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铝/氮化铝电子陶瓷基板的制备及性能的研究
被引量:
6
1
作者
彭榕
周和平
+2 位作者
宁晓山
林渊博
徐伟
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期1203-1208,共6页
在675~750℃、氮气气氛下,使用石墨模具压铸的方法将金属纯Al敷接在AlN电子陶瓷基板上,随后利用力学拉伸试验机测试了Al和AlN的结合强度,其界面抗拉强度>15.94MPa,然后使用金相显微镜、SEM等微观分析仪器研究其界面的微观结构,发现...
在675~750℃、氮气气氛下,使用石墨模具压铸的方法将金属纯Al敷接在AlN电子陶瓷基板上,随后利用力学拉伸试验机测试了Al和AlN的结合强度,其界面抗拉强度>15.94MPa,然后使用金相显微镜、SEM等微观分析仪器研究其界面的微观结构,发现在Al/AlN界面没有任何新物质生成,金属铝晶粒直接在AlN陶瓷表面结晶长大.
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关键词
铝/氮化铝
电子陶瓷基板
制备
性能
敷接
结合强度
电子
元器件
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职称材料
电子陶瓷基板及薄片陶瓷器件的快速凝固流延成型方法
2
《佛山陶瓷》
2003年第5期45-45,共1页
关键词
电子陶瓷基板
薄片
陶瓷
器件
快速凝固流延成型方法
发明
预配液
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职称材料
电子陶瓷基板表面激光孔加工综述
被引量:
18
3
作者
梅雪松
杨子轩
赵万芹
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第5期178-193,共16页
毫秒和纳秒激光以其高可靠、高效率、低成本和可加工硬脆难加工材料的独特优势,成为加工氧化铝和氮化铝陶瓷的首选,在电子陶瓷基板表面孔的工业化加工中具有不可替代的作用。介绍了毫秒和纳秒激光加工作为电子基板的陶瓷材料的去除机理...
毫秒和纳秒激光以其高可靠、高效率、低成本和可加工硬脆难加工材料的独特优势,成为加工氧化铝和氮化铝陶瓷的首选,在电子陶瓷基板表面孔的工业化加工中具有不可替代的作用。介绍了毫秒和纳秒激光加工作为电子基板的陶瓷材料的去除机理,如材料烧蚀阈值、光热作用和光化学作用等,讨论了毫秒和纳秒激光加工参数、加工环境等因素对陶瓷材料表面孔加工尺寸(如直径、深度和锥度等)的影响规律,总结了目前陶瓷基板表面激光孔加工工业化应用面临的问题,并对其未来的发展方向进行了展望。
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关键词
激光技术
电子陶瓷基板
氧化铝
氮化铝
毫秒激光
纳秒激光
孔
原文传递
激光加工电子陶瓷基板孔的形貌特征及其工艺调控综述
被引量:
4
4
作者
赵万芹
梅雪松
杨子轩
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第10期29-57,共29页
电子器件的高质量和高密度互联对激光加工硬脆电子陶瓷基板表面孔的质量提出了更高的要求。综述了长脉冲毫秒激光、短脉冲纳秒激光和超快激光加工的电子陶瓷基板孔的形貌特征,主要包括孔的表面形貌特征(如孔口圆度、孔表面喷溅物、孔表...
电子器件的高质量和高密度互联对激光加工硬脆电子陶瓷基板表面孔的质量提出了更高的要求。综述了长脉冲毫秒激光、短脉冲纳秒激光和超快激光加工的电子陶瓷基板孔的形貌特征,主要包括孔的表面形貌特征(如孔口圆度、孔表面喷溅物、孔表面微裂纹和孔表面热影响区等)及孔的侧壁形貌特征(如孔的锥度、孔侧壁重铸层和孔侧壁表面微裂纹等)。
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关键词
激光技术
电子陶瓷基板
孔的形貌特征
毫秒激光
纳秒激光
超快激光
原文传递
Al/Al_2O_3陶瓷接合基板的制备及性能研究
被引量:
7
5
作者
彭榕
周和平
+2 位作者
宁晓山
徐伟
林渊博
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期731-736,共6页
在675~825℃、氮气气氛下,使用石墨模具压铸的方法制备出Al/A12O3电子陶瓷基板,利用力学拉伸试验机测试了Al和Al2O3的结合强度,界面抗拉强度>15.94MPa,使用金相显微镜、SEM等微观分析仪器研究了其界面的微观结构.
关键词
Al/Al2O3
电子陶瓷基板
制备
性能
敷接
剥离强度
氧化铝
铝
结构
下载PDF
职称材料
题名
铝/氮化铝电子陶瓷基板的制备及性能的研究
被引量:
6
1
作者
彭榕
周和平
宁晓山
林渊博
徐伟
机构
清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期1203-1208,共6页
文摘
在675~750℃、氮气气氛下,使用石墨模具压铸的方法将金属纯Al敷接在AlN电子陶瓷基板上,随后利用力学拉伸试验机测试了Al和AlN的结合强度,其界面抗拉强度>15.94MPa,然后使用金相显微镜、SEM等微观分析仪器研究其界面的微观结构,发现在Al/AlN界面没有任何新物质生成,金属铝晶粒直接在AlN陶瓷表面结晶长大.
