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电解有机溶液法制备类金刚石薄膜
1
作者 沈风雷 王红卫 闻荻江 《苏州大学学报（工科版）》 CAS 2003年第4期38-43,共6页
本文讨论了电解有机溶液法制备类金刚石薄膜,对所得到的类金刚石薄膜的性质进行分析,并提出了初步的沉积机理。
关键词 电解有机溶液法 制备 类金刚石薄膜 性质 沉积机理
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电解有机溶液法制备CN_x薄膜 被引量：4
2
作者 许杞安 沈明荣 +1 位作者 宁兆元 朱警生 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第7期1292-1296,共5页
在６０℃和常压下，电解甲醇和脲的混合溶液在硅基片上沉积ＣＮｘ薄膜．傅里叶红外和Ｒａｍａｎ测试表明，所得薄膜是非晶态的，碳和氮主要是以Ｃ—Ｎ，Ｃ—Ｃ，ＣＣ和ＣＮ的形式成键，有少量的碳和氮以ＣＮ的形式成键．Ｘ射线光电子能... 在６０℃和常压下，电解甲醇和脲的混合溶液在硅基片上沉积ＣＮｘ薄膜．傅里叶红外和Ｒａｍａｎ测试表明，所得薄膜是非晶态的，碳和氮主要是以Ｃ—Ｎ，Ｃ—Ｃ，ＣＣ和ＣＮ的形式成键，有少量的碳和氮以ＣＮ的形式成键．Ｘ射线光电子能谱测试表明，氮是以ＳＰ２和ＳＰ３杂化形式与碳化学成键来成膜的． 展开更多
关键词 CN薄膜 电解有机溶液法 薄膜制备
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