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电极沉积技术介绍
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作者 古贺哲郎 蔡千华 《新能源》 1989年第11期33-37,共5页
关键词 电极沉积技术 海洋资源 开发利用
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限流BaTiO_3陶瓷PTCR元件化学沉积欧姆电极的研究 被引量:2
2
作者 周东祥 张道礼 +1 位作者 龚树萍 黎步银 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期298-298,301,共2页
本文对程控交换机用过流保护BaTiO3陶瓷PTCR元件不同化学沉积镍和铜电极的耐工频电流冲击性能和稳定性进行了比较研究,对所得结果进行了充分的讨论。
关键词 PTCR 陶瓷 欧姆接触 化学沉积电极 程控交换机
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基于光诱导电化学沉积的金属微电极加工方法
3
作者 关涛 丛培田 刘柱 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第5期650-654,共5页
纳米材料具有独特的物理化学性质,在纳米电子器件和生物传感等方面显示了巨大的应用潜力。基于二维纳米材料的器件,需要利用金属电极来构建传感器或者场效应晶体管结构。目前,已有一些方法来制备金属电极,如光刻、聚焦离子束及纳米压印... 纳米材料具有独特的物理化学性质,在纳米电子器件和生物传感等方面显示了巨大的应用潜力。基于二维纳米材料的器件,需要利用金属电极来构建传感器或者场效应晶体管结构。目前,已有一些方法来制备金属电极,如光刻、聚焦离子束及纳米压印等方法,但是这些方法通常需要昂贵的设备,并且操作非常复杂。提出采用基于光诱导的金属纳米电极沉积方法,通过对多个实验参数(包括输入交流电信号的频率、幅值、溶液浓度以及氢化非晶硅层厚度)的分析,得到了优化的金属电极沉积条件。在此基础上,利用光学显微镜、原子力显微镜和扫描电子显微镜对制备的金属电极进行了表征。 展开更多
关键词 光诱导电化学反应 金属微电极 原子力显微镜 电极沉积
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电沉积锌电极的性能 被引量:3
4
作者 陈雪梅 刘春 +1 位作者 裴东 景义军 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第12期816-818,共3页
研究了不同电解液种类、不同添加剂对电沉积锌电极性能的影响,考察了电沉积锌电极的大功率工作性能。通过实验表明:采用ZnO饱和密度为1.25g·cm-3的KOH水溶液作为电解质溶液,选用添加剂Ⅰ,当电沉积电流密度为100mA·cm-2时,电... 研究了不同电解液种类、不同添加剂对电沉积锌电极性能的影响,考察了电沉积锌电极的大功率工作性能。通过实验表明:采用ZnO饱和密度为1.25g·cm-3的KOH水溶液作为电解质溶液,选用添加剂Ⅰ,当电沉积电流密度为100mA·cm-2时,电沉积出的锌电极可以在大功率锌银蓄电池中应用。实验电池以240mA·cm-2放电,循环7周期,活性物质利用率达到54%。 展开更多
关键词 添加剂 沉积电极 锌银蓄电池
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化学沉积电极与BaTiO_3系PTCR半导瓷的欧姆接触 被引量:2
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作者 张道礼 周东祥 +2 位作者 姜胜林 汪小红 龚树萍 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期26-30,共5页
研究了在 Ba Ti O3系 PTCR半导体陶瓷上化学沉积镍和铜电极的接触电阻及稳定性 ,并与烧渗 Ag-Zn、烧渗 Al电极进行了比较。根据实验结果 ,用量子力学从理论上讨论了欧姆接触的可能模型 ,提出场发射是金属-半导体陶瓷形成欧姆接触的机理... 研究了在 Ba Ti O3系 PTCR半导体陶瓷上化学沉积镍和铜电极的接触电阻及稳定性 ,并与烧渗 Ag-Zn、烧渗 Al电极进行了比较。根据实验结果 ,用量子力学从理论上讨论了欧姆接触的可能模型 ,提出场发射是金属-半导体陶瓷形成欧姆接触的机理之一。陶瓷表面经过处理后 ,元件的电性能要发生一些变化 。 展开更多
关键词 PTCR半导体陶瓷 化学沉积 化学沉积 欧姆接触 场发射 钛酸钡系 化学沉积电极
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甲醇在聚苯胺修饰铂钼共沉积电极上的催化氧化 被引量:3
6
作者 黄青丹 黄红良 +1 位作者 林志勇 李伟善 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1108-1111,1117,共5页
用恒电位法和循环伏安法在铂电极上分别制备了聚苯胺修饰的分散氢钼青铜电极和分散铂电极,以及聚苯胺修饰的不同铂钼比例的铂与氢钼青铜共沉积电极。用循环伏安法研究了制备电极在c(H2SO4)=0.5mol/L水溶液中的电化学行为,以及对c(CH3OH)... 用恒电位法和循环伏安法在铂电极上分别制备了聚苯胺修饰的分散氢钼青铜电极和分散铂电极,以及聚苯胺修饰的不同铂钼比例的铂与氢钼青铜共沉积电极。用循环伏安法研究了制备电极在c(H2SO4)=0.5mol/L水溶液中的电化学行为,以及对c(CH3OH)=0.1 mol/L的催化氧化行为。其中,分散氢钼青铜电极对甲醇无催化氧化的作用,铂与氢钼青铜共沉积电极对甲醇的催化氧化效果优于分散铂电极。铂-氢钼青铜共沉积电极对甲醇氧化的催化能力与共沉积铂钼的比例有关,当制备电极所用的溶液中n(氯铂酸)∶n(钼酸钠)=2∶1时,共沉积电极对甲醇的催化氧化活性最高,此时甲醇在共沉积电极上的氧化峰电流是单纯铂电极的2.632倍。 展开更多
关键词 直接甲醇燃料电池 催化氧化 聚苯胺修饰的铂与氢钼青铜共沉积电极
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硝酸铀酰溶液中不锈钢电极表面沉积氧化膜的行为研究
7
作者 廖俊生 孙颖 +4 位作者 陆春海 丁平 郎定木 伏晓国 肖红 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 2003年第5期282-285,共4页