关键词
铝/氮化铝
电子陶瓷基板
制备
性能
敷接
结合强度
电子
元器件
Keywords
bonding
Al
die-casting-bonding
AlN substrates
分类号
TN105 [电子电信—物理电子学]
TQ174. [化学工程—陶瓷工业]
下载PDF
职称材料
题名
电子陶瓷基板及薄片陶瓷器件的快速凝固流延成型方法
2
出处
《佛山陶瓷》
2003年第5期45-45,共1页
关键词
电子陶瓷基板
薄片
陶瓷
器件
快速凝固流延成型方法
发明
预配液
分类号
TQ174.756 [化学工程—陶瓷工业]
TQ174.626 [化学工程—陶瓷工业]
下载PDF
职称材料
题名
电子陶瓷基板表面激光孔加工综述
被引量:
18
3
作者
梅雪松
杨子轩
赵万芹
机构
西安交通大学机械制造系统国家重点实验室
上海工程技术大学材料工程学院
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第5期178-193,共16页
基金
国家自然科学基金重点项目(51735010)
机械制造系统工程国家重点实验室开放课题(sklms2019003)。
文摘
毫秒和纳秒激光以其高可靠、高效率、低成本和可加工硬脆难加工材料的独特优势,成为加工氧化铝和氮化铝陶瓷的首选,在电子陶瓷基板表面孔的工业化加工中具有不可替代的作用。介绍了毫秒和纳秒激光加工作为电子基板的陶瓷材料的去除机理,如材料烧蚀阈值、光热作用和光化学作用等,讨论了毫秒和纳秒激光加工参数、加工环境等因素对陶瓷材料表面孔加工尺寸(如直径、深度和锥度等)的影响规律,总结了目前陶瓷基板表面激光孔加工工业化应用面临的问题,并对其未来的发展方向进行了展望。
关键词
激光技术
电子陶瓷基板
氧化铝
氮化铝
毫秒激光
纳秒激光
孔
Keywords
laser technique
electronic ceramic substrate
alumina
aluminum nitride
millisecond laser
nanosecond laser
hole
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
激光加工电子陶瓷基板孔的形貌特征及其工艺调控综述
被引量:
4
4
作者
赵万芹
梅雪松
杨子轩
机构
西安交通大学机械工程学院
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第10期29-57,共29页
基金
国家自然科学基金(51735010,52105465)。
文摘
电子器件的高质量和高密度互联对激光加工硬脆电子陶瓷基板表面孔的质量提出了更高的要求。综述了长脉冲毫秒激光、短脉冲纳秒激光和超快激光加工的电子陶瓷基板孔的形貌特征,主要包括孔的表面形貌特征(如孔口圆度、孔表面喷溅物、孔表面微裂纹和孔表面热影响区等)及孔的侧壁形貌特征(如孔的锥度、孔侧壁重铸层和孔侧壁表面微裂纹等)。
关键词
激光技术
电子陶瓷基板
孔的形貌特征
毫秒激光
纳秒激光
超快激光
Keywords
laser technique
electronic ceramic substrate
morphological features of hole
millisecond laser
nanosecond laser
ultrafast laser
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
Al/Al_2O_3陶瓷接合基板的制备及性能研究
被引量:
7
5
作者
彭榕
周和平
宁晓山
徐伟
林渊博
机构
清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期731-736,共6页
文摘
在675~825℃、氮气气氛下,使用石墨模具压铸的方法制备出Al/A12O3电子陶瓷基板,利用力学拉伸试验机测试了Al和Al2O3的结合强度,界面抗拉强度>15.94MPa,使用金相显微镜、SEM等微观分析仪器研究了其界面的微观结构.
关键词
Al/Al2O3
电子陶瓷基板
制备
性能
敷接
剥离强度
氧化铝
铝
结构
Keywords
bonding
Al
die-casting-bonding Al2O3 substrates
分类号
TQ174.756 [化学工程—陶瓷工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
铝/氮化铝电子陶瓷基板的制备及性能的研究
彭榕
周和平
宁晓山
林渊博
徐伟
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
6
下载PDF
职称材料
2
电子陶瓷基板及薄片陶瓷器件的快速凝固流延成型方法
《佛山陶瓷》
2003
0
下载PDF
职称材料
3
电子陶瓷基板表面激光孔加工综述
梅雪松
杨子轩
赵万芹
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
18
原文传递
4
激光加工电子陶瓷基板孔的形貌特征及其工艺调控综述
赵万芹
梅雪松
杨子轩
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
4
原文传递
5
Al/Al_2O_3陶瓷接合基板的制备及性能研究
彭榕
周和平
宁晓山
徐伟
林渊博
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
7
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