化学气相沉积法制备高纯钛工艺研究

介绍了卤化物热裂解法制备电子级高纯钛的工艺过程。采用单因素实验，研究了反应过程中反应时间、TiI2蒸汽压、卤化区温度以及裂解区温度的影响。同时，结合热力学及动力学分析得到适宜的工艺条件为：反应时间25小时；TiI2蒸汽压3～3．5kPa；卤化区温度550—800℃；沉积区温度为1100—1200℃。在此条件下进行检验性实验，单次高纯钛产量超过3kg。产品经电镜扫描（SEM）观察，晶体横截面断口形貌整齐、规整，结晶情况良好。经电子束炉熔炼后的产品经辉光质谱（GDMS）检测，高纯钛中28种杂质元素总和小于2×10^-3％。

熔盐电解法制取高纯钛的技术及产业化研究

简述了电子级高纯钛产品的应用领域及以海绵钛为原料制取电子级高纯钛的工艺路线,总结了从实验室试验、小型工业试验到工业生产的实践经验,通过电解槽设计及槽电压实验研究,获得了复合材料熔盐电解设备、电解槽电压控制,电子级高纯钛的关键技术;基于以上技术,采用熔盐电解精炼制备出了4N5高纯钛,有效去除了Fe、Ni、Cu、Mo等金属元素及C、O、N等非金属杂质,部分去除了Cr、Al、V等元素;同时开展了放大实验研究,实现了电子级高纯钛高产量及连续化生产。