基于SF_(6)/Ar的电感耦合等离子体干法刻蚀β-Ga_(2)O_(3)薄膜

使用SF_(6)/Ar混合气体作为刻蚀气体,采用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀方法,研究了不同激励功率和偏置功率对Ga_(2)O_(3)薄膜刻蚀速率的影响以及不同刻蚀时间对表面粗糙度的影响,并观察了光刻胶的损伤情况以调整刻蚀工艺参数。实验结果表明,适度地增大激励功率和偏置功率可以提高刻蚀速率;合适的刻蚀时间可以在得到低粗糙度表面的同时不会过度损伤光刻胶掩膜。通过优化工艺参数,在激励功率为600 W、偏置功率为150 W、刻蚀时间为17 min下,可得到30 nm/min的Ga_(2)O_(3)薄膜刻蚀速率,刻蚀表面的垂直度高、粗糙度低,同时光刻胶掩膜形貌完好。

铂电极的电感耦合等离子体刻蚀工艺研究

铂(Pt)金属因其特有的优良性能被广泛用作电极材料,干法刻蚀是获得器件图形的关键工艺技术,另外为了避免使用有毒性的Cl_(2),本文采用Ar/BCl_(3)作为刻蚀工艺气体,光刻胶作为刻蚀掩膜,对Pt电极材料做了干法刻蚀工艺的研究,系统地分析了电感耦合等离子体源功率、射频偏压功率、气体流量比例、工艺气压以及基板温度对刻蚀速率和刻蚀形貌的影响。得到刻蚀速率为159.7 nm/min,侧壁角度为63°,片内刻蚀速率均匀性(152.4 mm、5个点、边缘去边5 mm)为±1.75%,关键尺寸损失量小于1%的刻蚀结果。

基于ICP的Ar等离子体干法刻蚀Ti/Ni/Ag薄膜

在电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺中,选择合适的刻蚀条件对Ti/Ni/Ag薄膜的刻蚀至关重要。使用氩气(Ar)作为刻蚀气体,研究了射频偏压功率、气体体积流量、腔体压强、刻蚀时间等多个参数对功率芯片背面Ti/Ni/Ag薄膜刻蚀深度的影响,并优化刻蚀工艺参数。实验结果表明,调节射频偏压功率和Ar体积流量可以显著影响刻蚀速率,进而对薄膜的微结构进行有效调控。通过优化工艺参数,在射频偏压功率300 W、Ar体积流量40 cm^(3)/min、腔体压强1.2 Pa、刻蚀时间50 min下,芯片Ti/Ni/Ag薄膜的刻蚀深度达到283.25μm,有效提升了刻蚀效率和刻蚀精度。

高频电感耦合等离子体发射光谱法测定官厅水库底泥中的多种元素

采用HNO3 HClO4 HF湿法消解样品 ,用电感耦合等离子体发射光谱法 (ICP AES)测定底泥中重金属 (Al,Cu ,Co ,Mn ,Zn ,Fe ,Pb ,Cd ,Ni)及磷的质量分数 ,用水系沉积物标准样品进行对照 ,其测定值与标准值吻合得很好 ,方法的相对标准偏差sr 在 6 %以内 ,结果令人满意 .采用本法对官厅水库坝址到妫水河的重金属及磷的质量分数进行了测定与分析 。

电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定牙膏和化妆品中的锶和其它8种元素

目的:采用合适的样品前处理方法和电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定牙膏和化妆品中的锶和其它元素铅、镉、砷、铬、银、钡、镍和硒.方法:选择微波消解法、酸湿式消解法、干式消解法和直接硝酸超声浸提法对样品进行前处理,对比这几种方法的结果.优化仪器测定参数以适应此类样品测定.测定方法的线性范围、相关系数、检出限、精密度、加标回收率、标准物质测定等,探讨相关结果的影响因素.结果:本法采用线性范围锶为0～50μg/ml,其它元素为0～500 ng/ml,相关系数大于0.9990,方法检出限锶44ng/g、铅9 ng/g、镉19 ng/g、砷150 ng/g、铬35 ng/g、银7.5 ng/g、钡12.5 ng/g、镍18 ng/g、硒340 ng/g,样品测定11次所有元素相对标准偏差小于4.5%,加标回收率在82%～115%之间,标准物质的元素测定值在标准值范围之内.结论:用ICP-MS同时测定牙膏和化妆品中的9种元素,具有良好的准确度和精密度,灵敏度高,检出限低,线性范围宽,元素之间的干扰少,能适应不同样品基体,样品前处理采用微波消解法,是高效可行的方法.