用动电位极化法研究了不锈钢 (1Cr17)电极在NaCl-UO2 (NO3 ) 2 溶液中的电化学行为 .在阴极反应区 ,由于氢的不断释放 ,导致铀酰离子在不锈钢电极上析出 .随着极化电位向阳极区移动 ,不锈钢电极发生阳极氧化 ,形成了氧化铀沉积膜 .SEM... 用动电位极化法研究了不锈钢 (1Cr17)电极在NaCl-UO2 (NO3 ) 2 溶液中的电化学行为 .在阴极反应区 ,由于氢的不断释放 ,导致铀酰离子在不锈钢电极上析出 .随着极化电位向阳极区移动 ,不锈钢电极发生阳极氧化 ,形成了氧化铀沉积膜 .SEM对析出物和沉积膜的形貌进行了分析 .AES深度剖析沉积膜的厚度约为 40nm .XPS分析证实不锈钢腐蚀电极表面沉积膜中铀为U(Ⅵ ) . 展开更多
关键词 硝酸铀酰溶液 不锈钢 动电位极化表面分析 电极表面沉积氧化膜 电化学行为
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甲醇在欠电位沉积Ru修饰Pt电极上的催化氧化 被引量:7
8
作者 李兰兰 魏子栋 +3 位作者 严灿 罗义辉 尹光志 孙才新 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第5期723-727,共5页
采用欠电位沉积(upd)方法在Pt表面沉积亚单层的Ru制备出upd-Ru/Pt电极.通过欠电位沉积前后电极在0.5mol·L^(-1)H_2SO_4溶液中循环伏安图-152-128mV(vsAg/AgCl)电位范围内对氢区的数值积分确定Pt表面Ru的覆盖度.用电化学方法测试了... 采用欠电位沉积(upd)方法在Pt表面沉积亚单层的Ru制备出upd-Ru/Pt电极.通过欠电位沉积前后电极在0.5mol·L^(-1)H_2SO_4溶液中循环伏安图-152-128mV(vsAg/AgCl)电位范围内对氢区的数值积分确定Pt表面Ru的覆盖度.用电化学方法测试了甲醇在upd-Ru/Pt电极上的催化氧化,并讨论分析了欠电位沉积电位和Ru的表面覆盖度对甲醇氧化的影响.结果表明,Ru能够欠电位沉积到Pt表面.Pt表面欠电位沉积少量的Ru即能大大促进甲醇的氧化.只要控制upd-Ru的沉积量,upd-Ru原子就能大大促进甲醇氧化而与沉积电位无关.Ru原子对甲醇氧化的促进作用与Ru和Pt是否形成合金无关,而取决于Ru在Pt表面的百分含量. 展开更多
关键词 欠电位沉积 甲醇电化学氧化 欠电位沉积(upd)-Ru/Pt电极
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甲醇在铂-氢钼青铜共沉积电极上的催化氧化
9
作者 黄青丹 黄红良 +1 位作者 林志勇 李伟善 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期60-63,共4页
用循环伏安法在玻炭电极上制备了不同含量的铂电极和铂-氢钼青铜共沉积电极,研究了制备电极时的循环次数对制备电极的真实铂面积及甲醇氧化行为的影响。结果表明:单纯沉积铂电极的真实铂面积随着循环次数的增加而增加,并且沉积铂电极对... 用循环伏安法在玻炭电极上制备了不同含量的铂电极和铂-氢钼青铜共沉积电极,研究了制备电极时的循环次数对制备电极的真实铂面积及甲醇氧化行为的影响。结果表明:单纯沉积铂电极的真实铂面积随着循环次数的增加而增加,并且沉积铂电极对甲醇的催化活性只取决于铂的真实面积;铂-氢钼青铜共沉积电极对甲醇氧化的催化能力与共沉积铂钼的比例有关,当制备电极所用的溶液中氯铂酸与钼酸钠的摩尔比为2!1时,共沉积电极的催化活性最高,此时甲醇在共沉积电极上的氧化峰电流是单纯铂电极的1.63倍。通过考察甲醇氧化峰电流对电极的铂真实表面积和沉积氢钼青铜量的依赖关系后发现,沉积氢钼青铜对铂的催化活性有双重作用。一是分散作用,沉积氢钼青铜使沉积铂更加分散,增大了铂的真实表面积;二是质子溢出效应,氢钼青铜通过不同质子含量的氧化还原电对,HyMO3/HxMO3(y<x<2),不断结合质子使铂表面的吸附中间体更易氧化。 展开更多
关键词 电催化氧化 甲醇 电极 铂-氢钼青铜共沉积电极 电极催化剂 直接甲醇燃料电池
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碳纳米管-电沉积Co修饰电极在抗坏血酸存在下同时测定多巴胺和尿酸 被引量:1
10
作者 李珠叶 张萍 刘传银 《郧阳师范高等专科学校学报》 2016年第6期27-33,共7页
采用滴涂法和循环伏安法(CV)将碳纳米管和Co修饰到玻碳电极表面,得到碳纳米管-电沉积Co修饰电极,研究了多巴胺(DA)、尿酸(UA)在碳纳米管-电沉积Co修饰电极上的电化学响应.结果表明,在0.1mol/L磷酸缓冲液(pH=6)中,DA、UA在该电极上均显... 采用滴涂法和循环伏安法(CV)将碳纳米管和Co修饰到玻碳电极表面,得到碳纳米管-电沉积Co修饰电极,研究了多巴胺(DA)、尿酸(UA)在碳纳米管-电沉积Co修饰电极上的电化学响应.结果表明,在0.1mol/L磷酸缓冲液(pH=6)中,DA、UA在该电极上均显示出良好的电化学响应,碳纳米管-电沉积Co修饰的玻碳电极能够将DA和UA的氧化峰电位明显分开,两者峰电位差为124mV,并且可以在抗坏血酸(AA)存在下同时测定DA和UA.该修饰电极选择性好、稳定性高,可以实现AA存在下DA和UA共存时两种物质的定量检测. 展开更多
关键词 多巴胺 尿酸 抗坏血酸 碳纳米管-电沉积钴修饰电极
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去甲肾上腺素在碳纳米管-电沉积镍修饰电极上的准可逆响应及其分析应用
11
作者 佘雨 石恩永 刘传银 《汉江师范学院学报》 2018年第3期15-20,共6页
去甲肾上腺素(NE)是人体内的一种重要的神经递质.研究了去甲肾上腺素在电沉积镍-碳纳米管修饰电极上的电化学响应.结果表明,在0.1 mol/L磷酸缓冲液(pH=5)中,NE在该电极上显示出良好的电化学响应,其峰电位差为51mV,峰电流与扫速成正比,表... 去甲肾上腺素(NE)是人体内的一种重要的神经递质.研究了去甲肾上腺素在电沉积镍-碳纳米管修饰电极上的电化学响应.结果表明,在0.1 mol/L磷酸缓冲液(pH=5)中,NE在该电极上显示出良好的电化学响应,其峰电位差为51mV,峰电流与扫速成正比,表明NE在该电极上的电化学过程受吸附控制.优化了实验条件,根据其不同扫速下的峰电位与扫速对数的关系,可以确定其在该电极上的电子转移系数为0.021s^(-1).在该电极上,NE峰电流与浓度在1×10^(-6)-2.4×10^(-4) mol/L范围内呈现良好线性关系,可以用于NE的测定.用该方法对模拟样品和实际样品进行了测定,回收率在95.2%-102.4%之间. 展开更多
关键词 去甲肾上腺素 沉积镍-碳纳米管修饰电极 准可逆响应
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高纯钨和化学气相沉积钨的特性和应用 被引量:5
12
作者 Yoshihiko Doi 刘光俊 《中国钨业》 CAS 1995年第5期21-23,共3页
