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基于非对称液压缸的闭式电液作动器性能研究
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作者 郑敬坤 廖健 +1 位作者 陈宗斌 王迎春 《舰船科学技术》 北大核心 2023年第4期103-108,共6页
非对称液压缸工作时具有占用空间小、出力大、可靠性高等优点,约80%的液压系统均使用非对称液压缸。由于非对称液压缸两侧的有效作用面积不等,两腔进出口流量不相等,导致负载方向发生变化时,作动器会出现速度和压力振荡,严重影响电液作... 非对称液压缸工作时具有占用空间小、出力大、可靠性高等优点,约80%的液压系统均使用非对称液压缸。由于非对称液压缸两侧的有效作用面积不等,两腔进出口流量不相等,导致负载方向发生变化时,作动器会出现速度和压力振荡,严重影响电液作动器的可靠性与稳定性等技术指标。首先,在对非对称式电液作动器产生速度和压力振荡的原因进行理论分析的基础上,开展对基于非对称液压缸的闭式电液作动器液压系统架构研究,提出新的系统架构,对作动器的四象限工作特性以及稳定性进行分析。最后,在AMEsim平台上搭建作动器模型,分析作动器在负载换向时的动态特性及稳定性。结果表明,本文提出的作动器模型具有良好的稳定性,对推进非对称式电液作动器的广泛应用具有重要意义。 展开更多
关键词 AMESIM 非对称式电液作动器 不对称流量 速度振荡
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基于电液作动器技术的机器人关节微型驱动系统 被引量:2
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作者 陈乃建 张进华 +1 位作者 艾长胜 宋方臻 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期203-209,共7页
针对机器人要求驱动器结构紧凑、输出力矩大、响应快速等,提出了一种基于电液作动器技术的机器人关节微型驱动系统。该系统将电动机、泵及负载融为一体,结构简单,布置灵活,能提供较大的系统压力。在磁路分析基础上,建立了电磁式脉冲柱... 针对机器人要求驱动器结构紧凑、输出力矩大、响应快速等,提出了一种基于电液作动器技术的机器人关节微型驱动系统。该系统将电动机、泵及负载融为一体,结构简单,布置灵活,能提供较大的系统压力。在磁路分析基础上,建立了电磁式脉冲柱塞泵模型及等效电路,描述了磁场分布及活塞运动对电磁系统的影响。基于机、电、液一体化特征,建立了关节驱动系统工作过程仿真模型,探讨了负载与系统电流的变化关系。仿真及实验结果表明:该系统能够提供最大2.5 MPa负载压力,能够在0~2.4 MPa压力范围内稳定工作,系统压力响应达到1.2 MPa/s,能够满足机器人关节的工作需要。 展开更多
关键词 关节 微型驱系统 电液作动器
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一体化电液作动器容错结构设计 被引量:5
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作者 马纪明 付永领 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期920-924,共5页
一体化电液作动器(EHA,Electrical Hydrostatic Actuator)是功率电传(PBW,Power by Wire)飞控操纵系统的一部分,为了保证整个飞控系统的可靠度,必须采用多余度结构配置.飞控系统分别从可靠度、任务成功率、余度和故障管理水平以及性能... 一体化电液作动器(EHA,Electrical Hydrostatic Actuator)是功率电传(PBW,Power by Wire)飞控操纵系统的一部分,为了保证整个飞控系统的可靠度,必须采用多余度结构配置.飞控系统分别从可靠度、任务成功率、余度和故障管理水平以及性能、重量等角度提出了EHA的设计指标要求,并按照设计指标要求,对EHA各个组成部分的失效率进行了计算.根据计算结果,针对一种可行的EHA容错结构,分别计算了由于EHA故障导致的任务中断率(PMA,Probability of Mission abort)和失控率(PLOC,Probability of Loss of Control).计算结果表明此种结构形式能够满足飞控系统对作动器可靠度的要求.最后根据选用的可靠度模型,设计出具有容错能力的多余度作动系统,并对此容错结构进行了详细阐述. 展开更多
