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电感耦合等离子体(ICP)深刻蚀的模型与模拟 被引量:7
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作者 张鉴 黄庆安 李伟华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1342-1346,共5页
为对交替复合深刻蚀过程进行工艺仿真,本文利用鞘层近似模型,以离子辅助刻蚀和直接粒子刻蚀的组合来实现交替复合深刻蚀过程中的刻蚀步骤,辅以各向同性钝化过程,对电感耦合等离子体深刻蚀(硅片)进行了建模。本文采用单一的二维廓线"... 为对交替复合深刻蚀过程进行工艺仿真,本文利用鞘层近似模型,以离子辅助刻蚀和直接粒子刻蚀的组合来实现交替复合深刻蚀过程中的刻蚀步骤,辅以各向同性钝化过程,对电感耦合等离子体深刻蚀(硅片)进行了建模。本文采用单一的二维廓线"线算法"模型实现对刻蚀材料的区分,进而实现了对电感耦合等离子体深刻蚀的二维模拟和三维带状显示。其优点是相比元胞及混合模型算法统一,运行效率高、速度快,且模拟结果与实验相比较为理想。 展开更多
关键词 电感耦合等离子体 交替复合深刻 模型 模拟
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激光熔蚀-电感耦合等离子体质谱法测定底泥沉积物中的总汞 被引量:12
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作者 陶冠红 藤川阳子 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1121-1123,共3页
采用激光熔蚀 电感耦合等离子体质谱法 (LA ICP MS)测定了底泥沉积物中的总汞 ,沉积物样品经高压压坯后直接进行激光熔蚀测定 ,并对内标选定、样品粒度以及汞的形态等影响因素进行了研究 ,以 2个底泥标准样和 1个土壤标准样的测定结果... 采用激光熔蚀 电感耦合等离子体质谱法 (LA ICP MS)测定了底泥沉积物中的总汞 ,沉积物样品经高压压坯后直接进行激光熔蚀测定 ,并对内标选定、样品粒度以及汞的形态等影响因素进行了研究 ,以 2个底泥标准样和 1个土壤标准样的测定结果来绘制标准曲线 ,并用于实际样品的测定 ,方法简便实用 ,测定结果与同位素稀释冷蒸气发生ICP MS法十分吻合 ,方法检出限为 0 0 2mg·kg-1,测定速度可达每小时 展开更多
关键词 底泥沉积物 总汞 含量测定 激光熔 电感耦合等离子体质谱法 环境分析化学
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U-Pb定年锆石标准^(176)Hf/^(177)Hf比值的多接收器电感耦合等离子体质谱测定 被引量:8
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作者 祁昌实 李献华 +2 位作者 梁细荣 刘颖 涂湘林 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2005年第3期149-154,共6页
利用MicromassIsoprobe型多接收器电感耦合等离子体质谱(MCICPMS)测定UPb定年国际锆石标准91500、Temora和本实验室锆石工作标准样We1的176Hf/177Hf比值。对添加Zr的室内Hf标准溶液HfGIG的模拟实验表明:Zr/Hf≤120时,Zr对Isoprobe型MCIC... 利用MicromassIsoprobe型多接收器电感耦合等离子体质谱(MCICPMS)测定UPb定年国际锆石标准91500、Temora和本实验室锆石工作标准样We1的176Hf/177Hf比值。对添加Zr的室内Hf标准溶液HfGIG的模拟实验表明:Zr/Hf≤120时,Zr对Isoprobe型MCICPMS的Hf同位素比值测定值没有明显的影响,所以锆石Hf分离纯化流程采用改进的高温高压氢氟酸溶解和其后的一个离子交换分离流程实现,整个流程Hf的回收率高于90%。176Hf/177Hf比值测定采用JMC475Hf标准溶液(176Hf/177Hf=0.282160)进行外部校正并监控仪器漂移。标准样91500、Temora和We1平均的176Hf/177Hf比值测定结果分别为(0.282310±0.000034)、(0.282706±0.000020)和(0.281534±0.000009)。上述每个结果包括至少7组独立的锆石样品的溶解、分离和测定,表明标准样91500、Temora和We1是Hf同位素组成均一的。本实验结果对于激光熔蚀多接收器电感耦合等离子体质谱(LAMCICPMS)锆石原位176Hf/177Hf比值测定校正方法的检验具有重要意义。 展开更多
关键词 多接收器电感耦合等离子体质谱(MC—ICP—MS) 锆石标准 Hf同位素 激光熔多接收器电感耦合 等离子体质谱(LA—MC—ICP—MS)
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电感耦合等离子体原子发射光谱法测定TC4钛合金中主量元素铝和钒 被引量:7
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作者 张磊 王晓艳 +1 位作者 朱丽 李波 《理化检验(化学分册)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期721-722,共2页
钛合金是一种优质的结构材料和重要的功能材料,广泛地应用于航空、航天、医疗、电子和食品工业等部门,成为继合金钢和金属铝之后新崛起的第三金属。TC4钛合金具有无磁性、密度小、高强度的机械性能、极好的耐腐蚀性能和耐冲蚀性能,... 钛合金是一种优质的结构材料和重要的功能材料,广泛地应用于航空、航天、医疗、电子和食品工业等部门,成为继合金钢和金属铝之后新崛起的第三金属。TC4钛合金具有无磁性、密度小、高强度的机械性能、极好的耐腐蚀性能和耐冲蚀性能,是目前为止钛合金牌号中应用最为广泛的一种。 展开更多
关键词 电感耦合等离子体原子发射光谱法 TC4钛合金 金属铝 主量元素 测定 耐冲性能 耐腐性能 功能材料
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火花熔蚀-电感耦合等离子体光谱法分析地质矿物