一、绪言采用传统的还原方法能够生产5个九纯度的钨粉.该纯度的钨粉主要用于制取高质量的 Ti-W 和 WSi<sub>2</sub>合金,这些合金是半导体溅射靶的不可缺少的原材料。大规模集成电路(LSI)上的沉积电极和屏蔽所用的溅射靶... 一、绪言采用传统的还原方法能够生产5个九纯度的钨粉.该纯度的钨粉主要用于制取高质量的 Ti-W 和 WSi<sub>2</sub>合金,这些合金是半导体溅射靶的不可缺少的原材料。大规模集成电路(LSI)上的沉积电极和屏蔽所用的溅射靶是采用热压合金粉末和机加工压制品制造的。 展开更多
关键词 化学气相沉积 高纯钨 粉末冶金 超大规模集成电路 溅射靶 高质量 沉积速度 纯度 钨粉 沉积电极
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TiB_2涂层制备及其性能的研究进展 被引量:9
13
作者 程汉池 栗卓新 崔丽 《航空制造技术》 2005年第8期78-81,87,共5页
TiB2涂层以其耐磨、耐高温等优异性能及广阔的应用前景得到广泛关注。本文综述了国内外近年来TiB2涂层制备方法及其性能的研究进展,并着重对激光表面改性和热喷涂制备TiB2涂层进行了介绍,指出了目前TiB2涂层制备中存在的问题及今后的研... TiB2涂层以其耐磨、耐高温等优异性能及广阔的应用前景得到广泛关注。本文综述了国内外近年来TiB2涂层制备方法及其性能的研究进展,并着重对激光表面改性和热喷涂制备TiB2涂层进行了介绍,指出了目前TiB2涂层制备中存在的问题及今后的研究方向。 展开更多
关键词 TIB2涂层 制备方法 激光表面改性 热喷涂 化学气相沉积 物理气相沉积 电化学沉积 溶胶涂敷法 脉冲电极沉积 高温氧化性 摩擦学性能
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TiB_2/Ni coatings on surface of copper alloy electrode prepared by electrospark deposition 被引量:13
14
作者 罗成 熊翔 董仕节 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第2期317-321,共5页
In order to improve the lifespan of spot-welding electrodes used for welding zinc coated steel sheets, titanium diboride was deposited onto their surface after precoating nickel as an intermediate layer. The microstru... In order to improve the lifespan of spot-welding electrodes used for welding zinc coated steel sheets, titanium diboride was deposited onto their surface after precoating nickel as an intermediate layer. The microstructures and phase compositions of TiB2 and Ni coatings were characterized by SEM and XRD. The coating hardness was measured using a microhardness tester. The results indicate that a satisfactory TiB2 coating is obtained as a result of the intermediate nickel layer acting as a good binder between the TiB2 coating and the copper alloy substrate. Owing to its capacity of deforming, the precoated nickel layer is dense and crack free, while cracks and pores are observed in the TiB2 coating. The hardness of the TiB2/Ni coating decreases with the increase of voltage and capacitance because of the diffusion of copper and nickel and the oxidation of the coating materials. Because of the good thermal and electrical conductivities and high hardness properties of TiB2, the deformation of the electrode with TiB2/Ni coating is reduced and its spot-welding life is by far prolonged than that of the uncoated one. 展开更多
关键词 titanium diboride electrospark deposition COPPER ELECTRODE NICKEL COATING
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Effects of surface roughness of substrate on properties of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings 被引量:6
15
作者 林松盛 周克崧 +6 位作者 代明江 胡芳 石倩 侯惠君 韦春贝 李福球 佟鑫 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期451-456,共6页
Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings were deposited on Cr_17Ni_2 steel substrates with different surface roughnesses by vacuum cathodic arc deposition method. Microstructure, micro-hardness, adhesion strength and cross-s... Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings were deposited on Cr_17Ni_2 steel substrates with different surface roughnesses by vacuum cathodic arc deposition method. Microstructure, micro-hardness, adhesion strength and cross-sectional morphology of the obtained multilayer coatings were investigated. The results show that the Vickers hardness of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coating, with a film thickness of 11.37 μm, is 29.36 GPa. The erosion and salt spray resistance performance of Cr_17Ni_2 steel substrates can be evidently improved by Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coating. The surface roughness of Cr_17Ni_2 steel substrates plays an important role in determining the mechanical and erosion performances of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings. Overall, a low value of the surface roughness of substrates corresponds to an improved performance of erosion and salt spray resistance of multilayer coatings. The optimized performance of Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings can be achieved provided that the surface roughness of Cr_17Ni_2 steel substrates is lower than 0.4μm. 展开更多
关键词 Ti/TiN/Zr/ZrN multilayer coatings surface roughness sand erosion resistance corrosion resistance vacuum cathodicarc deposition TIN ZRN
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Pseudo-capacitive Behavior of Cobalt Hydroxide/Carbon Nanotubes Composite Prepared by Cathodic Deposition 被引量:2
16
作者 王晓峰 阮殿波 尤政 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第6期499-505,共7页
A novel type of composite electrode based on nmltiwalled carbon nanotubes coated with sheet-like cobalt hydroxide particles was used in supercapacitors. Cobalt hydroxide cathodlcally deposited fiom Co(NO3)O2 solutio... A novel type of composite electrode based on nmltiwalled carbon nanotubes coated with sheet-like cobalt hydroxide particles was used in supercapacitors. Cobalt hydroxide cathodlcally deposited fiom Co(NO3)O2 solution with carbon nanotubes as matrix exhibited large pseudo-capacitance of 322 F/g in 1 mol/L KOH. To characterize the cobalt hydroxide nanocomposite electrode, a charge-discharge cycling test, cyclic voltammetry, and an impedance test were done. This cobalt hydroxide composite exhibiting excellent pseudo-capacitive behavior (i.c. high reversibility, high specific capacitance, low impedance), was demonstrated to be a candidate for the application of electrochemical supercapacitors. A combined capacitor consisting of cobalt hydroxide composite as a cathode and activated carbon fiber as an anode was reported. The electrochemical pcrformance of the combined capacitor was characterized by cyclic voltammetry and a dc charge/discharge test. The combined capacitor showed ideal capacitor behavior with an extended operating voltage of 1.4 V. According to the extended operating voltage, the energy density of the combined capacitor at a current density of 100 mA/cm^2 was found to be 11 Wh/kg. The combined capacitor exhibited high-energy density and stable power characteristics, 展开更多
