多微通道式气体静压节流器的设计与分析

节流器是气体静压系统的关键零部件之一。设计并加工了一种止推用多微通道式气体静压节流器,利用电容式测微基本原理对其气膜厚度进行测量。建立了该节流器电容值-气膜厚度的数学模型,计算了特定气膜厚度值时的电容值,利用电容测量仪及电感测微测头对外径80mm的多微通道式气体静压节流器产生的气膜厚度进行了测量,最终对实验误差进行处理分析。实验结果表明,理论值与实测数据之间误差小于13%,证明了数学模型的正确性,也反映了电容式测微方法测量气体静压系统气膜厚度的有效性。