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砷化镓扩散长度的变加速电压束感生电流法测量
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作者 王万年 李成基 李韫言 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第4期328-331,共4页
计算了变加速电压的束感生电流法测定扩散长度理论公式 ,并用电子探针和扫描电镜测量了各种GaAs材料的扩散长度。
关键词 扩散长度 电压 电子速感生电流 砷化镓 测量
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