芯片制造用含氟电子特气的研究进展

含氟电子特气主要用于芯片制造过程中的刻蚀和清洁工段,是不可或缺的关键性化工材料。该文比较了传统含氟电子特气和新型含氟电子特气,重点总结了新型含氟电子特气的主要合成路线,并指出最佳的产业化路线;介绍了芯片制造用含氟电子特气的发展现状;最后,针对当前含氟电子特气的主要知识产权被国外发达国家所垄断,且刻蚀和清洁工序的分步操作导致工序繁复且效率低下,难以满足高端芯片集成度和良品率等更高的精度需求问题,提出今后研究应开发满足国家重大战略需求的新一代含氟电子特气,具备刻蚀/清洁协同双功能,具有简化工序、提高效率、提升芯片制造良品率的优点,实现对当前刻蚀和清洁仅能分步操作的含氟电子特气的理想替代。

电子特气中痕量水溶性杂质的捕集方法研究

配制系列离子浓度标准溶液,使用离子色谱绘制了液相NH+4的校准曲线,作为气体吸收实验的定量依据。使用自制气体吸收装置和标准气体进行气体吸收实验,确定了吸收液种类、吸收瓶材质。通过正交实验考察了吸收速率、吸收时间、吸收液体积和吸收瓶规格4个参数对捕集效率的影响,选出最优参数。通过气体稀释仪,绘制了不同浓度下氢中NH+4的气体响应校准曲线,线性良好。确定了气体吸收的检出限,远高于市场检测需求。所进行的吸收参数等的考察为我国集成电路基础材料检测的发展提供了有利的技术支撑。

电子特气的合成与纯化技术研究进展

电子特气是电子工业中不可或缺的基础性支撑材料,被誉为电子行业的“血液”和“粮食”,电子特气通常对纯度要求高,一般在5N级,部分品种的纯度要求6N级甚至更高。因此,电子特气的关键制备技术不仅仅是合成技术,还包括纯化技术。对电子特气的合成与纯化技术进行了归类总结,合成技术包括电解法、化学法和电解-化学法,纯化技术包括吸附法、精馏法、吸收法、膜分离法等,具有一定的参考价值和指导意义。

电子特气用包装容器制造工艺介绍

随着对电子特气需求逐年增大,电子特气用包装容器也越来越受人们重视,但是目前电子特气用包装容器还是以进口为主,且行业内还未出台专门针对电子特气用包装容器的相关法规标准。从制造标准、材料、焊接、容器内部处理、产品检验、产品验证6个方面介绍了电子特气用包装容器较常规气瓶的特殊点,为同行业提供参考。

电子特气在低温干法刻蚀中的应用与发展

介绍了低温干法刻蚀技术的技术原理、应用和进展,探讨了不同刻蚀气体和工艺参数对低温干法刻蚀工艺的影响。

浅谈电子特气甲硅烷的国产化与行业展望

电子特气甲硅烷是一种重要的电子级有机硅材料,具有优异的绝缘、抗氧化、耐热、耐辐射等特性,受到了电子工业的广泛青睐.然而,目前国内电子特气甲硅烷的生产主要依赖于进口,国产化进程相对滞后.因此,主要探讨了电子特气甲硅烷的生产现状、进展和面临的挑战,并分析电子特气甲硅烷在未来的应用和发展趋势,旨在推动我国电子特气甲硅烷行业发展新进程.

电子特气甲硅烷的国产化实践及行业展望

高纯甲硅烷是半导体工业中最重要“源”性气体,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、显示面板及车用动力电池等领域,曾被美、日、韩等国垄断。本文回顾了甲硅烷技术的国产化之路,指出氯硅法路线和反应精馏技术,创新高纯甲硅烷大规模生产新工艺,产品打破国外技术垄断并先后导入光伏、显示面板、集成电路等领域。本文还对甲硅烷电子特气行业进行展望,指出本文作者课题组为代表开发的氯硅法路线是未来的主流工艺,而镁硅法联产甲硅烷和乙硅烷也可能是一条较好路线,并认为通过技术整合和工艺创新开发多产品和多联产产品,发展平台型企业,是未来行业发展的方向。

日本电子特气业的技术与市场新观察

综述了在2013年至2014年上半年间日本半导体用电子特气方面的市场变化及技术开发新进展。

电子特气中痕量水分测量方法

针对电子特气中痕量水分的测量,设计了一套稳定可靠的气体取样系统。并对两种新的电子特气水分测量方法(石英振荡法和光腔衰荡法)及其代表性仪器进行研讨。两种分析方法及取样系统均适用于大多数电子特气,有效地保证了水分测量结果的准确可靠。

