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六氟丁二烯的合成工艺分析
被引量:
2
1
作者
曹伟
《有机氟工业》
CAS
2018年第4期33-36,共4页
六氟丁二烯是一种温室效应低、蚀刻性能好的新型电子气体,应用前景较好。它的合成工艺多而繁杂,对此进行了梳理,从合成关键中间体的角度进行了归纳,提出了进一步研究的方向。
关键词
六氟丁二烯
电子蚀刻气体
合成
三氟氯乙烯
下载PDF
职称材料
题名
六氟丁二烯的合成工艺分析
被引量:
2
1
作者
曹伟
机构
三明市海斯福化工有限责任公司
出处
《有机氟工业》
CAS
2018年第4期33-36,共4页
文摘
六氟丁二烯是一种温室效应低、蚀刻性能好的新型电子气体,应用前景较好。它的合成工艺多而繁杂,对此进行了梳理,从合成关键中间体的角度进行了归纳,提出了进一步研究的方向。
关键词
六氟丁二烯
电子蚀刻气体
合成
三氟氯乙烯
Keywords
hexafluorobutadiene
electronic etching gas
synthesis
chlorotrifluoroethylene
分类号
TQ222.432 [化学工程—有机化工]
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作者
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1
六氟丁二烯的合成工艺分析
曹伟
《有机氟工业》
CAS
2018
2
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