 唐健江 韩志海 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期282-288,共7页
研制具有长寿命、高性能的热障涂层(TBCs)是制造大功率航空发动机、发展新一代超音速战机的一项十分紧迫的任务。由于外来沉积物CaO-Mg O-Al_2O_3-Si O_2(CMAS)渗入涂层而导致TBCs失效的现象越来越受到人们的重视,很多学者对CMAS渗入后... 研制具有长寿命、高性能的热障涂层(TBCs)是制造大功率航空发动机、发展新一代超音速战机的一项十分紧迫的任务。由于外来沉积物CaO-Mg O-Al_2O_3-Si O_2(CMAS)渗入涂层而导致TBCs失效的现象越来越受到人们的重视,很多学者对CMAS渗入后涂层的失效机理进行了大量的研究并尝试了一些缓解CMAS渗入涂层的方法。本文针对当前应用最为广泛的"层状多孔结构"的等离子喷涂涂层及"细长柱晶结构"的电子束辅助物理气相沉积涂层,系统地梳理了近年来国内外学者对TBCs在CMAS渗入条件下的涂层失效机制及缓解CMAS渗入的最新研究成果,为制备高性能的TBCs提供帮助。 展开更多
关键词 热障涂层 CMAS 腐蚀 等离子喷涂 电子束辅助物理气相沉积
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部