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一种格栅状上电极的CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器(英文)
1
作者
贾水英
杨建红
+2 位作者
谢宏伟
蔡雪原
吴承龙
《电子器件》
CAS
2011年第3期242-246,共5页
报道了采用标准CMOS工艺制作的格栅型上电极的电容型湿度传感器,采用高分子材料聚酰亚胺作为感湿介质,铝作为金属电极。对该湿度传感器的器件结构、制作工艺和传感器特性,如灵敏度、湿滞以及响应时间等进行了讨论。测试结果表明,在12%-...
报道了采用标准CMOS工艺制作的格栅型上电极的电容型湿度传感器,采用高分子材料聚酰亚胺作为感湿介质,铝作为金属电极。对该湿度传感器的器件结构、制作工艺和传感器特性,如灵敏度、湿滞以及响应时间等进行了讨论。测试结果表明,在12%-92%的湿度范围内,电容-相对湿度曲线具有良好的线性度,灵敏度为0.9 pF/RH,响应时间为5.5 s。
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关键词
电容型湿度传感器
聚酰亚胺
CMOS工艺
响应时间
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职称材料
一种智能室内湿度调节器的设计与实现
2
作者
金新
谷越凡
谭旭东
《科学家》
2016年第16期54-55,共2页
本文介绍了一种智能室内湿度调节器的设计与实现。利用电容型湿度传感器、水位传感器、温度传感器、换气扇、电磁阀、超声波高频震荡器、单片机等自动控制技术实现室内舒适湿度、温度的智能、合理的调整,最终实现室内环境的智能控制,提...
本文介绍了一种智能室内湿度调节器的设计与实现。利用电容型湿度传感器、水位传感器、温度传感器、换气扇、电磁阀、超声波高频震荡器、单片机等自动控制技术实现室内舒适湿度、温度的智能、合理的调整,最终实现室内环境的智能控制,提供给用户较舒适的居住环境,体现了以用户体验为核心的设计理念。
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关键词
智能家居
模糊PID
自动控制
电容型湿度传感器
湿度
调节器
原文传递
题名
一种格栅状上电极的CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器(英文)
1
作者
贾水英
杨建红
谢宏伟
蔡雪原
吴承龙
机构
兰州大学微电研究所
出处
《电子器件》
CAS
2011年第3期242-246,共5页
文摘
报道了采用标准CMOS工艺制作的格栅型上电极的电容型湿度传感器,采用高分子材料聚酰亚胺作为感湿介质,铝作为金属电极。对该湿度传感器的器件结构、制作工艺和传感器特性,如灵敏度、湿滞以及响应时间等进行了讨论。测试结果表明,在12%-92%的湿度范围内,电容-相对湿度曲线具有良好的线性度,灵敏度为0.9 pF/RH,响应时间为5.5 s。
关键词
电容型湿度传感器
聚酰亚胺
CMOS工艺
响应时间
Keywords
capacitive humidity sensor
polyimide
CMOS process
response time
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
一种智能室内湿度调节器的设计与实现
2
作者
金新
谷越凡
谭旭东
机构
陕西理工大学电气工程学院
出处
《科学家》
2016年第16期54-55,共2页
文摘
本文介绍了一种智能室内湿度调节器的设计与实现。利用电容型湿度传感器、水位传感器、温度传感器、换气扇、电磁阀、超声波高频震荡器、单片机等自动控制技术实现室内舒适湿度、温度的智能、合理的调整,最终实现室内环境的智能控制,提供给用户较舒适的居住环境,体现了以用户体验为核心的设计理念。
关键词
智能家居
模糊PID
自动控制
电容型湿度传感器
湿度
调节器
分类号
TU855 [建筑科学]
TP214 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种格栅状上电极的CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器(英文)
贾水英
杨建红
谢宏伟
蔡雪原
吴承龙
《电子器件》
CAS
2011
0
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职称材料
2
一种智能室内湿度调节器的设计与实现
金新
谷越凡
谭旭东
《科学家》
2016
0
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