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铝/氮化铝电子陶瓷基板的制备及性能的研究 被引量:6
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作者 彭榕 周和平 +2 位作者 宁晓山 林渊博 徐伟 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期1203-1208,共6页
在675~750℃、氮气气氛下,使用石墨模具压铸的方法将金属纯Al敷接在AlN电子陶瓷基板上,随后利用力学拉伸试验机测试了Al和AlN的结合强度,其界面抗拉强度>15.94MPa,然后使用金相显微镜、SEM等微观分析仪器研究其界面的微观结构,发现... 在675~750℃、氮气气氛下,使用石墨模具压铸的方法将金属纯Al敷接在AlN电子陶瓷基板上,随后利用力学拉伸试验机测试了Al和AlN的结合强度,其界面抗拉强度>15.94MPa,然后使用金相显微镜、SEM等微观分析仪器研究其界面的微观结构,发现在Al/AlN界面没有任何新物质生成,金属铝晶粒直接在AlN陶瓷表面结晶长大. 展开更多
关键词 铝/氮化铝电子陶瓷基板 制备 性能 敷接 结合强度 电子元器件
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电子陶瓷基板及薄片陶瓷器件的快速凝固流延成型方法
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《佛山陶瓷》 2003年第5期45-45,共1页
关键词 电子陶瓷基板 薄片陶瓷器件 快速凝固流延成型方法 发明 预配液
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电子陶瓷基板表面激光孔加工综述 被引量:18
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作者 梅雪松 杨子轩 赵万芹 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期178-193,共16页
毫秒和纳秒激光以其高可靠、高效率、低成本和可加工硬脆难加工材料的独特优势,成为加工氧化铝和氮化铝陶瓷的首选,在电子陶瓷基板表面孔的工业化加工中具有不可替代的作用。介绍了毫秒和纳秒激光加工作为电子基板的陶瓷材料的去除机理... 毫秒和纳秒激光以其高可靠、高效率、低成本和可加工硬脆难加工材料的独特优势,成为加工氧化铝和氮化铝陶瓷的首选,在电子陶瓷基板表面孔的工业化加工中具有不可替代的作用。介绍了毫秒和纳秒激光加工作为电子基板的陶瓷材料的去除机理,如材料烧蚀阈值、光热作用和光化学作用等,讨论了毫秒和纳秒激光加工参数、加工环境等因素对陶瓷材料表面孔加工尺寸(如直径、深度和锥度等)的影响规律,总结了目前陶瓷基板表面激光孔加工工业化应用面临的问题,并对其未来的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 激光技术 电子陶瓷基板 氧化铝 氮化铝 毫秒激光 纳秒激光
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激光加工电子陶瓷基板孔的形貌特征及其工艺调控综述 被引量:4
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作者 赵万芹 梅雪松 杨子轩 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第10期29-57,共29页
电子器件的高质量和高密度互联对激光加工硬脆电子陶瓷基板表面孔的质量提出了更高的要求。综述了长脉冲毫秒激光、短脉冲纳秒激光和超快激光加工的电子陶瓷基板孔的形貌特征,主要包括孔的表面形貌特征(如孔口圆度、孔表面喷溅物、孔表... 电子器件的高质量和高密度互联对激光加工硬脆电子陶瓷基板表面孔的质量提出了更高的要求。综述了长脉冲毫秒激光、短脉冲纳秒激光和超快激光加工的电子陶瓷基板孔的形貌特征,主要包括孔的表面形貌特征(如孔口圆度、孔表面喷溅物、孔表面微裂纹和孔表面热影响区等)及孔的侧壁形貌特征(如孔的锥度、孔侧壁重铸层和孔侧壁表面微裂纹等)。 展开更多
关键词 激光技术 电子陶瓷基板 孔的形貌特征 毫秒激光 纳秒激光 超快激光
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Al/Al_2O_3陶瓷接合基板的制备及性能研究 被引量:7
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作者 彭榕 周和平 +2 位作者 宁晓山 徐伟 林渊博 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期731-736,共6页
在675~825℃、氮气气氛下,使用石墨模具压铸的方法制备出Al/A12O3电子陶瓷基板,利用力学拉伸试验机测试了Al和Al2O3的结合强度,界面抗拉强度>15.94MPa,使用金相显微镜、SEM等微观分析仪器研究了其界面的微观结构.
关键词 Al/Al2O3电子陶瓷基板 制备 性能 敷接 剥离强度 氧化铝 结构
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