关键词 功率电传 电液作动器 余度 可靠度
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2MW风力机液压变桨电液作动器系统设计与仿真研究 被引量:4
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作者 杨瑞 马超善 +3 位作者 杨胜兵 孙霞阳 陈月娟 岳一轩 《液压气动与密封》 2020年第6期5-10,15,共7页
根据bladed风力机载荷计算软件得到2MW风力机叶片扭转载荷,设计了一种适用于统一变桨的变桨电液作动器系统,运用AMESim软件搭建机械系统、液压系统、电机控制及电子系统,通过将叶片随风速变化的实际载荷加载到机械系统中,仿真正常关桨(-... 根据bladed风力机载荷计算软件得到2MW风力机叶片扭转载荷,设计了一种适用于统一变桨的变桨电液作动器系统,运用AMESim软件搭建机械系统、液压系统、电机控制及电子系统,通过将叶片随风速变化的实际载荷加载到机械系统中,仿真正常关桨(-2°~90°)和开桨(90°^-2°)、正常运行发电及紧急关桨工况,结果表明电液作动器系统在正常关桨和开桨、正常运行发电工况下可以平稳无超调的达到系统给定位置,在紧急关桨工况下可以在7 s内快速关桨,保证风力机运行安全。综上,电液作动器系统设计方案可行,能够满足2MW风力机统一变桨的变桨需求,为下一步试验平台搭建提供支持。 展开更多
关键词 风力机 电液作动器 设计 仿真
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基于模糊故障树的电液作动器可靠性分析 被引量:3
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作者 张宏艳 袁朝辉 《航空制造技术》 2011年第11期83-87,95,共6页
采用模糊故障树分析法,对引起"电液作动器输出不稳定"的各个因素进行系统分析,并建立了故障树。应用专家评分法对无统计资料的故障进行了概率估计,阐述了转换成模糊数的途径,将所有的底事件发生的概率表示为三角模糊数。应用... 采用模糊故障树分析法,对引起"电液作动器输出不稳定"的各个因素进行系统分析,并建立了故障树。应用专家评分法对无统计资料的故障进行了概率估计,阐述了转换成模糊数的途径,将所有的底事件发生的概率表示为三角模糊数。应用模糊数截集的方法,进而计算顶事件和各子系统的发生概率的置信区间和基本事件的模糊重要度,并指明了系统改进的方向,为大型复杂的作动器系统进行可靠性分析提供了参考。 展开更多
关键词 电液作动器 模糊故障树 专家判断 模糊概率
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基于输出反馈的电液作动器自适应指令滤波控制 被引量:3
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作者 叶宁 宋锦春 +1 位作者 高曦莹 于忠亮 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期1310-1315,共6页
针对电液作动器跟踪控制中存在的结构化和非结构化的不确定问题,本文提出了一种输出反馈自适应鲁棒指令滤波跟踪控制方法.该方法结合了改进的LuGre摩擦补偿技术和自适应鲁棒指令滤波控制技术.自适应法则用来处理结构化不确定性;控制器... 针对电液作动器跟踪控制中存在的结构化和非结构化的不确定问题,本文提出了一种输出反馈自适应鲁棒指令滤波跟踪控制方法.该方法结合了改进的LuGre摩擦补偿技术和自适应鲁棒指令滤波控制技术.自适应法则用来处理结构化不确定性;控制器鲁棒设计用来解决非结构化不确定性.除了位置信号外,速度、压力和摩擦力值均来自观测器,来自观测器的模型误差通过鲁棒设计进行补偿.指令滤波控制技术用来解决经典反步控制中固有的"复杂性爆炸"问题.控制器可以保证系统渐进稳定.通过对比实验证明了该方法在跟踪性能上的有效性. 展开更多
关键词 指令滤波控制 输出反馈 摩擦补偿 电液作动器 自适应鲁棒
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容积伺服电液作动器位置控制研究 被引量:2
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作者 闫桂山 金振林 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期94-100,共7页
