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热丝CVD法制备金刚石膜
被引量:
4
1
作者
梁继然
常明
潘鹏
《天津理工大学学报》
2005年第1期41-42,57,共3页
采用热灯丝CVD、分次连续沉积的办法在硅衬底上制备金刚石膜.用RAMAN光谱、X ray衍射、扫描电子显微镜(SEM)等多种技术对金刚石膜的形貌、成份、晶态等特性进行了分析,证实所获膜质量较好.
关键词
金刚石膜
热
丝
化学
气
相
沉积
法
热
灯丝
CVD
扫描
电子
显微镜
RAMAN光谱
下载PDF
职称材料
氢气流量对金刚石膜生长的影响研究
2
作者
杨广亮
王立秋
+1 位作者
吕宪义
金曾孙
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第9期1735-1737,共3页
研究了电子辅助热灯丝法生长金刚石厚膜过程中氢气流量对沉积速度和膜品质的影响 .随氢气流量从 1 0 0增加到 75 0 cm3/min,金刚石膜的沉积速率单调上升 ,但金刚石膜品质不断下降 ,从 75 0到 1 0 0 0cm3/min,金刚石膜沉积速率下降 ,但...
研究了电子辅助热灯丝法生长金刚石厚膜过程中氢气流量对沉积速度和膜品质的影响 .随氢气流量从 1 0 0增加到 75 0 cm3/min,金刚石膜的沉积速率单调上升 ,但金刚石膜品质不断下降 ,从 75 0到 1 0 0 0cm3/min,金刚石膜沉积速率下降 ,但金刚石膜品质随氢气流量增加而提高 .拉曼光谱和电子顺磁共振谱研究发现 ,在所制备的金刚石膜中含有替代形式的氮 ,氮含量随氢气流量的增加而减小 ,1 0 0 0 cm3/min流量下沉积的金刚石膜的含氮量仅为 1 0 0 cm3/min流量下沉积的金刚石膜的 1 /4 0 .
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关键词
氢
气
流量
金刚石膜
顺磁氮
顺磁共振
薄膜生长
电子
辅助
热
灯丝
法
化学
气
相
沉积
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职称材料
CVD金刚石膜产业化制备技术研究
3
作者
王兵
梅军
+3 位作者
李力
季锡林
冉均国
苟立
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2003年第1期30-33,共4页
为了解决化学气相沉积金刚石膜产业化进程中存在的生长速率慢、沉积尺寸小的难题,自行研制了适宜于大尺寸金刚石膜高速生长的电子辅助热灯丝式化学气相沉积(EAHFCVD)装置,通过反应气体中加氧将碳源浓度提高到10%以上,并优化反应压力与...
为了解决化学气相沉积金刚石膜产业化进程中存在的生长速率慢、沉积尺寸小的难题,自行研制了适宜于大尺寸金刚石膜高速生长的电子辅助热灯丝式化学气相沉积(EAHFCVD)装置,通过反应气体中加氧将碳源浓度提高到10%以上,并优化反应压力与直流偏流密度二参数间的匹配,研究了该装置的生产特性,同时利用SEM、XRD和Raman光谱对沉积的金刚石膜进行了分析表征.研究结果表明,应用该装置高质量金刚石膜的沉积尺寸可达100mm以上,生长速率达到约10μm/h的水平,并制备出100mm×1 5mm的完整金刚石自支撑膜片,该技术可满足产业化生产的要求.
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关键词
CVD
金刚石膜
产业化制备技术
热
灯丝
电子辅助热灯丝化学气相沉积装置
化学
气
相
沉积
生长特性
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职称材料
题名
热丝CVD法制备金刚石膜
被引量:
4
1
作者
梁继然
常明
潘鹏
机构
天津理工大学光电信息与电子工程系
出处
《天津理工大学学报》
2005年第1期41-42,57,共3页
基金
天津市自然科学基金资助项目(023602511).
文摘
采用热灯丝CVD、分次连续沉积的办法在硅衬底上制备金刚石膜.用RAMAN光谱、X ray衍射、扫描电子显微镜(SEM)等多种技术对金刚石膜的形貌、成份、晶态等特性进行了分析,证实所获膜质量较好.
关键词
金刚石膜
热
丝
化学
气
相
沉积
法
热
灯丝
CVD
扫描
电子
显微镜
RAMAN光谱
Keywords
diamond film
HFCVD
X-ray diffraction
Scan electranic microscope
分类号
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
氢气流量对金刚石膜生长的影响研究
2
作者
杨广亮
王立秋
吕宪义
金曾孙
机构
吉林大学超硬材料国家重点实验室
吉林大学物理学院
出处
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第9期1735-1737,共3页
文摘
研究了电子辅助热灯丝法生长金刚石厚膜过程中氢气流量对沉积速度和膜品质的影响 .随氢气流量从 1 0 0增加到 75 0 cm3/min,金刚石膜的沉积速率单调上升 ,但金刚石膜品质不断下降 ,从 75 0到 1 0 0 0cm3/min,金刚石膜沉积速率下降 ,但金刚石膜品质随氢气流量增加而提高 .拉曼光谱和电子顺磁共振谱研究发现 ,在所制备的金刚石膜中含有替代形式的氮 ,氮含量随氢气流量的增加而减小 ,1 0 0 0 cm3/min流量下沉积的金刚石膜的含氮量仅为 1 0 0 cm3/min流量下沉积的金刚石膜的 1 /4 0 .
关键词
氢
气
流量
金刚石膜
顺磁氮
顺磁共振
薄膜生长
电子
辅助
热
灯丝
法
化学
气
相
沉积
Keywords
Diamond films
Paramagnetic nitrogen
Electron paramagnetic resonance
分类号
TB43 [一般工业技术]
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
CVD金刚石膜产业化制备技术研究
3
作者
王兵
梅军
李力
季锡林
冉均国
苟立
机构
四川大学无机材料系
西南结构力学研究所
出处
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2003年第1期30-33,共4页
基金
九五"国家重点科技资助项目(军转民)(J9503)
国家自然科学基金资助项目(10275046).
文摘
为了解决化学气相沉积金刚石膜产业化进程中存在的生长速率慢、沉积尺寸小的难题,自行研制了适宜于大尺寸金刚石膜高速生长的电子辅助热灯丝式化学气相沉积(EAHFCVD)装置,通过反应气体中加氧将碳源浓度提高到10%以上,并优化反应压力与直流偏流密度二参数间的匹配,研究了该装置的生产特性,同时利用SEM、XRD和Raman光谱对沉积的金刚石膜进行了分析表征.研究结果表明,应用该装置高质量金刚石膜的沉积尺寸可达100mm以上,生长速率达到约10μm/h的水平,并制备出100mm×1 5mm的完整金刚石自支撑膜片,该技术可满足产业化生产的要求.
关键词
CVD
金刚石膜
产业化制备技术
热
灯丝
电子辅助热灯丝化学气相沉积装置
化学
气
相
沉积
生长特性
Keywords
heat filament
CVD diamond
large size
high-speed growth
分类号
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
热丝CVD法制备金刚石膜
梁继然
常明
潘鹏
《天津理工大学学报》
2005
4
下载PDF
职称材料
2
氢气流量对金刚石膜生长的影响研究
杨广亮
王立秋
吕宪义
金曾孙
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
0
下载PDF
职称材料
3
CVD金刚石膜产业化制备技术研究
王兵
梅军
李力
季锡林
冉均国
苟立
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2003
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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