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六氟丁二烯的合成工艺分析 被引量:2
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作者 曹伟 《有机氟工业》 CAS 2018年第4期33-36,共4页
六氟丁二烯是一种温室效应低、蚀刻性能好的新型电子气体,应用前景较好。它的合成工艺多而繁杂,对此进行了梳理,从合成关键中间体的角度进行了归纳,提出了进一步研究的方向。
关键词 六氟丁二烯 电子蚀刻气体 合成 三氟氯乙烯
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