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作者 D.W.戈莱特利 阿克巴.蒙塔瑟 +2 位作者 B.L.史密斯 A.F.小多尔扎普弗 孙爱民 《光谱实验室》 CAS CSCD 1991年第1期89-94,共6页
火花熔蚀-电感耦合等离子体光谱法(SA-ICP)用于测量锆石中铪-锆比值和锰铁矿瘤中的铈、钴、铁、铅、镍和磷。用信背比和信嗓比的序贯单纯形优化法建立了用于高压火花和氩气ICP系统的六个操作参数。将磨细的样品与铜压成饼,从样品中熔蚀... 火花熔蚀-电感耦合等离子体光谱法(SA-ICP)用于测量锆石中铪-锆比值和锰铁矿瘤中的铈、钴、铁、铅、镍和磷。用信背比和信嗓比的序贯单纯形优化法建立了用于高压火花和氩气ICP系统的六个操作参数。将磨细的样品与铜压成饼,从样品中熔蚀出的分析物和基体元素的原于发射信号的时间相关性给出一种用火花来作选择取样的方法。测量锆石中的铪、锆浓度比的精密度为4%(相对标准偏差)。对于锰铁矿瘤,根据分析线对锰(Ⅱ)257.610纳米线强度比的光谱测量结果达到分析精密度范围为7-14%(相对标准偏差)。分析的准确度用参比物USGS诺得(Nod)P-1的标准物加入法来决定,而与锰浓度的测量无关。 展开更多
关键词 矿物分析 火花熔 电感耦合等离子体光谱法 锆石 锰铁矿
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基于ICP的金属钛深刻蚀 被引量:1
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作者 杨梅 陈兢 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第2期121-124,共4页
MEMS应用领域的扩展要求开发硅材料之外其他新型材料的三维微细加工技术.为此,对金属钛这一新型MEMS体材料的三维加工进行了探索.金属钛不仅延展性和导电性好,且断裂韧度高、高低温特性以及生物兼容性好.采用电感耦合等离子体源(inducti... MEMS应用领域的扩展要求开发硅材料之外其他新型材料的三维微细加工技术.为此,对金属钛这一新型MEMS体材料的三维加工进行了探索.金属钛不仅延展性和导电性好,且断裂韧度高、高低温特性以及生物兼容性好.采用电感耦合等离子体源(inductively coupled plasma,ICP)技术对金属钛进行三维深刻蚀,采用不同刻蚀掩模、氯基刻蚀气体,研究了线圈功率、平板功率和Cl2流量对刻蚀速率和选择比等工艺参数的影响,并对Ti深刻蚀参数进行了优化,得到0.91μm/min的刻蚀速率,可实现光滑表面和陡直侧壁. 展开更多
关键词 金属钛 电感耦合等离子体 深刻
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应用ICP-MS研究黔西南地区构造蚀变体稀土元素地球化学特征 被引量:10
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作者 赵平 李爱民 +5 位作者 刘建中 夏勇 严春杰 王泽鹏 杨刚 陈菊 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期89-96,共8页
构造蚀变体(SBT)是沉积作用、构造作用和热液蚀变的综合产物。SBT作为黔西南地区金、锑、萤石等矿产的重要就位空间,金锑矿成矿与其密切相关。近年在黔西南地区发现了丰富的金资源量,关键在于SBT体系的提出及与之为核心的成矿模式的建... 构造蚀变体(SBT)是沉积作用、构造作用和热液蚀变的综合产物。SBT作为黔西南地区金、锑、萤石等矿产的重要就位空间,金锑矿成矿与其密切相关。近年在黔西南地区发现了丰富的金资源量,关键在于SBT体系的提出及与之为核心的成矿模式的建立和应用。本文应用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)分析了黔西南台地相区典型矿床的SBT样品,揭示稀土元素的地球化学特征。结果表明,不同矿区SBT的ΣREE=49.55×10^(-6)~271.72×10^(-6),含量变化较大,LREE/HREE=5.62~13.59,轻重稀土分馏明显,轻稀土富集;SBT对北美页岩和CI球粒陨石标准化配分模式图均表现为轻稀土富集的右倾型、"四分组"效应明显、强烈热液作用,为同一体系的产物;大厂至戈塘一线显示高的正铕异常,推测有两个方向含矿热液在此汇聚。本文系统对比了黔西南地区SBT稀土元素地球化学特征,反映该区成矿流体来源及演化,为本区微细浸染型金矿的成矿预测提供了依据。 展开更多
关键词 黔西南金矿 构造变体(SBT) 金矿成矿作用 稀土元素 电感耦合等离子体质谱法
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基于SIMOX的耐高温压力传感器芯片制作 被引量:2
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作者 王权 丁建宁 +1 位作者 王文襄 熊斌 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1595-1598,共4页
针对石油化工等领域中高温下较高压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器敏感芯片,采用SIMOX技术的SOI晶片,在微加工平台上通过低压化学气相淀积法(LPCVD)均相外延硅测量层、浓硼离子注入、热氧化、光刻、电感耦合等离子体(ICP)... 针对石油化工等领域中高温下较高压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器敏感芯片,采用SIMOX技术的SOI晶片,在微加工平台上通过低压化学气相淀积法(LPCVD)均相外延硅测量层、浓硼离子注入、热氧化、光刻、电感耦合等离子体(ICP)深刻蚀、多层合金化等工艺流程制作了该芯片,将其封装后,研制出了高精度稳定性佳的耐高温压阻式压力传感器.封装工艺进一步改善后,该芯片工作温区有望拓宽到300~350℃. 展开更多
关键词 高温压力传感器 SIMOX 低压化学气相淀积 电感耦合等离子体深刻蚀
