单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计

介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路，该电路基于电容一频率转化原理，并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响。使用Pspice对接口电路的误差特性进行了分析，并依据仿真结果确定了电路的相关参数。最后给出电路的测试结果，测试结果与仿真结果一致，在80～110kPa量程内，接口电路的分辨率为3．77Hz／hPa。

一种高精度绝缘材料厚度测量电路的设计

本论文探讨了一种应用于绝缘材料厚度测量的高精度、低成本系统。本次设计首先将被测物体的厚度设计为电容电极距,并通过电路转化频率值,在经过AD采样电路后,信号输入FPGA进行处理。FPGA以其硬件的并行特点,快速实现系统自校准、实时测量、数据显示等功能。通过系统整体测试可以看到,本系统完成了微米级厚度的精确测量,可推广应用到相关的生产环节中。