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硅纳米线纳米电子器件及其制备技术 被引量:5
1
作者 裴立宅 唐元洪 +2 位作者 陈扬文 张勇 郭池 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第10期44-47,共4页
硅纳米线由于特殊的光学及电学性能如量子限制效应及库仑阻塞效应等,在纳米电子器件的应用方面具有潜在的发展前景。介绍了采用电子束蚀刻技术(EB)、反应性离子蚀刻技术(RIE)、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)等制备技术及场效应晶体管... 硅纳米线由于特殊的光学及电学性能如量子限制效应及库仑阻塞效应等,在纳米电子器件的应用方面具有潜在的发展前景。介绍了采用电子束蚀刻技术(EB)、反应性离子蚀刻技术(RIE)、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)等制备技术及场效应晶体管、单电子探测器及存储器、双方向电子泵及双重门电路等硅纳米线纳米电子器件的最新进展情况,并对其发展前景作了展望。 展开更多
关键词 电子技术 纳米线 综述 纳米电子器件 制备 性能
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纳米电子器件与纳米电子技术 被引量:8
2
作者 沈海军 史友进 《微纳电子技术》 CAS 2004年第6期14-19,共6页
介绍了纳米电子器件与纳米电子技术的概念以及纳米电子器件的分类;综述了现有的光刻、外延、SPM、特种精细加工等相关的纳米电子器件制备与加工技术;阐述了纳米电子技术中急需解决的若干关键问题。
关键词 纳米电子器件 纳米电子技术 光刻 外延 SPM
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纳米电子器件的研究进展与军事应用前景 被引量:5
3
作者 杜晋军 李俊 +1 位作者 洪海丽 刘振起 《装备指挥技术学院学报》 2004年第4期86-89,共4页
首先,分析了纳米电子器件碳纳米管、单电子晶体管的结构特点及其应用;然后,指出了碳纳米管、单电子晶体管应用中有待解决的问题;最后,综合阐述了纳米电子学的纳米技术在军事及航天领域中的应用前景.
关键词 电子晶体管 纳米电子器件 军事应用 纳米电子 纳米 综合 纳米技术 航天领域 应用前景
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固体纳米电子器件和分子器件 被引量:10
4
作者 郭维廉 《微纳电子技术》 CAS 2002年第4期1-7,共7页
综述了两类纳米电子器件———固体纳米电子器件和分子电子器件的定义、分类方法及特点,并提出发展纳米电子器件的几点建议。
关键词 固体纳米电子器件 分子电子器件 电子器件 共振隧穿器件
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纳米电子器件中的噪声及其应用研究 被引量:2
5
作者 张志勇 王太宏 《微纳电子技术》 CAS 2003年第6期6-15,共10页
对多种纳米材料和纳米器件的噪声进行了比较详细的研究,对纳米器件中几种常用的噪声测量方法进行了探讨。讨论了利用噪声(主要是散粒噪声)进行介观电学机制探测的方法,并提出了用于解决单电子晶体管中背景电荷噪声的有效方法,揭示了双... 对多种纳米材料和纳米器件的噪声进行了比较详细的研究,对纳米器件中几种常用的噪声测量方法进行了探讨。讨论了利用噪声(主要是散粒噪声)进行介观电学机制探测的方法,并提出了用于解决单电子晶体管中背景电荷噪声的有效方法,揭示了双势垒共振隧穿二极管在负微分电阻区的散粒噪声大于Poisson值的本质。 展开更多
关键词 纳米电子器件 散粒噪声 电子晶体管 电荷噪声 双势垒共振隧穿二极管 纳米 量子点器件 热噪声
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自组装半导体量子点在纳米电子器件中的应用 被引量:2
6
作者 孙捷 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期61-65,共5页
随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程。自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中。本文按纵向输运器件、横向输运器件... 随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程。自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中。本文按纵向输运器件、横向输运器件的分类扼要评述了该领域的最新进展,并对待解决的问题和发展前景作了分析。 展开更多
关键词 电子工艺 量子特性 自组装半导体量子点 纳米电子器件
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纳米电子器件 被引量:5
7
作者 李和委 张汉三 《半导体情报》 1999年第5期1-15,共15页
概述了用于超高密度集成电子计算机的纳米尺寸电子开关器件的研究进展。讨论了场效应晶体管的两类替代物: (1) 量子效应和单电子固态器件, (2) 分子电子器件。提出了每一类器件的分类方法,
关键词 纳米电子器件 量子效应 电子 电子器件
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纳米电子/光电子器件概述 被引量:8
8
作者 程开富 《电子与封装》 2003年第1期18-21,13,共5页
本文主要概述了纳米电子/光电子器件的分类,并提出发展纳米电子/光电子器件的几点建议。
关键词 纳米电子 纳米电子器件 纳米电子器件
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金属颗粒调制的复合碳纳米管电子器件的构建和特性测量
9
作者 彭练矛 陈清 +4 位作者 梁学磊 车仁超 夏洋 薛增泉 吴全德 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第B05期170-174,共5页
利用传统微电子加工与纳米组装技术构建出了金属颗粒调制的复合碳纳米管场效应及单电子器件。电子输运性能测量结果表明这类复合碳纳米管电子器件具有一些不同于一般碳纳米管电子器件的独特性能。
关键词 纳米电子 纳米电子器件 电子器件 纳米科技
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纳米光电子器件初露端倪 被引量:4
10
作者 程开富 《世界产品与技术》 2003年第6期29-32,共4页
主要概述纳米电子/光电子器件的分类,并提出发展纳米电子/光电子 器件的几点建议.