针对容积伺服电液作动器位置高精度控制问题,建立电液作动器位置控制数学模型,提出三状态反馈与三状态顺馈控制策略。该控制策略通过三状态反馈补偿系统固有频率和阻尼比,并利用三状态顺馈实现极点配置,进而对控制器进行参数优化设计,... 针对容积伺服电液作动器位置高精度控制问题,建立电液作动器位置控制数学模型,提出三状态反馈与三状态顺馈控制策略。该控制策略通过三状态反馈补偿系统固有频率和阻尼比,并利用三状态顺馈实现极点配置,进而对控制器进行参数优化设计,有效提高系统的动态特性。搭建容积伺服电液作动器实验平台,针对所提出的控制方法进行实验验证。研究结果表明:所提出的容积伺服电液作动器位置控制方法具有较好的控制效果,可实现电液作动器的高精度控制,控制精度达±0.01 mm,将为电液作动器的工程推广与应用奠定良好的基础。 展开更多
关键词 容积伺服 电液作动器 位置控制 三状态反馈 三状态顺馈
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机载电液作动器驱动器的双余度控制 被引量:2
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作者 昃萌 王自强 周元钧 《电力电子》 2006年第1期21-23,20,共4页
机载静电液作动器将传统作动器的液压源驱动改为电能驱动,由电动泵直接驱动液压泵,具有结构简单、效率高和容错性强等优点,是多电飞机研究的重要内容。本文研究的静电液作动器的驱动部分,是采用了一种双绕组无刷直流电机,其定子绕组由... 机载静电液作动器将传统作动器的液压源驱动改为电能驱动,由电动泵直接驱动液压泵,具有结构简单、效率高和容错性强等优点,是多电飞机研究的重要内容。本文研究的静电液作动器的驱动部分,是采用了一种双绕组无刷直流电机,其定子绕组由电角度相差30o的两套绕组构成,并且由两套独立的电路驱动,从而实现电气双余度控制。文中提出了双余度系统的"故障——工作"的容错控制方式,说明了双余度控制的高可靠性。最后,给出实验结果,验证了双余度控制的优点。 展开更多
关键词 电液作动器 双余度 无刷直流电机 容错控制
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基于摩擦补偿的电液作动器高精度控制 被引量:1
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作者 董瑞佳 董嫔 谢强 《机床与液压》 北大核心 2022年第1期97-101,共5页
电液作动器因其集成度高、占用空间小,容易组成分布式集中控制系统,在航空航天与工程机械领域飞速发展,但是在低速运行工况下,由于摩擦力以及液压系统的非线性等因素,难以完成高精度轨迹跟踪工作甚至产生低速爬行。为此,从摩擦特性对电... 电液作动器因其集成度高、占用空间小,容易组成分布式集中控制系统,在航空航天与工程机械领域飞速发展,但是在低速运行工况下,由于摩擦力以及液压系统的非线性等因素,难以完成高精度轨迹跟踪工作甚至产生低速爬行。为此,从摩擦特性对电液作动器轨迹跟踪精度的影响出发,提出一种前馈补偿+ESO的控制策略,引入LuGre动态摩擦力中的鬃毛平均变形量,建立精确伺服系统状态空间方程,在Simulink平台上搭建摩擦力模型和泵控非对称缸模型,采用正弦位置指令对该解决方案的轨迹跟踪精度进行了仿真验证。结果表明:前馈补偿+ESO的控制策略跟踪误差仅为常规PID控制的1/4,跟踪精度达到0.2 mm。 展开更多
关键词 摩擦补偿 电液作动器 状态观测
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非对称式电液作动器研究进展
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作者 郑敬坤 廖健 +1 位作者 陈宗斌 王迎春 《舰船科学技术》 北大核心 2022年第17期106-113,共8页
非对称液压缸工作时具有占用空间小、出力大、可靠性高等优点,约80%的液压系统均使用非对称液压缸。由于非对称液压缸两侧的有效作用面积不等,两腔进出口流量不相等,导致负载方向发生变化时,作动器会出现速度和压力振荡,严重影响电液作... 非对称液压缸工作时具有占用空间小、出力大、可靠性高等优点,约80%的液压系统均使用非对称液压缸。由于非对称液压缸两侧的有效作用面积不等,两腔进出口流量不相等,导致负载方向发生变化时,作动器会出现速度和压力振荡,严重影响电液作动器的可靠性与稳定性等技术指标。针对流量不对称性问题,从作动器架构和控制策略2个方面,系统、全面综述非对称式电液作动器补偿流量不对称的策略,最后提出非对称电液作动器的发展方向和展望。 展开更多