关键词 Cobalt hydroxide Carbon nanotubes NANOCOMPOSITE Cathodic deposition SUPERCAPACITOR
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Effect of Magnetic Field on Properties of AuPt Particles Magneto- electrodeposited on Carbon Paper 被引量:1
17
作者 张锦秋 李达 +3 位作者 陈苗苗 安茂忠 杨培霞 王鹏 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2014年第6期704-710,I0004,共8页
AuPt nano particles are bi-functional catalysts for Oxygen Reduction Reaction (ORR) and Oxygen Evolution Reaction (OER) that were taken place on air electrodes in lithium air batteries. Magnetic field has been app... AuPt nano particles are bi-functional catalysts for Oxygen Reduction Reaction (ORR) and Oxygen Evolution Reaction (OER) that were taken place on air electrodes in lithium air batteries. Magnetic field has been applied during electrodeposition for the preparation of AuPt particles. With the increase of the magnetic flux density under constant current density, the grain size decreases from - 1μm to 200nm and the activity of the AuPt catalyst increases. The magnetic field oriented vertical to the electric field has a promotion effect on increasing the catalytic ability of AuPt/carbon electrode. By pulse plating, the grain size decreases to about 100nm. By adjusting parameters of the electric field and the magnetic field, controllable in-situ preparation of AuPt catalyst with various morphology and catalytic activity could be achieved. 展开更多
关键词 Magneto-electrodeposition CATALYST Lithium-air battery Air electrode Pulse plating
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Preparation of gradient wettability surface by anodization depositing copper hydroxide on copper surface 被引量:1
18
作者 程江 孙逸飞 +2 位作者 赵安 黄子恒 徐守萍 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第7期2301-2307,共7页
A facile route for preparation of gradient wettability surface on copper substrate with contact angle changing from 90.3°to4.2°was developed.The Cu(OH)2 nanoribbon arrays were electrochemically deposited o... A facile route for preparation of gradient wettability surface on copper substrate with contact angle changing from 90.3°to4.2°was developed.The Cu(OH)2 nanoribbon arrays were electrochemically deposited on copper foil via a modified anodization technology,and the growth degree and density of the Cu(OH)2 arrays may be controlled varying with position along the substrate by slowly adding aqueous solution of KOH into the two-electrode cell of an anodization system to form the gradient surface.The prepared surface was water resistant and thermal stable,which could keep its gradient wetting property after being immersed in water bath at 100℃ for 10 h.The results of scanning electron microscopy(SEM),X-ray diffraction(XRD) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) demonstrate that the distribution of Cu(OH)2 nanoribbon arrays on copper surface are responsible for the gradient wettability. 展开更多
关键词 gradient wettability surface Cu(OH)2 nanoribbon array anodization depositing contact angle
