低g值惯性延时电热MEMS安全与解除保险装置

针对MEMS安全与解除保险装置解除保险方式单一且不易感知低过载环境力的技术难点,将微尺度下电热力与惯性力结合,提出了低g值惯性延时电热MEMS安全与解除保险装置。该装置主要由硅隔断、齿轮组、平面扭簧以及电热锁销机构组成。分别建立了电热锁销机构以及延时机构的动力学模型,并通过ADAMS软件与ANSYS软件对相应模型进行了仿真验证。结果表明,所设计的锁销机构可以在10 V直流电压的控制下输出57.2μm的位移,满足相应的解锁要求;延时机构可以在10 g环境力(持续时间约700 ms)的作用下,实现560 ms的延时输出。