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高分辨紫外电子轰击互补金属氧化物半导体器件的实验研究
被引量:
10
1
作者
刘虎林
王兴
+10 位作者
田进寿
赛小锋
韦永林
温文龙
王俊锋
徐向晏
王超
卢裕
何凯
陈萍
辛丽伟
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第1期152-157,共6页
基于真空紫外光电阴极和背照式互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器研制了紫外光响应的电子轰击CMOS(EBCMOS)器件,实现了EBCMOS器件在40 mlx光照度环境下的高分辨探测,电子图像灰度随电子能量的变化呈现出极好的线性关系.对器件成像...
基于真空紫外光电阴极和背照式互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器研制了紫外光响应的电子轰击CMOS(EBCMOS)器件,实现了EBCMOS器件在40 mlx光照度环境下的高分辨探测,电子图像灰度随电子能量的变化呈现出极好的线性关系.对器件成像分辨率测试的结果表明,在电场强度为5000 V/mm时,器件的空间分辨率可以达到25 lp/mm,与国际相关报道水平相当.研制的EBCMOS器件可直接在紫外弱光探测领域应用,如天文观察、高能物理、遥感测绘等,同时也可为下一步研制可见光和近红外敏感的EBCMOS器件提供参考.
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关键词
互补金属氧化物半导体
电子轰击增益
微光成像
紫外探测
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职称材料
EBCMOS混合型光电探测器研究
被引量:
8
2
作者
徐鹏霄
唐光华
+4 位作者
唐家业
杨杰
陈鑫龙
钟伟俊
赵文锦
《光电子技术》
CAS
2016年第4期232-236,252,共6页
介绍了EBCMOS探测器的工作原理、器件结构与发展历史。详细阐述了EBS增益机理,实现了600倍的EBS增益,并将EBCMOS与几种常见探测器特性进行了深入的对比研究。EBCMOS探测器将真空器件与半导体器件有机结合,融合了真空光电探测器增益高、...
介绍了EBCMOS探测器的工作原理、器件结构与发展历史。详细阐述了EBS增益机理,实现了600倍的EBS增益,并将EBCMOS与几种常见探测器特性进行了深入的对比研究。EBCMOS探测器将真空器件与半导体器件有机结合,融合了真空光电探测器增益高、响应速度快、光谱灵活和半导体器件空间分辨率高、数字化输出、功耗低和成本低等优点。目前已在生物检测、微光夜视、激光雷达等诸多领域取得了广泛的应用。
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关键词
电子
轰击
互补金属氧化物
混合型光电探测器
光电阴极
电子
轰击
半导体(EBS)
增益
激光雷达
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职称材料
题名
高分辨紫外电子轰击互补金属氧化物半导体器件的实验研究
被引量:
10
1
作者
刘虎林
王兴
田进寿
赛小锋
韦永林
温文龙
王俊锋
徐向晏
王超
卢裕
何凯
陈萍
辛丽伟
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第1期152-157,共6页
基金
国家自然科学基金(批准号:11304374)
中国科学院创新基金(批准号:CXJJ-16S015)资助的课题
文摘
基于真空紫外光电阴极和背照式互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器研制了紫外光响应的电子轰击CMOS(EBCMOS)器件,实现了EBCMOS器件在40 mlx光照度环境下的高分辨探测,电子图像灰度随电子能量的变化呈现出极好的线性关系.对器件成像分辨率测试的结果表明,在电场强度为5000 V/mm时,器件的空间分辨率可以达到25 lp/mm,与国际相关报道水平相当.研制的EBCMOS器件可直接在紫外弱光探测领域应用,如天文观察、高能物理、遥感测绘等,同时也可为下一步研制可见光和近红外敏感的EBCMOS器件提供参考.
关键词
互补金属氧化物半导体
电子轰击增益
微光成像
紫外探测
Keywords
complementary metal oxide semiconductor, electron bombareded gain, low light leve limaging, UV detection
分类号
TN386.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
EBCMOS混合型光电探测器研究
被引量:
8
2
作者
徐鹏霄
唐光华
唐家业
杨杰
陈鑫龙
钟伟俊
赵文锦
机构
中国电子科技集团公司第五十五研究所
出处
《光电子技术》
CAS
2016年第4期232-236,252,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(61605180)
文摘
介绍了EBCMOS探测器的工作原理、器件结构与发展历史。详细阐述了EBS增益机理,实现了600倍的EBS增益,并将EBCMOS与几种常见探测器特性进行了深入的对比研究。EBCMOS探测器将真空器件与半导体器件有机结合,融合了真空光电探测器增益高、响应速度快、光谱灵活和半导体器件空间分辨率高、数字化输出、功耗低和成本低等优点。目前已在生物检测、微光夜视、激光雷达等诸多领域取得了广泛的应用。
关键词
电子
轰击
互补金属氧化物
混合型光电探测器
光电阴极
电子
轰击
半导体(EBS)
增益
激光雷达
Keywords
EBCMOS
hybrid photodetector
photocathode
electron bombarded semiconductor(EBS)gain
lidar
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高分辨紫外电子轰击互补金属氧化物半导体器件的实验研究
刘虎林
王兴
田进寿
赛小锋
韦永林
温文龙
王俊锋
徐向晏
王超
卢裕
何凯
陈萍
辛丽伟
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
10
下载PDF
职称材料
2
EBCMOS混合型光电探测器研究
徐鹏霄
唐光华
唐家业
杨杰
陈鑫龙
钟伟俊
赵文锦
《光电子技术》
CAS
2016
8
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职称材料
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