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Pulsed electrodeposition of hydroxyapatite on titanium substrate in solution containing hydrogen peroxide 被引量:1
19
作者 陈星宇 赵中伟 +1 位作者 陈爱良 李洪桂 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2007年第3期617-621,共5页
Hydroxyapatite(HAP) coatings were prepared on the titanium substrate in the electrolyte containing H2O2 by the pulse electrodeposition. The introduction of H2O2 restrains the evolution of H2 and improves the adhesive ... Hydroxyapatite(HAP) coatings were prepared on the titanium substrate in the electrolyte containing H2O2 by the pulse electrodeposition. The introduction of H2O2 restrains the evolution of H2 and improves the adhesive strength between coatings and substrate. The results of pulse electrodeposition show that the relaxation time of the pulse is beneficial to growth of HAP because it makes ions diffuse from bulk to the surface of electrode and reduces concentration polarization in the next pulse time. It is beneficial to the increase of the duty circle of the pulse for deposition of HAP, but the result is not good if it is increased excessively. With increasing potential, it is good for the growth of HAP coatings. If the potential is too high, it is easy for HAP coatings to drop off during the process of electrodeposition under too intensive polarization, such as -1.0 V (vs SCE), and there is not many coatings on the substrate. The combination of pulse electrodeposition and addition of hydrogen peroxide can assuredly improve the physico-chemical properties of hydroxyapatite coatings. 展开更多
关键词 脉冲电极沉积 恒电势 羟磷灰石 钛基质
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STUDY ON DIAMOND LIKE CARBON THIN FILM BY FILTERED VACUUM ARC DEPOSITION
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作者 朱纪军 左敦稳 王珉 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI 1999年第1期102-106,共5页
Diamond like carbon thin film is successfully deposited on silicon, titanium and stainless steel substrate at low temperature in a filtered vacuum arc deposition system. Arc discharges are established on a graphite ... Diamond like carbon thin film is successfully deposited on silicon, titanium and stainless steel substrate at low temperature in a filtered vacuum arc deposition system. Arc discharges are established on a graphite cathode in the system with a toroidal macroparticle filter. A cathode activating magnetic field and a filtered magnetic field to collimate the plasma beam are applied. Ion current convected by the plasma beam is measured with a negatively biased probe. It is shown that the magnetic field of the coils located on the plasma duct has a strong influence on cathode spot behavior. Orthogonally the designed experiments are carried out to optimize the deposition parameters of arc stability. Finally, the diamond like carbon thin films are studied by scanning electron microscope (SEM) and Raman spectrum. 展开更多
关键词 diamond like carbon thin film filtered vacuum arc deposition
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