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微米尺度下键合强度的评价方法和测试结构 被引量:5
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作者 阮勇 贺学锋 +1 位作者 张大成 王阳元 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2005年第8期110-113,共4页
在MEMS器件的设计与加工过程中,键合技术是体硅工艺的一项关键技术。由于MEMS器件的特点,其键合的面积通常是在微米到毫米量级内,传统测试键合强度的方法不再适用,该尺度下键合强度的测试与评价成为MEMS工艺测试的难点之一。文章提出了... 在MEMS器件的设计与加工过程中,键合技术是体硅工艺的一项关键技术。由于MEMS器件的特点,其键合的面积通常是在微米到毫米量级内,传统测试键合强度的方法不再适用,该尺度下键合强度的测试与评价成为MEMS工艺测试的难点之一。文章提出了一种新型的测试结构,对面积为微米量级下键合的最大抗扭强度进行了测试。实验设计一系列的单晶硅悬臂梁结构测试键合面积在微米量级时的最大剪切力,键合面为常用的正方形,其边长从6μm到120μm,计算得出的剪力与采用实体单元有限元分析结果计算出的作用力相对误差为4.9%,这一误差在工程中是可以接受的。实验得出最大剪切扭矩和相应的键合面积的曲线。MEMS器件的设计人员可以根据结论曲线,针对所需的抗扭强度设计相应的键合面积。 展开更多
关键词 MEMS 阳极键合 键合强度 剪切力 深刻 感应耦合等离子体 抗扭强度
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深刻蚀高密度熔融石英光栅 被引量:2
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作者 王顺权 周常河 +1 位作者 茹华一 张妍妍 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期175-178,共4页
深刻蚀高密度熔融石英光栅是一种新型高效的衍射光学元件,具有衍射效率高、成本低、抗损伤,能在高强度激光条件下工作等优点。给出了利用感应耦合等离子体(ICP)技术制作熔融石英深刻蚀光栅的详细过程,并在一定的优化条件下制作了一系列... 深刻蚀高密度熔融石英光栅是一种新型高效的衍射光学元件,具有衍射效率高、成本低、抗损伤,能在高强度激光条件下工作等优点。给出了利用感应耦合等离子体(ICP)技术制作熔融石英深刻蚀光栅的详细过程,并在一定的优化条件下制作了一系列不同周期、开口比和深度的高质量深刻蚀石英光栅。实验得到的最大刻蚀深度为4μm,并且在600 l/mm的高密度条件下得到了刻蚀深度为1.9μm的高深宽比石英光栅。光栅侧壁陡直,表面平整,没有聚合物沉积。所制作的熔融石英光栅元件在高强激光环境、光谱仪、高效滤波器和波分复用系统等领域中有非常广泛的用途。 展开更多
关键词 光栅 深刻 感应耦合等离子体 熔融石英
原文传递
微纳米沟道光栅加工工艺研究
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作者 李广伟 《重庆科技学院学报(自然科学版)》 CAS 2016年第5期113-116,共4页
以ICP-501为刻蚀设备,以C_4F_8和SF_6为刻蚀气体,以Xe气为辅助气体,以lift-off方法得到的铬掩模对966线/mm的光栅进行刻蚀。结果表明,在选定的工艺条件下,刻蚀光栅结构与理论设计较为符合,衍射效率也接近于理论设计。
关键词 感应耦合 等离子体 铬掩模 光栅 深刻
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Impact of hydrothermal alteration on the U-Pb isotopic system of zircons from the Fangcheng syenites in the Qinling orogen,Henan Province,China
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作者 BAO Zhiwei WANG Qiang +1 位作者 BAI Guodian ZHAO Zhenhua 《Chinese Journal Of Geochemistry》 EI CAS 2009年第2期163-171,共9页
Disturbance of the zircon U-Pb isotopic system has been investigated extensively, but mostly in lab, in the last decades. Here, we reported a field-based study on intensive sericitization, K-feldsparthization and the ... Disturbance of the zircon U-Pb isotopic system has been investigated extensively, but mostly in lab, in the last decades. Here, we reported a field-based study on intensive sericitization, K-feldsparthization and the impacts of mylonitization on zircons from the Fangcheng syenites.The Fangcheng syenites occur in the eastern part of the Qinling orogen and consist mainly of aegirine-augite syenite, aegirine nepheline syenite, biotite syenite and hornblende nepheline syenite. Zircons from the slightly sericitized aegirine augite syenite are colorless, transparent crystals and exhibit well-developed