硅片的在线电解修整超精密磨削

用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合，对硅片进行了在线电解修整（ELID）超精密磨削。研究了磨削工艺多数对硅片的加工质量及磨削效率的影响，采用原子力显微镜（AFM）与扫描电子隧道显微镜（STM）对硅片磨削表面进行了形貌分析，探讨其微观磨削机理。结果表明，砂轮中金刚石磨粒对硅片表面进行间歇式破碎，微观磨痕为Z字型；硅片表面粗糙度可达纳米级，R_a=4．0nm、R_z=7．8nm；整个硅片（3＃）厚度变差为1．5μm；磨削硅片的变质层主要为原子面扭曲展及过渡层；磨削效率达1．07×10~3mm^3／min。

在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的蓝宝石基片组合加工技术

通过分析ELID磨削和CMP抛光两种加工技术的原理和特点,充分结合两种技术的优点,对蓝宝石基片进行超光滑纳米级精度的组合加工。从理论上分析和计算了蓝宝石的临界切削深度,以及在不同粒度砂轮下的脆性和延性磨削方式;采用不同粒度的砂轮对蓝宝石基片进行超精密ELID磨削实验,快速地获得高质量的加工表面,同时采用磁流变斑点法对加工面的亚表面损伤进行测量;利用CMP抛光技术对磨削加工后的表面进行光整,以减少磨削时产生的加工缺陷,使工件的表面质量得到进一步改善与提高,最终获得亚纳米级的表面粗糙度。

铸铁结合剂微粉金刚石砂轮的在线电解修整的试验研究

针对硬脆材料光滑磨削表面的要求，在ＭＭ７１２０Ａ精密平面磨床上自行制作了一套ＥＬＩＤ磨削装置，并对铸铁结合剂微粉金刚石砂轮在线电解修整技术进行了试验研究。建立了电解参数对微粉砂轮表面修整形貌的影响关系，提出了ＥＬＩＤ的双重作用特性，即微量修锐和精密整形，并发现了电解膜在硬脆材料磨削过程中的重要功效。

轴承套圈内圆在线电解修整磨削试验

提出了一种新的在线电解修整磨削轴承内圈的方法。该方法直接将导电的金属工件做为电解阴极,将铸铁基CBN砂轮作为阳极,在磨削过程中利用工件电极对砂轮进行修锐,维持了与传统在线电解修整磨削相同的磨削过程,保证了磨削过程的稳定进行。使用W10的砂轮可获得表面粗糙度Ra为0.03μm的加工表面。

在线电解修整镜面磨削中砂轮耐用度的研究

在线电解修整（ＥＬＩＤ） 磨削是镜面磨削加工的新技术． 在分析ＥＬＩＤ 镜面磨削机理的基础上，对ＥＬＩＤ磨削过程中影响砂轮耐用度的主要因素，包括电解修整参数、磨削液成分、磨削工艺参数和砂轮结合剂等进行了实验研究和理论分析，说明由于在线电解修整过程中的非线性电解作用，这些因素对砂轮磨损速度的影响可以通过残留维持电流反映出来，最后根据在线电解修整过程的特点，给出了用残留维持电流估算砂轮耐用度的计算公式．

在线电解修整（ELID）超精密镜面磨削的影响因素初探

在线电解修整（ＥＬＩＤ）超精密镜面磨削有效地实现了许多难加工材料的超精密加工和高效加工。本文分析了ＥＬＩＤ磨削的机理和在线电解作用对磨削过程的影响途径，并深入探讨了各影响因素的作用机理。

电解在线修整在超精密磨削中的应用

介绍了由铁系结合剂砂轮、直流脉冲电源和水溶性磨削液等构成的电解在线修整磨削方法的原理、特性及镜面磨削的应用方式．

在线电解修整(ELID)超精密磨削中的金刚石磨具特性研究

ELID(E lectrolytic In-process D ressing)磨削技术是在电化学加工、电解磨削原理基础上发展起来的一项磨削新技术,主要用于硬脆材料超精密磨削过程中金属基结合剂超硬微细磨粒砂轮的在线修整。本文以金刚石微粉砂轮在线电解修整(ELID)磨削氮化硅陶瓷为例,着重研究了磨具特性对硬脆材料超精密磨削过程的影响。研究表明,磨具组织沿砂轮圆周的不均匀性将会导致砂轮表面钝化膜状态的不一致,这将直接影响砂轮局部参与切削的磨粒数量,影响单个磨料的实际磨削厚度。这首先将对工件表面的磨削质量,特别是对表面粗糙度产生直接影响,同时也非常不利于实现材料的高效去除。

应用在线电解修整磨削和磁流变光整加工组合工艺进行碳化硅的纳米加工

利用在线电解修整镜面磨削和磁流变光整加工技术对化学气相沉积碳化硅反射镜进行纳米级精度的加工。首先进行在线电解修整磨削,使反射镜面高效率加工成形,并获得较好的形状精度和表面质量;然后利用磁流变技术进行光整加工,以减少反射镜的亚表面损伤,提高表面质量,并通过修正加工,显著提高了工件表面的形状精度。对化学气相沉积碳化硅进行了一系列的加工试验,高效率地得到Rq=2.4nm(均方根偏差)的表面粗糙度和21.2nm的形状精度,并且对在线电解修整镜面磨削与磁流变光整加工所生成的表面特性进行了分析比较。

