利用电磁场有限元分析进行超快刀具伺服机构设计

快速刀具伺服系统是光学复杂面形加工的重要手段,现有直线伺服机构在原理上存在频响低的问题,严重限制被加工面形的复杂程度。分析电磁正应力驱动伺服机构的基本原理,利用有限元分析原理计算伺服机构的最大驱动力和最高频响,证明该方式驱动的伺服机构可以实现高频响应。根据有限元分析结论改善伺服机构的机械结构及选材,并设计伺服机构驱动器。实验研究优化设计的伺服机构响应频率为10.1kHz,工作行程为13μm。