电容薄膜真空计校准装置的研制

介绍电容薄膜真空计校准装置的研制过程,采用静态膨胀法原理,其测量范围为(1×10^(-1)~1×10~4)Pa,相对扩展不确定度为(0.22%~0.06%)(k=2)。装置体积比采用原位法进行测试,各体积比相对标准不确定度为0.02%。