关键词 非对称式电液作动器 流量不对称性 速度振荡
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基于模型的数字式电液作动器智能控制方法 被引量:1
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作者 赵天宇 吴帅 +2 位作者 李文顶 房成 傅俊勇 《飞控与探测》 2022年第1期48-56,共9页
针对数字式电液作动器的位置控制展开研究,提出了一种基于模型的算法,能够实时地对数字式电液作动器系统的状态进行预测,并根据预测的状态完成位置控制。在脉冲宽度调制(PWM)和脉冲数量调制(PNM)的基础上,改进了数字阀系统的控制方法,... 针对数字式电液作动器的位置控制展开研究,提出了一种基于模型的算法,能够实时地对数字式电液作动器系统的状态进行预测,并根据预测的状态完成位置控制。在脉冲宽度调制(PWM)和脉冲数量调制(PNM)的基础上,改进了数字阀系统的控制方法,建立了完整的数字式电液作动器系统模型,并通过软件联合仿真得到了作动器的控制结果。最终结果表明:采用基于模型的算法,能够使得作动器的追踪精度达到0.5mm。与传统方法相比,该方法逻辑简单,可行性强,控制效果较好。 展开更多
关键词 数字液压系统 高速开关阀 电液作动器 非线性控制 位置控制 独立负载控制
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基于严格反馈模型的电液伺服作动器控制策略研究
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作者 倪涛 吕博 +3 位作者 张泮虹 赵泽仁 孙旭 张红彦 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期928-937,949,共11页
主动悬架可根据车辆实时状态调节悬架参数,显著提高应急救援车辆救援效率,电液伺服作动器是电液伺服主动悬架系统实施主动控制的核心部件。对电液伺服作动器控制策略展开了研究,建立了主动悬架液压伺服作动器模型;基于该模型提出了基于... 主动悬架可根据车辆实时状态调节悬架参数,显著提高应急救援车辆救援效率,电液伺服作动器是电液伺服主动悬架系统实施主动控制的核心部件。对电液伺服作动器控制策略展开了研究,建立了主动悬架液压伺服作动器模型;基于该模型提出了基于严格反馈模型的自适应位置跟踪控制策略,并证明了该策略在Lyapunov意义下的稳定性。仿真和单缸实验验证表明,与传统控制方法相比,所提出的位置跟踪算法可有效提高电液伺服作动器的位置跟踪性能。 展开更多
关键词 三轴应急救援车辆 悬架 电液伺服 位置跟踪 自适应
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电液伺服作动器活塞杆抖动问题的几种原因分析
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作者 王振华 萧耀友 张万达 《科技创新与应用》 2023年第31期94-97,共4页
电液伺服作动器作为电液伺服系统工作中的关键执行机构,其性能稳定性对伺服系统乃至飞行控制系统具有重要影响。产品测试过程中,要求活塞杆运动平稳,然而在工程实例中,伺服作动器活塞杆抖动问题时有发生,结合电液伺服作动器及其组成部... 电液伺服作动器作为电液伺服系统工作中的关键执行机构,其性能稳定性对伺服系统乃至飞行控制系统具有重要影响。产品测试过程中,要求活塞杆运动平稳,然而在工程实例中,伺服作动器活塞杆抖动问题时有发生,结合电液伺服作动器及其组成部分的工作原理,对该问题进行细致的故障分析,并提出一些相应的解决措施。 展开更多
关键词 电液伺服 活塞杆抖 故障分析 原理 解决措施
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电液复合调节作动器的精确线性化建模与控制 被引量:4
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作者 郎燕 李运华 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1062-1066,共5页
