用IEC 61000-4-20评定GTEM cell场均匀性的研究

介绍了 IEC 61000-4-20对场均匀性的规定,并采用此标准附录 B 推荐的两种场均匀性评判准则对 GTEMcell 均匀区的场均匀性进行了评定,发现采用两种不同的评判准则时,GTEM cell 场均匀性的符合性评定可能会获得不同的结论。对产生不同结论的原因进行了分析,并提出了建议。

Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性研究

报道了所研制的Waveguide surfatron型表面波等离子体源的特性 ,理论计算表明 ,激发表面波模式为m≥l模 ,在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出 ,采用Ar气放电 ,在气压为 10～ 10 0 0Pa ,微波功率 80 0～ 10 0 0W的范围内可形成大面 (体 )积 (直径为 16 0mm)等离子体 ,其电子温度为 1～ 4eV ,等离子体密度为 10 10 ～ 10 11cm-3 量级 ,实测的等离子体密度与理论计算值基本吻合。