电感耦合高频等离子体发射光谱法测定蒙药角茴香中的微量元素

目的建立电感耦合高频等离子体发射光谱(ICP-OES)法测定蒙药角茴香中Al,As,B,Ba,Cd,Co,Cu,Fe,Hg,In,Mn,Pb,Sr,Zn等14种微量元素含量的测定方法。方法采用微波消解法前处理样品,电感耦合高频等离子体发射光谱(ICP-OES)法测定蒙药角茴香中14种微量元素含量。结果该方法检出限为0.0002～0.006μg.ml-1,各元素加标回收率在95.6%～109.26%之间,RSD小于4.46%。结论该方法可快速、灵敏、准确测定蒙药角茴香中多种微量元素含量。

电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-AES)测定生榨甘蔗汁中的微量元素

目的研究测定生榨甘蔗汁中微量元素测定方法，是了解生榨甘蔗汁中微量元素营养成分的必需。方法电感耦合等离子体发射光谱测定法（ICP—AES）。结果方法中各元素的检测限为0．001～0．01μg·mL～，准确度为97．O％～106．O％，精密度为1．01％～3．62％。结论本法检测限低、准确度高、精密度好，可应用于生榨甘蔗汁中多元素同时测定。

氟里昂(CF_2Cl_2)对电感耦合等离子体(ICP)放电特性的影响——ICP技术在危险废弃物处理方面的应用研究

为了发展用于处理难消解危险废物的电感耦合等离子体（ＩＣＰ）技术，本文研究了当氟里昂１２进入ＩＣＰ时，在不同操作条件下ＩＣＰ的激发温度与电子密度的变化趋势，并论述了其成因及其对废物处理的优势。

电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-AES)测定红糖中的微量元素

目的红糖人药胜过白砂糖和冰糖，其机理在哪？是糖中的桔水成分，或是红糖中的矿物质成分，值得研究。方法采用微波消解法处理样品，用电感耦合等离子体发射光谱法（ICP—AES）测定红糖中的微量元素。结果14种微量元素的检测限为1．1—7．3μg·L-1，方法准确度为96．7％-109．4％，方法精密度为0．88％-9．15％。结论微波消解样品快速、准确，用ICP—AES同时测定红糖中的镁、锌、铁、铜、铬、锰、钒、锶、镍、钴、硼、铅、镉和钛等14种微量元素，检出限低，适用于红糖微量元素的常规检测。

电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)同时测定水中多种元素

采用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)对水中微量元素Li、Be、Al、V、Cr、Co、Ni、Cu、Zn、As、Mo、Ag、Cd、Ba、Hg、Pb进行分析,通过在线加入内标校正基体效应和接口效应,通过修正方程校正质量数干扰,测定元素校正曲线相关系数都在0.9995以上,各元素检出限在0.01～4.12ug·L-1,RSD%<10(n=10)加标回收率在91.2%￣118.3%,。

电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-AES)测定铀矿石中微量钪、硒、铼

用HF-HNO3-HClO4溶解样品,在0.6mol L盐酸介质中,用ICP-AES法对铀矿石中钪(Sc)、硒(Se)、铼(Re)进行了测定.测得各元素的测定下限分别为:Sc0.03μg mL、Se0.03μg mL、Re0.016μg mL.低、中、高3种浓度的平均标准加入回收率为96%～106%,相对标准偏差小于8%.