吸气剂对电子特气氢、氩中杂质脱除机理及应用

研究了吸气剂对电子特气氢、氩气纯化的基本原理,着重叙述了吸气剂的机理及采用吸气剂纯化器大幅度提高气体指标、保障产气纯度的效果。

电子特气充装管理与应急处置

电子特气具有高压、腐蚀性、毒性、易燃易爆、使人窒息等危险特性,充装过程中的安全事故屡见不鲜,危及人员安全。本文简要介绍特气充装的一般流程,分析充装前检查、充装过程和充装后气瓶管理的注意事项以及充装过程的应急措施,旨在提高特气生产企业充装能力和安全管理水平。

凯美特气:电子特气发展强劲 进入新一轮成长期

市场近期仍以3000点为轴心进行反复震荡修复,由于目前影响市场的诸多因素皆不甚明朗,预计市场需要用时间换空间,以较长时间的盘整来消化和吸收各方面的信息。在这样的市况下,抓住公司个股的业绩确定性尤为重要。凯美特气(002549)处于工业气体产业链中游制取环节,作为二氧化碳龙头,公司发力特气品类不断拓张,多重保障将驱动公司完成新一轮成长期。二级市场上,凯美特气仍处于大的上升通道,可积极关注。

电子特气:半导体产业的血液

电子气体广泛应用于半导体制造的各个工艺流程,常用于化学气相沉积、离子注入、光刻胶印刷、扩散、刻蚀及参杂等。电子气体的提纯、储运及纯度检测是高质量产品的核心技术。从全球角度来看,国际前五大气体龙头依旧以工业气体为主要营收业务(营收占比超过80%),国内的情况略有差异,工业气体行业由于进入门槛不高,资本投入较低,并未完成行业内的整合,而电子特气由于纯度要求和下游客户认证周期,门槛较高,电子特气业务占比和下游客户结构成为衡量龙头企业的核心标准。

发展中的中国特种气体

介绍了2018年中国特气的发展,展望了中国特种气体的未来发展,强调我国特种气体走自主发展、正规化、规模化、国际化的重要性。

高纯电子级溴化氢合成研究之一——反应动力学特性及其机理

为解决高纯电子级溴化氢源头制备的工程技术难点,对溴化氢合成过程的各基元反应进行了深度剖析,采用随机算法进行了动力学模型构建与模拟。通过公式推导,并结合实验结果,得到了宏观总动力学方程。根据溴化氢合成动力学特性,总结了溴化氢燃烧链式反应的机理。同时,考察了不同温度、投料比对溴化氢合成的影响。得到的一系列结论可以为干法无硫溴化氢原料合成的产业化提供科学支撑。

上海化工区与至纯科技签署投资意向协议 电子化学品专区再添硬核科技企业

5月16日,上海化工区与上海至纯洁净系统科技股份有限公司(简称“至纯科技”)签署投资意向协议。至纯科技拟在上海电子化学品专区投资建设半导体电子化学品、电子特气研发及产业化项目,助力提升我国集成电路关键材料的本土生产能力。至纯科技成立于2000年,是一家在上交所上市的高新技术企业。

项目纵览

山东易信实现我国新材料领域又一重大突破1月16日,“高丰度核级1°B酸、高丰度高纯"BF3电子特气新材料发布会”在京举行。山东成武易信环保科技有限公司(以下简称“山东易信”)发布了高丰度核级1°B酸、高丰度高纯"BFs电子特气新材料项目的最新进展。2023年6月该项目一期成功实现量产,2024年公司拟进一步加大投入扩大产能,实现硼同位素分离百吨级产能。该项目实现了打破国外对我国关键产业链的垄断,维护了我国民族工业产业链的稳定。

浙大衢州“两院”发布乙炔制备新方法

2024年4月26日,创新驱动、引领未来—浙大衢州“两院”(浙江大学工程师学院衢州分院、浙江大学衢州研究院)系列技术成果发布会之等离子体再造绿色乙炔产业链在衢启幕。新技术经济效益、绿色效益兼具,已在电子特气等领域迎来推广应用机会。

高纯电子级溴化氢合成研究之二——反应火焰形态及其稳定性控制

为解决高纯电子级溴化氢源头制备的工程技术难点,延续先前溴化氢合成反应的本征动力学研究,作者将研究视角从微观动力学理论转向宏观火焰学研究。重点对溴化氢合成火焰形态、操作对火焰形态的影响规律、火焰传播速度、火焰稳定性控制及其发光放热机理进行研究。所得到的一系列结论可以为干法无硫溴化氢原料合成的产业化提供重要的借鉴作用。

精馏技术在电子化学品制备中的应用进展

综述了连续精馏、间歇精馏、亚沸精馏、加减压精馏、共沸精馏、萃取精馏、反应精馏、低温精馏等多种精馏技术在电子化学品制备中的应用现状,并对精馏技术在电子化学品制备过程的应用前景做出了展望。