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脉冲准分子激光沉积高a轴(200)取向CuO—SuO_2薄膜
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作者 方国家 张增常 +2 位作者 刘传清 李炳安 雷式祖 《湖北文理学院学报》 1996年第2期35-41,10,共8页
采用脉冲准分子激光沉积技术,分别在Si(111)单晶及玻璃基片上沉积了具有高a-(200)取向的CuO掺杂的SnO_2薄膜.采用X射线衍射的(XRD)及透射电镜(TEM)扫描附件对不同温度下退火处理的样品进行了结构分析;同时对薄膜的温阻特性及气敏性能进... 采用脉冲准分子激光沉积技术,分别在Si(111)单晶及玻璃基片上沉积了具有高a-(200)取向的CuO掺杂的SnO_2薄膜.采用X射线衍射的(XRD)及透射电镜(TEM)扫描附件对不同温度下退火处理的样品进行了结构分析;同时对薄膜的温阻特性及气敏性能进行了研究。 展开更多
关键词 高a轴(200)取向 CuO-SnO2薄膜 脉冲激光沉积(PLD) 结构分析 电学及气敏性能
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