oscillatory and sector zoning on the cathodoluminescence (CL) images which are typical of magmatic zircons from alkaline rocks. Zircon U-Pb determinations by laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry (LA-ICPMS) showed that the syenite was formed in Neoproterozoic time, the weighted average of 206Pb/238U ages is 844.3±1.6 Ma (MSWD=0.86). In contrast, the hydrothermally altered zircons (hydrothermal zircon) from the intensively sericitized, K-feldsparthized, and weakly mylonitized aegirine augite syenite are conglomerates, yellowish to brown in color, generally translucent and internally textureless. The CL and backscatter electron (BSE) images of hydrothermal zircons exhibit fractured, textureless or mosaic textures, and occasionally show "sponge texture" with the veinlets and inclusions of K-feldspar; however, relicts of magmatic oscillatory zoning can still be discerned locally in individual grains. LA-ICPMS analyses of the hydrothermal zircons demonstrated that the zircons are chemically inhomogeneous, with enhanced and widely varied Pb, U, and Th contents. The U and Th contents of the hydrothermal zircons are estimated to be 32×10-6-1550×10-6 and 188×10-6-4059×10-6, respectively, with Th/U ratios within the range of 0.7-44.9. 206Pb/238U apparent ages of the hydrothermal zircons are negatively correlated with the contents of U, and radiogenic and common Pb. As the U and Th concentrations of the magmatic zircons are rather low, the α-decay doses (3.65×1014-2.04×1015 α-decay events/mg) are much lower than those at the first percolation point (3.5× 1015 a-decay events/mg), thus, Pb mobility resultant from diffusion could be safely neglected. Disturbance of the U-Pb isotopic system of zircons is most likely to be attributed to the intensive sericitization and K-feldsparthization coupled with mylonitization, the hydrothermal fluids reacted with zircons along the rims and fractures of the distorted zircon crys- tals, giving rise to the chemically inhomogeneous hydrothermal zircons through a series of complicated mechanisms such as dissolution-reprecipitation. The significance of the U-Pb age (the lower intercept age on the discordia U-Pb plot) of hydrothermal zircons is uncertain. We argued that interpretations of the hydrothermal zircon data as the age of hydrothermal events or hydrothermal ore-forming processes are questionable and hence cautions must be taken. 展开更多
关键词 霞石正长岩 PB同位素 热液锆石 秦岭造山带 同位素体系 防城港 电感耦合等离子体质谱 热液
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利用ELA—ICP—MS和SHRIMP技术在智利北部丘基卡马塔超大型铜矿床中识别出两种年龄的斑岩侵入体
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作者 张秋明 《国土资源情报》 2002年第4期52-56,共5页
关键词 ELA-ICP-MS SHRIMP技术 智利 铜矿床 斑岩侵入体 激元激光融-电感耦合等离子体-质谱仪 离子探针
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