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题名表面电晕预电离与火花预电离之比较
被引量:4
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作者
胡孝勇
曲彦臣
任德明
刘逢梅
赵景山
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机构
哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室
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出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期382-384,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目 (No .698780 0 5)
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文摘
本文报道了表面电晕预电离与火花预电离的比较结果。针式火花预电离源利用热电弧发出强烈的紫外光 ,其发射光谱范围从可见光连续延伸到紫外。表面电晕预电离源 ,通过介质极化发射电子 ,在预电离电路中产生电晕电流 ,其强度决定了发射光子的数量 ,而发射电子的能量分布确定辐射的光谱分布 ,其发射光谱分布不连续。对两种预电离源的放电电压和电流进行测量 ,得到瞬态信息。计算得到火花预电离源中消耗的能量约是表面电晕预电离源的 4 0 0倍。比较分析可知 。
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关键词
表面电晕预电离
火花预电离
发射光谱
转换效率
二氧化碳激光器
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Keywords
Surface corona,Emitting spectra,Pre ionization,Conversion efficiency
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分类号
TN248.22
[电子电信—物理电子学]
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题名准分子激光加工系统
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出处
《光机电信息》
1995年第5期34-34,共1页
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关键词
激光加工
准分子激光加工系统
日本三菱电机公司
准分子激光
多重反射光学系统
电晕预电离
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名固体开关小能量准分子激光器的设计与实验研究
被引量:6
- 3
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作者
游利兵
梁勖
余吟山
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机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期370-373,共4页
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基金
中国科学院安徽光学精密机械研究所所长基金(130500010301)资助项目
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文摘
准分子器件重复频率高于千赫兹时,闸流管作为传统的放电开关由于寿命瓶颈而不能满足长期稳定工作的要求。采用固体开关结合磁脉冲压缩技术的固态脉冲功率模块(SSPPM)来替代闸流管进行高压快速放电,激光器可在高重复频率下长寿命运行。设计了无闸流管的固体开关小能量准分子激光器,其核心技术是基于SSPPM的应用,并采用金属-陶瓷结构腔体和电晕预电离以延长气体工作寿命。电极放电电压10~14 kV,电压上升时间约150 ns,抽运功率密度3.9~7.6 MW/cm^3。ArF运转时,获得最大单脉冲能量11 mJ激光输出,最高重复频率300 Hz。其输出指标可满足当前准分子眼科设备、光谱学研究等需要。
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关键词
激光器
准分子
固态脉冲功率模块
金属-陶瓷结构
电晕预电离
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Keywords
lasers
excimer
solid state pulse power module
metal-ceramic configuration
corona pre-ionization
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分类号
TN248.2
[电子电信—物理电子学]
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题名横向激励多功能气体激光器
- 4
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作者
刘金授
朱萍
肖虹
包振华
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机构
南京工学院激光研究室
南京江浦仪器厂
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出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
1989年第4期167-169,166,共4页
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文摘
该器件采用电晕预电离技木,只要调换工作气体和相应的反射镜,就可以分别作为 TEA CO_2激光器、N_2激光器和 XeCl 准分子激光器。文中对器件结构和工作特性进行了讨论。
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关键词
气体激光器
电晕预电离
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分类号
TN248.2
[电子电信—物理电子学]
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