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表面离化函数Φ(0)的研究
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作者 郭延风 徐乐英 《电子显微学报》 CAS CSCD 1994年第4期287-290,共4页
用试验方法测定了不同衬底材料上各种薄膜的表面离化函数Φ(0),并与Φ(0)的计算值加以比较。在计算中引入了一个有效的电子背散射系数,代表了衬底,薄膜原子序数不同时对Φ(0)的综合效应。在此基础上,详细讨论了Φ(0)值... 用试验方法测定了不同衬底材料上各种薄膜的表面离化函数Φ(0),并与Φ(0)的计算值加以比较。在计算中引入了一个有效的电子背散射系数,代表了衬底,薄膜原子序数不同时对Φ(0)的综合效应。在此基础上,详细讨论了Φ(0)值与衬底、薄膜二者的电子背散射系数,以及薄膜质量厚度的关系。 展开更多
关键词 表面离化函数 电子背散射系数 薄膜
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