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电磁型平面微电机及其制作工艺 被引量:23
1
作者 郭占社 吴一辉 +1 位作者 宣明 王淑荣 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第2期120-124,共5页
为得到一种尺寸小、输出力矩大、转速高的直流可调速微电机,提出了一种利用微机械加工工艺制作微电机的方法。定子和转子都做成平面结构,定子线圈采用了平面型、无槽式集中绕组;线圈之间采用了三相星形连接方式,采用了微机械LIGA工艺和... 为得到一种尺寸小、输出力矩大、转速高的直流可调速微电机,提出了一种利用微机械加工工艺制作微电机的方法。定子和转子都做成平面结构,定子线圈采用了平面型、无槽式集中绕组;线圈之间采用了三相星形连接方式,采用了微机械LIGA工艺和硅微机械加工工艺;转子采用钕铁硼永磁材料,进行轴向充磁,成辐射状间隔分布。装配时转子分布于定子两侧,不但减小了电机尺寸,还有利于定子的散热。把装配完毕的微电机接通三相半控控制电路对其转速和力矩进行了测试,测试结果表明,电机运转平稳,输出力矩大。 展开更多
关键词 电磁平面微电机 制作工艺 LIGA工艺 微机械加工工艺
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微电子机械系统中的超微电机 被引量:1
2
作者 陈宝 施进浩 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第12期46-48,共3页
介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等。分析了原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势。
关键词 微电子机械系统 静电微电机 电磁型微电机 超声波微电机 微电机
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微机电系统中微电机的发展趋暖 被引量:2
3
作者 施进浩 陈宝 《世界产品与技术》 2003年第12期42-45,共4页
文章介绍了微机电系统中的关键执行部件-超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、鞭毛电机、超声波微电枧等。分析了其原理,分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了徽电子机械系统中微电机的发展趋势。
关键词 微机电系统 微电机 静电微电机 电磁型微电机 鞭毛电机 超声波微电机
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AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用 被引量:1
4
作者 郭占社 吴一辉 孟永钢 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1062-1065,共4页
为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速胶膜厚度、前烘时间温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作... 为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速胶膜厚度、前烘时间温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作出了厚度为40μm、陡直度良好的定子绕组线圈。把利用该工艺制作的定子绕组和转子装配后形成了微电机,通过对该电机转速和输出力矩的测试结果表明,电机运转平稳、力矩波动小。 展开更多
关键词 机械制造工艺 AZ4903 电磁平面微电机 绕组线圈
原文传递
Design and Analysis of Self-excited Miniature Magnetic Generator
5
作者 Wu-Sung Yao Wei-Quan Jian 《Journal of Mechanics Engineering and Automation》 2015年第3期180-184,共5页
Nowadays, electronic devices are more and more integrated into everyday life. These seamless integrations focus on mobility, but at the same time strive to be unobtrusive to the end user. With the introduction of pers... Nowadays, electronic devices are more and more integrated into everyday life. These seamless integrations focus on mobility, but at the same time strive to be unobtrusive to the end user. With the introduction of personal data assistants and intelligent cellular phones for the searching of the website, true mobile computing is closer than ever. However, battery technology, which powers most of these mobile connectivity solutions, has not kept up the same pace of improvement. The paper describes a methodology for the design and performance of a self-excited permanent-magnet generator applied to low power supplies. It combines an analytical field model, a lumped reluctance equivalent magnetic circuit, and an equivalent electrical circuit. An illustrated example of a 15-mW, 290-r/min generator is given, and the analysis techniques are validated by measurements on a prototype system. 展开更多
关键词 Permanent-magnet generator analytical field model equivalent magnetic circuit.
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