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(Ba_(0.7)Sr_(0.3))TiO_3铁电薄膜热敏电容器的研制 被引量：3
1
作者 刘世建 徐重阳 +1 位作者 曾祥斌 赵伯芳 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 2000年第10期70-71,共2页
采用射频磁控溅射法制备了用于非致冷红外焦平面阵列的BST((Ba0 .7Sr0 .3)TiO3)铁电薄膜热敏电容器 .介绍了热敏电容器上下电极的选材和制备及铁电薄膜的制备工艺 .根据热敏电容器的电容 -温度曲线 ,分析了热敏电容器的工作原理 .实验... 采用射频磁控溅射法制备了用于非致冷红外焦平面阵列的BST((Ba0 .7Sr0 .3)TiO3)铁电薄膜热敏电容器 .介绍了热敏电容器上下电极的选材和制备及铁电薄膜的制备工艺 .根据热敏电容器的电容 -温度曲线 ,分析了热敏电容器的工作原理 .实验结果表明BST铁电薄膜热敏电容器可以工作在室温附近 ,约 2 展开更多
关键词 BST 铁电薄膜 热敏电容器 电容温度曲线 测量
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