针对经典泵控电液作动器固有频率低的问题,对原系统增加了一个新设计的总压力控制阀,它可保证作动筒两个工作腔的压力之和始终为一常数并使两腔压力可控,从而使泵控系统达到和阀控系统相当的固有频率.这种改进型作动器称为EHCA(Electro-... 针对经典泵控电液作动器固有频率低的问题,对原系统增加了一个新设计的总压力控制阀,它可保证作动筒两个工作腔的压力之和始终为一常数并使两腔压力可控,从而使泵控系统达到和阀控系统相当的固有频率.这种改进型作动器称为EHCA(Electro-Hy-draulic Compound regulating integrated Actuator).针对存在的相乘非线性控制问题,通过分析EHCA和总压力控制阀的工作原理,设计了基于精确线性化方法的滑模控制器,并分析了电机转速和变量泵排量在不同工况下的控制量大小配合问题.分析和仿真证明,该设计思想是有效实现高效率、节能和快响应的电液组合作动器方案. 展开更多
关键词 精确线性化 电液作动器 非线性系统 滑模控制 总压力控制阀 电液复合调节组合
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柔性喷雾机底盘电液作动器的模糊PID控制 被引量:1
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作者 张华 郑加强 《南京林业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期163-169,共7页
【目的】为了满足复杂农林环境下植保喷雾作业需求,需要解决喷雾机底盘电液作动器采用传统PID(propor-tional integral differential)控制器控制参数难以自适应调整,以及模糊PID混合控制器难以制定切换策略的难题。【方法】建立了电液... 【目的】为了满足复杂农林环境下植保喷雾作业需求,需要解决喷雾机底盘电液作动器采用传统PID(propor-tional integral differential)控制器控制参数难以自适应调整,以及模糊PID混合控制器难以制定切换策略的难题。【方法】建立了电液作动器系统的几何模型、数学模型和物理模型,采用有限单元法对其进行了结构静力学分析和优化设计;采用正开口三位四通电磁比例换向阀作为控制元件,设计了模糊PID控制器,并采用MATLAB/SIMULINK进行了控制器建模和仿真,比较了3种控制器的控制效果。【结果】将底盘两横轴直径分别增大10 mm,电液作动器液压缸和活塞杆直径分别增大5 mm,横轴和电液作动器的最大变形量分别减小到4.6 mm和1.1 mm,可满足底盘支撑强度要求;采用模糊PID控制器控制电液作动器比其他两种控制器有更好的综合特性,其上升时间、调整时间、绝对累积误差和绝对时间累积误差在电液作动器上升运动和下降运动中的取值分别为0.099、0251、0013、0005 s和0088、0267、0009、0013 s,模糊PID控制器的多项控制指标值均有较明显降低。【结论】模糊PID控制器用于喷雾机底盘电液作动器的位置跟踪控制有更高的控制精度和更快的响应速度。 展开更多
关键词 柔性底盘 电液作动器 模糊PID 位置跟踪 植保喷雾
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双圆锥静压支承应用在电液伺服作动器中的研究 被引量:2
16
作者 张琦 赵明晰 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期523-528,共6页
通过圆锥静压支承流体力学建模和无因次特征参数优化选择的研究,对该结构形式的抗侧向力、临界空穴速度、泄漏量等特性进行了计算,并作了推证和合理简化。文中还通过试验和工程实践的验证表明。
关键词 圆锥 静压支承 电液伺服
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空间对接动力学半物理仿真系统电液伺服作动器设计与研究
17
作者 常同立 《机床与液压》 北大核心 2008年第11期51-53,57,共4页
针对空间对接半物理仿真系统电液伺服作动器设计问题进行研究,建立了接触碰撞半物理仿真试验系统。从分析空间对接半物理仿真系统建构问题和对接机构的特性入手,提出了运动模拟器电液伺服作动器的设计要求。通过对电液伺服作动器动力机... 针对空间对接半物理仿真系统电液伺服作动器设计问题进行研究,建立了接触碰撞半物理仿真试验系统。从分析空间对接半物理仿真系统建构问题和对接机构的特性入手,提出了运动模拟器电液伺服作动器的设计要求。通过对电液伺服作动器动力机构数学模型展开分析,提出减小电液伺服作动器动态特性相对负载刚度变化的灵敏度的设计方法,并进行了实验验证。 展开更多
关键词 电液伺服 液压系统设计 空间对接 半物理仿真