在线电解修整磨削系统的研制

简介在线电解修整 (ELID)磨削系统中电解控制装置的研制 ,以单片机为核心技术实现了输出电压、电流及频率控制等技术要求 。

在线电解修整砂轮磨轴承钢外圆表面

圆柱面精加工在不同领域的用途越来越广泛,与此相关的高效、高水平的制造技术对当代工业有着十分重要的意义。为实现工件外表面高效磨削,本文介绍了使用金属结合剂立方氮化硼(CBN)砂轮在线电解修整(ELID)技术的磨削试验。试验中使用静压砂轮轴外圆磨床和多种不同粒度的砂轮,分析了往复式和切入式磨削方式中磨粒尺寸对表面粗糙度、波纹度、圆度和表面应力的影响,同时将ELID修整方法与其它方法进行了比较,采用4000号CIB-CBN砂轮进行了不同材料的镜面磨削,得出了ELID在小批量生产中,工件产生压应力,并且磨削成本较普通磨削低的结论。

在线电解修整磨削氧化膜研究现状及展望

在线电解修整(ELID)镜面磨削加工中,电解作用会使砂轮表面生成一层具有绝缘作用的氧化膜,该氧化膜可以减缓和阻止进一步电解,避免砂轮损耗过快;同时,氧化膜可容纳、承托大量因电解而脱落的磨粒,使得砂轮的磨削类同游离磨粒的研磨、抛光作用,有利于提高磨削表面质量。氧化膜在整个磨削过程中发挥着至关重要的作用,直接影响着ELID磨削加工表面质量和磨削效率。详细阐述了ELID磨削过程中氧化膜的成膜过程及表征方法、氧化膜的物理/化学特性、氧化膜成膜影响因素等方面的研究进展,并对ELID磨削氧化膜下一步的研究重点进行了展望。

在线电解修整（electrolytic in-process dressing，EIPD）

金属基超硬磨料砂轮在线电解修整(EIPD)超精密镜面磨削技术是日本理化学研究所大森整博士等于1987年开发的超精密加工新技术，是对超精密磨削加工技术的重大改进。此技术可用于加工各种金属和非金属硬脆(如陶瓷、玻璃等)材料，适用性广泛，加工后的表面粗糙度Ra值可达到纳米级。

电解磨削加工方法研究现状

电解磨削作为一种电化学复合加工方法,广泛应用于难加工材料和复杂型腔零件的加工。对目前研究较多的几种电解磨削加工方法的相关工艺、理论、控制方法及应用情况的研究进展做了系统介绍,指出伺服控制是电解磨削的发展趋势。

ELID磨削专用磨削液的研究

为提高ELID磨削液的防锈性能和电解速度 ,通过调整ELID磨削液添加剂的成分及配比 ,研制了新型的ELID磨削专用磨削液 ,较好解决了提高防锈性能与加快电解速度的矛盾 ,强化了对砂轮基体的电解成膜作用。

在线电解修整砂轮磨轴承钢外圆表面

圆柱面精加工在不同领域的用途越来越广泛，与此相关的高效、高水平的制造技术对当代工业有着十分重要的意义。为实现工件外表面高效磨削，本文介绍了使用金属结合荆立方氮化硼（CBN）砂轮在线电解修整（ELID）技术的磨削试验。试验中使用静压砂轮轴外圆磨床和多种不同粒度的砂轮，分析了往复式和切入式磨削方式中磨粒尺寸对表面粗糙度、波纹度、圆度和表面应力的影响，同时将ELID修整方法与其它方法进行了比较，采用4000号CIB—CBN砂轮进行了不同材料的镜面磨削，得出了ELID在小批量生产中，工件产生压应力，并且磨削成本较普通磨削低的结论。

ELID镜面磨削技术——综述

在线电解修整砂轮 (ELID)精密镜面磨削是近 10来年发展起来的一项磨削新技术 ,在日本等国已经较广泛地应用于生产中。我国哈尔滨工业大学袁哲俊教授的ELID课题组从 1993年起就开始了这方面的研究 ,现已成熟。本刊从这期起连续刊登 5篇ELID镜面磨削技术文章 ,希望有助于这项技术在生产中推广使用。

ELID超精密磨削钢结硬质合金及其表面质量分析

运用铁基结合剂金刚石砂轮与专用高频脉冲电源相配合 ,对钢结硬质合金 ( GT35)进行在线电解修整 ( ELID)精密磨削。分析了 ELID超精密镜面磨削异相非均质材料钢结硬质合金表面的磨削机理 ,并通过原子力显微镜对其表面进行了微观表面形貌的分析。研究结果表明 ,采用 ELID磨削技术解决了钢结硬质合金零件的超精密磨削加工 ,钢结硬质合金磨削表面粗糙度可达纳米级 ,Ra≤ 2 0 nm。

微晶玻璃超精密磨削技术研究

分析实现微晶玻璃超精密磨削的技术条件和在线电解修整超精密磨削机理 ,并采用铸铁基金刚石砂轮结合在线电解的磨削方法对微晶玻璃进行了精密磨削 ,获得 Ra为 2 .30 8nm的超光滑表面。