电子隧道传感器的原理、现状与发展

电子隧道传感器应用电子隧道原理对位移进行检测，结构简单，能耗低，它具有很高的灵敏度，并且不受尺寸限制，在微型化和集成化方面显示了良好的前景，各国科学家对电子隧道传感器进行了广泛的研究并制成了加速度计，红外探测器，磁强计，触觉传感器，这些传感器小巧且性能优异。本文介绍了电子隧道原理，对电子隧道传感器的结构和性能进行了描述，并讨论了电子隧道传感器的发展前景。