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基于内模控制的主动悬挂电液伺服作动器位置控制研究 被引量:5
18
作者 郭庆贺 赵丁选 +3 位作者 赵小龙 李振兴 武理哲 师小波 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期394-404,共11页
针对负载质量和负载力等参数不确定的主动悬挂电液伺服作动器位置控制系统,采用内模控制方法对其进行位置控制。根据系统特性建立了电液伺服作动器位置控制系统线性化数学模型,并基于此模型设计了内模控制器。为验证内模控制器的控制效... 针对负载质量和负载力等参数不确定的主动悬挂电液伺服作动器位置控制系统,采用内模控制方法对其进行位置控制。根据系统特性建立了电液伺服作动器位置控制系统线性化数学模型,并基于此模型设计了内模控制器。为验证内模控制器的控制效果,进行了与PID控制的对比仿真分析和台架试验。以阶跃信号为输入信号进行了仿真分析,仿真结果表明,系统在内模控制下的单位阶跃响应快速、平稳、无超调,动态特性优于PID控制,且当系统受到外部干扰时,内模控制比PID控制能更快速、平稳地恢复至稳态值。台架试验包括改变正弦输入信号频率和改变负载质量两种试验方案。结果表明,当正弦输入信号频率由0.1 Hz增加至2 Hz时,基于PID控制的系统跟踪性能明显恶化,而基于内模控制的系统跟踪性能并无明显变化;当负载质量发生变化时,基于内模控制的系统跟踪误差变化幅度明显小于PID控制。基于内模控制的电液伺服作动器位置控制系统的跟踪响应性能优于PID控制,满足主动悬挂系统的使用要求。 展开更多
关键词 悬挂 电液伺服 内模控制 位置控制
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电液主动悬架滤波输出反馈控制器的设计及仿真实现 被引量:7
19
作者 张玉春 王良曦 +1 位作者 丛华 杨班权 《汽车工程》 EI CSCD 北大核心 2004年第3期325-330,共6页
基于 1/ 2车辆模型和非线性电液作动器 ,提出并详细设计了主动悬架滤波输出反馈控制器。整个主动悬架系统分解为内、外两个回路 ,外回路采用滤波输出反馈控制 ,大幅度衰减了车辆在高低频范围内的起伏和俯仰运动 ,提高了车辆的乘坐舒适... 基于 1/ 2车辆模型和非线性电液作动器 ,提出并详细设计了主动悬架滤波输出反馈控制器。整个主动悬架系统分解为内、外两个回路 ,外回路采用滤波输出反馈控制 ,大幅度衰减了车辆在高低频范围内的起伏和俯仰运动 ,提高了车辆的乘坐舒适性。内回路基于非线性作动器模型 ,采用传统的PI控制器 ,较好地跟踪输出了控制系统需要的作用力。此外 ,还对作动系统的摩擦力进行了详细建模。频域和时域仿真结果演示了主动悬架的良好性能并验证了结论。 展开更多
关键词 悬架 滤波输出反馈控制 设计 仿真 电液作动器 车辆 非线性建模
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高频响应悬臂梁单向阀动态特性研究
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作者 杨国来 杨鹏强 +2 位作者 曹文斌 谢万耀 孙丽霞 《液压与气动》 北大核心 2024年第4期74-82,共9页
单向阀动态性能是影响磁致伸缩电液作动器中核心部件磁致伸缩泵输出性能的因素之一。已应用于磁致伸缩泵配流的悬臂梁单向阀在使用过程中出现随着启闭频率上升而响应性能下降问题,通过理论分析,提出了一种高频响应双瓣式悬臂梁单向阀,... 单向阀动态性能是影响磁致伸缩电液作动器中核心部件磁致伸缩泵输出性能的因素之一。已应用于磁致伸缩泵配流的悬臂梁单向阀在使用过程中出现随着启闭频率上升而响应性能下降问题,通过理论分析,提出了一种高频响应双瓣式悬臂梁单向阀,对已有和提出的单向阀进行动态响应分析。通过流固耦合在阀两端输入幅值为60 kPa的正弦压差,对比分析了已有和提出的两种单向阀的响应性。结果表明:随着输入压差信号频率的增加,已有单瓣式悬臂梁单向阀出现了响应滞后和阀口不能关闭的情况,阀口未关闭位移随频率的增大而增大,输入频率每增加100 Hz,阀口不闭合位移增加2.1%;双瓣式悬臂梁单向阀在相同结构参数下频率响应和阀口关闭情况都优于单瓣式单向阀,输入频率每增加100 Hz,阀口不闭合位移增加1%,减少了阀口回流,阀的高频响应优点可以适应磁致伸缩材料高频宽的特点。为高性能智能电液作动器的发展提供支持。 展开更多
关键词 悬臂梁单向阀 电液作动器 微流体 高频响应
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