一种格栅状上电极的CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器(英文)

报道了采用标准CMOS工艺制作的格栅型上电极的电容型湿度传感器,采用高分子材料聚酰亚胺作为感湿介质,铝作为金属电极。对该湿度传感器的器件结构、制作工艺和传感器特性,如灵敏度、湿滞以及响应时间等进行了讨论。测试结果表明,在12%-92%的湿度范围内,电容-相对湿度曲线具有良好的线性度,灵敏度为0.9 pF/RH,响应时间为5.5 s。

一种智能室内湿度调节器的设计与实现

本文介绍了一种智能室内湿度调节器的设计与实现。利用电容型湿度传感器、水位传感器、温度传感器、换气扇、电磁阀、超声波高频震荡器、单片机等自动控制技术实现室内舒适湿度、温度的智能、合理的调整,最终实现室内环境的智能控制,提供给用户较舒适的居住环境,体现了以用户体验为核心的设计理念。