电感耦合高频放电等离子体特性测试

利用Ｌａｎｇｍｕｉｒ双探针测试方法对高频放电等离子体的参数（ｎｐ，Ｔｅ）进行了详尽测试，得出了等离子体参数随放电空间位置、气体种类、放电功率、气体压强、磁约束等条件变化的规律，并对测试结果做了理论分析。

电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定饮用天然矿泉水中微量钼

应用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)直接测定饮用天然矿泉水中微量钼,具有干扰少、谱线相对简单、检出限低、动态线性范围宽、测定快速的特点。方法加标回收率在94.5%～110%之间,检出限为0.007μg/L,相对标准偏差小于3.8%,适用于饮用天然矿泉水中微量钼的测定。

电感耦合高频放电等离子体的产生机理及其物理图象

本文通过对电感耦合高频放电管中电磁场分布的数学推导，阐明了高频放电等离子体的产生机理。

电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)测定稀土镁合金中锆

以硝酸和硫酸溶解样品,通过选择元素间无干扰的光谱线343.823nm作为Zr的分析线,采用镁基体匹配,用电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)测定了稀土镁合金中锆,检出限为0.002μg/mL,方法用于稀土镁合金中锆的测定,加标回收率为103.5%,11次平行测定的相对标准偏差为0.8%。

电感耦合等离子体质谱测定不同酒类中铬、砷、镉、汞、铅含量

应用微波消解处理酒样，不经富集直接用ICP—MS测定Cr、As、Cd、Hg、Pb含量，方法快速，干扰少．测定的33种不同酒样中Cr、As、Cd、Hg、Pb的含量均值分别为45．84、19．53、2．22、1．92μg·kg^-1和115．06μg·kg^-1，其中白酒中含量最高，葡萄酒和啤酒居次，黄酒含量最低．Cr、As、Cd、Hg、Pb的检出限分别为0．063、0．082、0．007、0．001μg·L^-1和0．080μg·L^-1，各元素的加标回收率基本在90%～110％，RSD（n=10）在0．25％～6．76％．

电感耦合等离子体原子发射光谱法测定海绵钛中铁硅锰镁

报告了用硫酸和硝酸溶解样品，然后用电感耦合等离子体原子发射光谱法测定海绵钛中铁、硅、锰和镁的方法。测定时分别选择238．204nm，251．611nm，257．610nm和279．553nm作为铁、硅、锰、镁的分析线，光谱干扰通过对背景发射位移进行2-点校正办法消除。精密度试验表明，对同一样品进行10次测定得到各元素相对标准偏差均小于或等于5％。用标准加入法做了回收率试验，所得回收率在90％～130％之间。

激光烧蚀-电感耦合等离子体质谱技术在材料表面微区分析领域的应用进展

激光烧蚀-电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)技术不仅可以对导体及非导体进行元素的成分含量分析,而且还可进行元素分布及涂层深度表面微区分析,故在元素分析领域引起广泛的关注。主要介绍了LA-ICP-MS的仪器装置及其表面微区分析理论,同时对LA-ICP-MS在钢铁、有色金属及半导体等材料科学领域中的元素分布及涂层深度表面微区分析应用进展情况进行回顾,与SEM/EDS(扫描电子显微镜/能谱仪)、EPMA(电子探针微区分析)、AES(俄歇电子能谱)等传统经典的表面分析方法的比较,LA-ICP-MS具有无需或很少样品制备、空间分辨率可调、多元素同时分析及灵敏度高等优点,目前LA-ICP-MS已成为这些经典表面微区分析工具强有力的补充。随着LA-ICP-MS分析技术进一步的发展与成熟,相信不久的将来越来越多的元素分析工作者会使用这一强有力的分析工具,它像LIBS(激光诱导击穿光谱)一样,将会成为元素分析领域非常耀眼的一颗新星。

锡试金-电感耦合等离子体质谱法测定铬铁矿石中铂族元素

采用锡试金富集、盐酸溶解锡扣，建立了电感耦合等离子体质谱法（ICP—MS）测定铬铁矿石中铂族元素的方法。结果表明，选用15gsn粉，30gNa2CO3，20gK2CO3，20gSiO2，40g硼砂，10g面粉，5gCaO，2gCaF2，5gNaCl作为试金配料的组分，在1100℃进行熔矿，可以得到合格的锡扣；选择195Pt、105Pd．101Ru、103Rh、189Os和193Ir为待测元素同位素，以Lu（10ng／mL）校正了基体效应和信号漂移的影响。方法检出限（以下单位均为ng／g）分别为：0．18（铂）、0．21（钯）、0．15（钌）、0．15（铑）、0．12（锇）、0．15（铱）。采用方法对铬铁矿石成分分析标准物质GBW07201和GBW07202进行测定，结果与认定值一致，各元素的相对标准偏差（RSD，n=12）在1％～10％之间。