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其它非电量测量与仪器
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《电子科技文摘》 1999年第4期82-82,共1页
9905030压电陶瓷微位移特性的电脑接触式干涉测量法[刊]/朱煜//压电与声光.—1998,20(4).—283～286(LC)介绍了压电陶瓷微位移器的工作原理,在此基础上提出了一种由立式接触式干涉仪改造的电脑接触式干涉仪测量微位移特性的方法。
关键词 微位移特性 非电量测量 电脑接触式干涉仪 压电陶瓷微位移装置 压电陶瓷微位移器 干涉测量法 工作原理 测试软件系统 仪器 声光
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