制氟电槽爆鸣原因分析及消除方法

分析了SF_6生产工艺中制氟电槽产生爆鸣的原因:H_2与O_2相混、H_2与F_2相混、F_2与其它物质反应。从工艺控制和工艺技术改造方面提出了消除爆鸣的方法。