关键词 纳米技术 纳米电子 纳米电子器件 纳米电子器件
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纳米光通信技术的核心——纳米光电子器件 被引量:3
11
作者 程开富 《电子科学技术评论》 2004年第4期47-54,共8页
本文概述了纳米技术在光电领域的应用,并着重介绍国内外纳米光通信用纳米光电子器件的发展现状。
关键词 纳米电子器件 光通信技术 领域
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纳米光电子器件的最新进展及发展趋势 被引量:1
12
作者 程开富 《电子元器件应用》 2004年第4期1-5,8,共6页
纳米技术和光电子技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到世界各国的重视。主要介绍纳米光电子学的基本概念,发展模式,纳米光电子器件的最新进展和发展趋势。
关键词 纳米电子技术 纳米电子技术 纳米电子器件 纳米激光器 综述
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纳米光电子器件的最新进展及发展趋势 被引量:3
13
作者 程开富 《光子技术》 2003年第1X期4-10,共7页
纳米技术和光电子技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到世界各国的重视.本文主要介绍纳米光电子学的基本概念,发展模式,纳米光电子器件的最新进展和发展趋势.
关键词 纳米技术 纳米电子器件 发展趋势 纳米激光器 共振隧穿器件 量子点
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纳米电子器件
14
作者 薛增泉 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第6期395-404,共10页
评述了纳米电子器件的理论及应用意义、研究领域和最新进展。
关键词 纳米电子器件 量子线 量子点 电子晶体管
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纳米管、纳米线电子器件的研制
15
作者 罗旺 韩淑文 刘立伟 《齐齐哈尔大学学报(自然科学版)》 2009年第4期51-53,共3页
介绍了利用微加工方法制做单根纳米管和纳米线电子器件的过程,实现了几百纳米电极间距的器件制做,为进行单根纳米线电子器件的电子输运测量提供了可能。
关键词 纳米 纳米线 纳米电子器件
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纳米光电子器件的最新进展及发展趋势 被引量:1
16
作者 程开富 《电子与封装》 2005年第9期1-3,9,共4页
纳米技术和光电子技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到世界各国的重视。本文主要介绍纳米光电子学的基本概念、发展模式以及纳米光电子器件的最新进展和发展趋势。
关键词 纳米技术 纳米电子技术 纳米电子技术 纳米电子器件 纳米激光器
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纳米光电子器件的最新进展及发展趋势
17
作者 程开富 《微纳电子技术》 CAS 2004年第8期14-20,共7页
主要介绍了纳米光电子学的基本概念、发展模式以及纳米光电子器件的最新进展和发展趋势。
关键词 纳米技术 纳米电子技术 纳米电子技术 纳米电子器件 纳米激光器
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二维半导体材料纳米电子器件和光电器件 被引量:28
18
作者 王根旺 侯超剑 +2 位作者 龙昊天 杨立军 王扬 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1319-1340,共22页
近年来,随着各领域对微电子器件集成度及性能要求的不断提高,发展基于二维半导体材料的新型高性能功能性器件成为了突破当前技术瓶颈的重要环节和关键方向。目前,作为新型二维半导体材料的代表,二维过渡金属二硫化物、二维黑磷以及范德... 近年来,随着各领域对微电子器件集成度及性能要求的不断提高,发展基于二维半导体材料的新型高性能功能性器件成为了突破当前技术瓶颈的重要环节和关键方向。目前,作为新型二维半导体材料的代表,二维过渡金属二硫化物、二维黑磷以及范德瓦尔斯异质结凭借其在电学、热学、机械、光学等方面的优异性能已经成为了发展高性能纳米电子器件和光电器件的最具潜力的材料之一。在本综述中,首先概述了几种用于纳米器件的常见二维材料,分析了材料的结构、性能及其在纳米器件中的应用,其次重点对基于过渡金属二硫化物、黑磷以及由其衍生的范德瓦尔斯异质结的纳米电子器件和光电器件的最新研究进展进行讨论,最后对目前二维半导体纳米器件所面临的挑战以及未来的发展方向进行总结及分析,从而为未来发展高性能功能性纳米器件提供支持。 展开更多
关键词 二维半导体纳米材料 过渡金属二硫化物 黑磷 范德瓦尔斯异质结 纳米电子器件 纳米光电器件
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纳米电子/光电子器件概述
19
作者 程开富 《四川真空》 2003年第1期38-44,共7页
主要概述纳米电子/光电子器件的分类,并提出发展纳米电子/光电子器件的几点建议。
关键词 纳米电子/光电子器件 纳米技术 特性 电子 原子 分子 电路 半导体
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纳米光电子器件在照明、显示技术中的发展和应用 被引量:4
20
作者 李琳 于凤梅 《广东技术师范学院学报》 2007年第10期94-98,共5页
纳米光电子器件及其技术的新兴,受到各界的关注。本文概述了纳米光电子器件的发展现状和发展趋势,重点介绍纳米发光材料和碳纳米管场致发射显示器在照明、显示领域中的发展及应用。
关键词 纳米电子器件 发光材料 纳米管场致发射显示器
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